Устройство для определения смещений точек поверхности объекта

БРЕТЕН ТЕЛЬСТ ОПИСАНИЕ К АВТОРСКОМ,Ф СВ(72) Л.П; Гурьев, Н.И. Евсеенко, В,Г. Нечаев и Ю.Н. Солодкин (71) Новосибирский электротехнический институт(56) 1. Применение спекл-интерферометрии для контроля качества промьппленных изделий. Методические указания. ВНИИНМАШ, Горький, 1980. (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СМЕЩЕНИЙ ТОЧЕК ПОВЕРХНОСТИ ,ОБЪЕКТА, содержащее источник когерентного излучения и спекл-интерферограмму объекта, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено двухкоординатным фурье-анализатором распределения яркости интерференционных полос и блоком регистрации, выполненным в виде компаратора, счетчика импульсов с регулируемым временем счета, регистра смещения по координате Х, регистра смещения по координате У и коммутатора, спекл-интерферограмма объек. та оптически связана с двухкоординатным фурье-анализатором, первый и второй выходы которого соединены с первым и вторым входами блока регистрации, являющимися соответственно входом компаратора и первым1 входом счетчика импульсов, выход компаратора соединен с вторым входом счетчика. импульсов, первый выход которого соединен с информационными входами соответственно регист"ра смещения по координате Х ирегистра смещения по координате У,авторой выход - с входом коммутатора,первый выход коммутатора соединен суправляющим входом регистра смещения по координате Х, второй выход - с управляющим входом регистрасмещения по координате У,а третийвыход является выходом блока регистрации, соединенным с управляющим входом фурье-анализатора,2. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что двухкоординатный фурье-анализатор содержитгенератор перестраиваемой частоты,ключ, акусто-оптический дефлекторв виде пластины с пьезовоэбудителями на двух смежных гранях, фурье-объектив, фотоприемник и де,тектор., выход генератора перестраиваемой частоты соединен с входомключа, один выход которого связанс первым пьезопреобразователем,а другой - с вторым пьезопреобразо.вателем акусто-оптического дефлектора, акусто-оптический дефлектор, фурье-объектив и фотоприемникоптически связаны, выход фотоприемника соединен с детектором, выходыдетектора и генератора перестпаиваемой частоты являются соответственно. первым и вторым выходами фурьеанализатора, а второй вход ключаявляется управляющим входом фурьеанализатора.Изобретение относится к измери"тельной технике и может быть использовано для определения смещений точек поверхности объекта.Известно устройство для определения смещений точек поверхностиобъекта Я , содержащее источник когерентногоизлучения и спекл"интерферограмму объекта. Устройствосодержит также экран,Сущность измерения смещения заключается в определении шага и угланаклона интерференционных полос,получаемых на экране при освещенииспекл-интерферограммы, записаннойметодом двух экспозиций, лучомкогерентного источника.Смещение точек объекта определяют соотношением 10 дг( = - .- + ЭЬша где- длина волны света;Ь - расстояние от спекл-интерферограммы до экрана;ш - масштаб изображения исследуемого объекта на спеклинтерферрграмме;а - шаг интерференционных полосна экране.Недостатком известного устройства является трудоемкость и большое время расшифровки спекл-интерферограмм. 25 30 Целью изобретения является повьппение производительности определения смещений.Поставленная цель достигается тем, что устройство для определения смещений точек поверхности объек, та, содержащее источник когерентного излучения и спекл-интерферограмму объекта, снабжено двухкоординатным фурье-анализатором распределения яркости интерференционных 45 полос и блоком регистрации, выполненным в виде компаратора, счетчика импульсов с регулируемым временем счета, регистра смещения по координате Х, регистра смещения по коорди нате 7 и коммутатора, спекл-интерферограмма объекта оптически связана с фурье-анализатором, первыйФи второй выходы которого соединены с первым и вторым входами блока ре 55 гйстрации, являющимися соответственно входом компаратора и первым входом счетчика импульсов,выход компаратора соединен с вторым входом счетчика импульсов, первый выход которого соединен с информационными входами соответственно регистра смещения по координате Х и регистра смещения по координате У, а второй выход - с входом коммутатора, первый выход коммутатора соединен с управляющим входом регистра смещения по координате Х, второй выход - с управляющим входом регистра смещения по координате 7, а третий выход является выходом блока регистрации, соединенным с управляющим входом фурье-анализатора..Кроме того, двухкоординатный фурье-анализатор содержит генератор перестраиваемой частоты, ключ, акусто-оптический дефлектор в виде пластины с пьезовозбудителями на двух смежных гранях, фурье-объектив, фотоприемник и детектор, выход генератора перестраиваемой частоты соединен с входом ключа, один выход которого связан с первым пьезопреобразователем, а другой - с вторым пьезопреобраэователем акусто-оптического дефлектора, акусто-оптический дефлектор, фурье-объектив и фотоприемник оптически связаны, выход фотоприемника соединен с детектором, выходы детектора и генератора перестраиваемой частоты являются соответственно первым и вторым выходами фурье-анализатора, а второй вход ключа является управляющим входом фурье-анализатора.На фиг.1 представлена блок-схема устройства для определения смещения точек поверхности объекта, на фиг,2 - фурье-спектр.Устройство содержит источник 1 когерентного излучения, расположенную перед ним спекл-интерферограмму 2, оптически связанную с двухкоординатным фурье-анализатором 3 распределения яркости интерференционных полос оптически связанный со спеклинтерферограммой 2, блок 4 регистрации, причем два выхода фурье-анализатора 3 соединены соответственно с двумя входами блока А регистрации, а выход блока 4 регистрации соединен с управляющим входом фурье-анализатора 3.Спекл-интерферограмма 2 представляет .собой фотопластинку с заРед Заказ 4299/ иал ППП "Патент", г. Ужгород Проектная,Вираж 651 ВНИИПИ Государствен по делам изобрете 13035, Москва, Ж, Подписноеого комитета СССРий и открытийаушская наб д. 4/