Линия литья керамической пленки

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 9) 111) В 1 26 Ом.мФМг1 ТЕН ИСАНИ ТЕЛ ЬСТ РСКОМУ С К в ЧЕСКОЙ зготовлении мноческих корпусов сть изобретения: ю фильеру, стол атки не позвопленку толщи- интенсивнасть повышение качест; ции процесса сушГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ,ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР(73) Конструкторское бюро Гюйс(57) Использование: пригослойных металлокера интегральных схем. Сущлиния содержит литьеИзобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленок способом литья шликеров на технологическую подложку и предназначенных для изготовления многослойных металлокерамических корпусов интегральных схемИзвестна линия литья керамическОй пленки, содержащая стол формирования и сушки пленки, отсек сушки, механизмы размотки бобины с подложкой и ее намотки в рулон вместе с отлитой на нее пленкой, и , литьевую фильеру,Наиболее близкой к предлагаемой является линия литья керамической пленки, со, держащая литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизм размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки. формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизмы размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки, осевые вентиляторы, холодильник воздуха с фильтром, напорный бачок с механизмом его вертикального перемещения. Заключение сушильной камеры, воздуховодов и нагревателей в единый теплоизоляционный кожух позволяет выдерживать стабильный температурный режим сушки пленки, Перфорированная перегородка, устан 1)вленная в верхней части камеры с рассекателями горячего воздуха, обеспечивает равномерный поток воздуха; направленного перпендикулярно к площади отливаемой пленки. 1 з.п; ф-лы, 3 ил. линии является орячим воздуаров растворишликера, ь стола сушкии появлению й, а отсутствие озволяет вести нки от технолонедостаточно отсоединяется Недостатком известнойотсутствие системы сушки гхом и:интенсивного отсоса ителя керамическогоКриволинейная поверхностведет к растяжению пленкивнутренних напряжений в нев линии холодильника не иотделение керами .еской плегической .подложки, так какохлажденная пленка плохоот подложки.Указанные выше недлостляют получить качественнуюной 0,5 - 1,5 мм и повыситьданного процеса.Цель изобретения -ва пленки и интенсификаки. Указанная цель достигается тем, ч инии литья керамической пленки, вклю10 20 25 30 35 40 45 50 55 Изобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленокспособом литья шликеров на технологическую подложку и предназначенных для изготовления многослойныхметаллокерамических корпусов интегральных схем.Известна линия литья керамическойпленки. содержащая стол формирования исушки пленки, отсек сушки, механизмы размотки бобины с подложкой и ее намотки врулон вместе с отлитой на нее пленкой, илитьевую фильеру.,Наиболее близкой к предлагаемой, является линия литья керамической пленки, содержащая литьевую фильеру, столформирования и сушки пленки, сушильнуюкамеру с воздуховодами, нагреватели, механизм размотки рулона технологическойподложки, ее протяжки и намотки в рулонотлитой оленки.Недостатком известной линии являетсяотсутствие системы сушки горячим воздухом и интенсивного отсоса паров раствори,теля керамического шликера.Криволинейная поверхность стола сушкиведет к растяжению пленки и появлениювнутренних напряжений в ней, а отсутствиев линии холодильника не позволяет вестиотделение керамической пленки от технологической подложки, так как недостаточноохлажденная пленка плохо отсоединяетсяот подложки.Указанные выше недлостатки не позволяют получить качественную пленку толщи. ной 0,5- 1,5 мм и повысить интенсивностьданного процеса,Цель изобретения - повышение качествапленки и интенсификации процесса сушки.Указанная цель достигается тем, что влинии литья керамической пленки, включающей литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру своэдуховодами, нагреватели, механизмыразмотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитойпленки, она снабжена осевыми вентиляторами, холодильником воздуха с фильтром иохватывающим стол формирования и сушкипленки теплоизолирующим кожухом, разделенным перегородкой на две секции, в одной иэ которых размещены осевые.вентиляторы и холодильник воздуха с фильтром, а в другой секции установлена сушильная камера, на верхней части которойустановлены нагреватели и воздуховоды,при зтом камера снабжена перфорированной перегородкой с рассекателями горячего.; . воздуха, а в нижней. части кожуха установлены соединенные со столом формирования и сушки пленки регулируемые опоры и вы. тяжные воздуховоды,Линия снабжена напорным бачком шликера с механизмом его веггикального перемещения, снабженным гильзой для нижней подачи шликера.На фиг.1 схематично изображена предлагаемая линия; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг,3 - напорный бачок шликера с механизмом вертикального перемещения.Линия содержит механизм размотки бо-. бины 1 с технологической подложкой 2, стол 3 формирвания пленки, литьевую фильеру 4, теплоиэолирующий кожух 5, разделенный на две секции: сушильную камеру 6 и камеру 7 охлаждения. В верхней части сушильной камеры б установлены нагреватели 8 и воэдуховоды 9, в которые воздух подается вентилятором 10. В камере б установлена перфорированная перегородка,11 с соплами 12 для подачи воздуха и рассекателями 13 горячего воздуха. В нижней части камеры 6 на регулируемых опорах 14 установлен стол 15 сушки пленки и вытяжные воэдуховоды 16, В камере 7 охлаждения размещены осевые вентиляторы 17, .холодильник 18 с фильтром 19. Кожух 5 в верхней части имеет разъем 20, позволяющий снять верхнюю часть кожуха для обслуживания нагревателей 8. Для регулировки напора подаваемого и отсасываемого воздуха воэдуховоды 9 оснащены регулирующими заслонками 21. Линия снабжена механизмом намотки пленки на бобину 22 и механизмом протяжки технологической подложки на бобину 23 посредством роликов 24. Линия имеет напорный бачок шликера 25 с механизмом 26 его.вертикального перемещения. По оси бачка 24 установлена гильза 27 для подачи шликера. В нижней части бачка 25 закреплена трубка 28 подачи шликера в бачок и гибкая трубка 29 подачи шликера в фильеру 4. В верхней части бачка 25 установлен датчик 30 уровня. Линия имеет также бак шликера 31. Линия работает следующим образом,Бобину 1 с технологической подложкой 2 устанавливают на шпиндель механизма размотки, пропускают подложку через систему роликов и по столу 3 формирования пленки подают под фильеру 4, Далее по столу 15 через сушильную камеру 6 и камеру 7 охлаждения через ролики 24 протяжки; а затем с помощью механизма протяжки и намотки подложку 2 сматывают в рулон на бобину 23. Затем включают вентилятор 10, нагреватели 8 и выводят сушильную камеру 6 на температурный режим, согласно технологической кривой сушки для данной керамической пленки при включенной вытяжнойвентиляции,Регулировку воздушных потоков ведутзаслонками 21 в соплах 12 нагнетания горячего. воздуха и вытяжных воздуховодах 16, атакже регулировкой зазора между столом15 и камерой 6 посредством регулируемыхопор 14, Одновременно включают осевые 10вентиляторы 17 камеры 7 охлаждения, Подают воду в радиатор холодильника 18 и настраивают температурный режим камерыохлаждения регулировкой потока холоднойводы дросселем на сливе, 15В фильеру 4 подают шликер, поступающий иэ бака 31.под давлением сжатого воздуха в напорный. бачок 25. Уровень шликерав напорном бачке 25 контролируется датчиком 30 уровня. В зависимости от толщины в 20герметичной фильере 4, устанавливая высоту Н напорного бачка 25 над фильерой механизмом 26 вертикального перемещения.Шликер, вытекая из фильеры 4, попадает надвижущуюся подложку 2 слоем, толщина которого.ограничена зазором между верхнейи нижней губками фильеры, Керамическая .пленка после сушки в камере 6 и охлаждения в камере 7 получает необходимые механические и физические свойства и 30отделяется от технологической подложки,сматывается в рулон на бобину 22 намоткипленки,Предлагаемая линия предназначенадля получения керамических пленок различ-. 35ной толщины и состава шликера и позволяет.повысить их качество при интенсивномпроцессе сушки.Это достигается за счет того, что воздуховоды 9 и нагреватели 8, установленные на 40камере 6, производят быстрый вывод сушильной камеры на необходимый температурный режим и заключенные в общемтеплоиэолирующем кожухе 5 выдерживаютстабильный температурный режим сушки 45пленки, Перфорированная перегородка 11,установленная на верхней части камеры 6,с рассекателями 13 горячего воздуха позволяют обеспечить равномерный поток возду,ха перпендикулярно напраавленного к 5площади отливаемой пленки, причем горячий воздух, обтекая стол 15 сушки в зазорымежду стенками камеры равномерно прогревают его, что создает необходимую тем. пературу сушки пленки по толщине с двух 5сторон, Регулировочные опоры 14, на кото 1. Линия литья керамической пленки,включающая литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную ка меру с воздуховодами, нагреватели,механизмы размотки рулона,технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки, о т л и ч а ю щ а я.с я тем; что, с целью повышения качества плен ки и интенсификации процесса сушки, линия снабжена осевыми вентиляторами, холодильником воздуха, с фильтром и охва-. ".тывающим стол формирования и сушкипленки теплоизолирующим кожухом, разделенным перегородкой на две секции, в одной из которых размещены рсевые вентиляторы и холодильник воздуха,с фильрых установлен стол 15 сушки, позволяют изменять зазор между нижней стенкой камеры 6 и столом сушки при подборе опти- мального режима сушки. Горячий воздух; насыщенный парами растворителя шликера, отсасывается вытяжными воздуховодами 16, установленными под столом 15 сушки по оси камеры 6 и не вызывает концентрацию воздушного потока в зоне пленки и поводки (коробления) ее, что наблюдается при боковой вытяжке воздуха.Такая система позволяет создать равномерный температурный градиент сушки пленки,Высушенная керамическая пленка, перемещаясь на подложке 2, проходит камеру 7 охлаждения, приобретает оптимальную температуру для отделения от технологической подложки 2 и легко наматывается в рулойна бобину 22 намотки. Камера 7 охлаждения с заданным температурным ре-. жимом позволяет сократить длину линии литья и обеспечить качественное отделение сухой керамической пленки от, подложки, избежать растяжения пленки и релаксации напряжения в ней.Для качественного и интенсивного процесса литья пленки необходим постоянный статический напор шликера в фильере, что обеспечивается подачей шликера через,гильзу 27 в напорный бачок 25 по сигналу датчика 30 уровня.Для литья пленки разной толщины, например 0,5 - 1,5 мм, разного состава и вязкости шликера, необходим соответственно различный статический напор, что обеспе. чивает данная конструкция напорного бачка,Таким образом, использование предла-гаемой линии обеспечивает повышение качества керамической пленки, а также интенсифицирует процесс сушки, позволяет увеличить производительность, повысить выход годной продукции на 15 при достаточно широком диапазоне отливаемых керамических пленок, как по толщине, так и посоставу. Формула изобретениятром, а в другой секции установлена сушильная камера, на верхней части которой установлены нагреватели и воздуховоды, приэтом камера снабжена перфорированной перегородкой с рассекателями горячего воздуха, а в нижней части кожуха установлены соединенные со столом формирования и сушкипленки регулируемые опоры ивытяжные воздуховоды.2. Линия по п 1, о тл и ч а ю щ а я с ятем, что она снабжена напорным бачком5 шликера с механизмом его вертикальногоперемещения, снабженным гильзой длянижней подачи шликера.1747275 Корректор О.Сопке Редактор,Ю.Середа оставитель С,Поймалехред ММоргентал льский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 10 иэводственн Заказ 2463 ВНИИПТиражарственного комитета по и 113035, Москва, Ж,Подписноеретениям и открытиям при ГКНТ СССРшская наб., 4/5