Устройство для безокислительного напыления реплик

Класс 421, 35 з146090 ССС 11 Е ИЗОБРЕТЕНИЯ ТЕЛ ЬСТВУ ОРСНОМУ С одписная группа173 М. Г. Лозинский и ТРОЙСТВО ДЛЯ БЕЗОКИСЛИ РЕПЛИКВ. ЯгловЛЬНОГО НА 1 ЛЕН677689/22ри Совете Мини Заявлено 29 августа 1960 г. з в Комитет по делам изобретений и открытийов ССС нийпуоликовано в Бюллетене изооре еплик, разец, еву в аблюзца в электто оно й про- ществ- устаарение ких и ительарианльных таллиеских тах 4 опочерез я воз- обести чно. оизвоастоты электИзвестны устроиства для безокислительного напыления р состоящие из вакуумной камеры, внутри которой установлен об подвергаемый воздействию растягиваемых напряжений и нагр широком интервале температур, и оптического устройства для н дения и фотографирования микроструктуры поверхности обра процессе, а также для выбора, подлежащего исследованию на ронном микроскопеОписываемое устройство отличается от известных тем, ч снабжено испарителем, например в виде спирали из молибденово волоки, перемещение которого вдоль испытуемого образца осу ляют посредством винтового стержня и вакуумного уплотнителя, йовленных в полости корпуса устройства, Это обеспечивает исп и осаждение конденсата при нанесении кварцевых, металличес угольных реплик на выбранную поверхность образца без предвар ного извлечения его из рабочей вакуумной камеры.На фиг. 1 изображена принципиальная схема одного из в тов устройства; на фиг. 2 - схема устройства для напыления уго реплик на поверхность исследуемого при нагреве в вакууме ме ческого образца,Вакуумная рабочая камера устройства состоит из металли корпуса 1 и крышки 2 Исследуемый образец 3 укреплен в захв и 5. Один конец образца 3 шарнирно соединен с неподвижной рой 6, жестко связанной с корпусом 1, а второй конец образца захват 4 и электрически изолирующий его шарнир 7 подвергаетс действию растягивающих напряжений, передаваемых тяге 8 Для печения возможности перемещения тяги 8 без нарушения герме сти вакуумной камеры служит сильфон 9. Нагрев образца пр дится пропусканием по нему переменного тока промышленной ч (50 г 11), подводимого от трансформатора 1 О к водоохлаждаемым14 б 090 2 Предмет изобретения Устройство для безокислительного напыления реплик, состоящееиз вакуумной камеры, внутри которой установлен образец, подвергаеродам 11 и 12. Последние проходят через специальные вакуумные уплотнения в корпусе, Измерение температуры образца производится при помощи термопары 13, спай которой приварен к средней части образца, а выводы, пропущенные через вакуумное уплотнение, подключены к гальванометру 14. Откачка воздуха и газов из рабочей камеры осуществляется через патрубок 15 вакуумной системы (на чертеже не показана), а патрубок 1 б предназначен для присоединения к вакуумметру. Наблюдение и фотографирование микроструктуры поверхности образца осуществляется через смотровое кварцевое стекло 17, Объектив 18 металлографического микроскопа обращен к полированной поверхности образца 3. Заслонка 19, приводимая в движение рукояткой 20 через коническое вакуумное уплотнение 21, служит для предотвращения осаждения на смотровом стекле испаряющихся частиц при высокотемпературном нагреве металла (образца и деталей описываемого ниже устройства для напыления реплик).Напыление на поверхность образца кварцевых или металлическихреплик осуществляется следующим образом.Подлежащий напылению материал 22 помещается в испаритель 23(например в спираль из вольфрамовой проволоки). Питание обмотки испарителя производится от трансформатора 24 Ввод питающего напряжения в рабочую камеру осуществляется через вакуумное уплотнение 25 Для перемещения в вакууме испарителя 23 вдоль образца служит винт 2 б, приводимый во вращение рукояткой 27 через вакуумное уплотнение 28. При этом сухарь 29 передвигается в направляющем пазу в опоре б, В металлическом экране 30 имеется отверстие, размещенное над образцом по оси испарителя. Через это отверстие может производиться выбор подлежащего исследованию в электронном микроскопе участка поверхности, проходить при нанесении реплики поток испаряющихся частиц, а также осуществляться фотографирование микроструктуры При рассматривании микроструктуры испаритель 23 отводится в сторону от отверстия в экране 30 Для этой цели предназначен рычаг 31, управляемый рукояткой 32 через вакуумное уплотнение 33. Поворот испарителя производится на оси 34Напыление угольных реплик на поверхность исследуемого при нагреве в вакууме металлического образца осуществляется следующим образом,Испытуемый образец 35 (см. фиг 2), прикрепленный к электроду 3 б, размещен в вакуумной камере, образуемой корпусом 37 и крышкой 38, На поверхность образна 35 осаждается графит, испаряющийся при горении электрической дуги 39 между угольными электродами 40 и 41 Поворотный экран 42 служит для предохранения от напыления графита на смотровое стекло 43, г для ограничения зоны осаждения графита на образце служит передвижной экран 44. Управление перемещением угольных электродов осуществляется через электрические изолированные от корпуса камеры вакуумные уплотнения 45. Источник 4 б, питающий дугу напряжения, присоединен к угольным электродам 40 и 41Наблюдение за микроструктурой образца и выбор подлежащего напылению участка производятся при помощи металлографического микроскопа 47. Патрубки 48 и 49 служат для соединения с системами откачки и измерения вакуума соответственномыЙ воздейсгвию растягиваемых напряжений и нагреву в широком интервале температур, и оптического устройства для наблюдения и фотографирования микроструктуры поверхности образца в процессе проводимого испытания, а также для выбора, подлежащего исследованию на электронном микроскопе участка, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью испарения и осаждения конденсата при нанесении кварцевых, металлических и угольных реплик на выбранную поверхность образца без предварительного извлечения его из рабочей вакуумной камеры, устройство снабжено испарителем, например, в виде спирали из молибденовой проволоки, перемещение которого вдоль испытуемого образца осуществляют посредством винтового стержня и вакуумного уплотнения, установленных в полости корпуса устройства.М 146090 Халфин останптегп акзор А. И, Дышельман Техред А. А. КамышниковаКорректор Н. А. Косаковск 2 г. пография ЦВЕТИ, Москва, Петровка, 4. Годп к пец. 12./6 Объем ОЛ 4 пзд л. Цена 4 коп. при Совете Министров СССР