Материал высокопреломляющего слоя интерференционного покрытия

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоеетскикСоциалистическихРеспублик и 972455(23) ПриоритетОпубликовано 071182. Бюллетень Мо 41Дата опубликования описания 07.11.82 51) М. Кл.з Г 02 В 5/28 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(7 витель МАТЕРИАЛ ВЫСОКОПРЕЛОМЛЯ 101 цЕГО С ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ПОКРЫТИЯи ост звестногоего промышционное посоздания систи спектра о покрытия сокая меха Изобретение относится к областприборостроения и предназначенодля создания диэлектрических отражателей, светоделителей и фильтровдля инфракрасной области спектра.Известно вещество - моноокисьолова 1 .Однако промьпдленного примененияданное вещество не получило.Известно также использование олова с целью увеличения адгезии кстеклу и ситаллу после действия тлеющего разряда2 .Данное использование ивещества явилось началомленного применения.Известно интерференционное покрытие, состоящее иэ чередующихся слоевс высоким и низким показателями преломления, в котором в качестве материала высокопреломляющего слоя используется сульфид сурьмы, а в качестве материала низкопреломляющегослоя - фтористый стронций,Известное интерференкрытие используется длятем, работающих в облас1,5-8,5 мкм 3,Недостатком известногявялется недостаточно вы ническая прочность и малая химическая устойчивость, что не обеспечивает стабильность оптических свойств покрытия при работе в сложных климатических условиях.Целью изобретения является обеспечение стабильности оптических свойств известных в настоящее время интерференциальных покрытий с наилучшими оптическими характеристиками, работающих в сложных климатических условиях, за счет повышения их механической прочности и химической устойчиПоставленная цель достигается тем, что в качестве материала высоко преломляющего слоя интерференциснного покрытия для области спектра 1,9- 8,5 мкм применяется моноокись олова.Предлагаемое интерференционное покрытие может быть получено вакуумным электронно-лучевым или резистивным испарением, причем в качестве низкопреломляющих слоев (и н = 1,38- 1,45) могут быть использованы слои любого из известных веществ, таких как МдРЯК, 5 Р ВаГ, а н качестве высоко: реломляющих - слои моноокиси олова пв:= 2,35-2,51, Покрытия наносятся на подложку (оптичес 972455кое стекло, керамика, кристаллы), нагретую до 200-300 фС при остаточном.давлении 10"+ - 10 тор.На фиг. 1 представлены спектральные кривые пропускания и отражениячетвертьволновых покрытий из фтористого магния и моноокиси олова, нанесенных на кристаллы фтористого бария,нагретые до 300 С, для однослойного,трехслойного и семислойного покрытияна фиг. 2 - спектральные кривые пропускания (Т) и отражения покрытия), состоящего из 9 слоев,Йзмерение спектрального пропускания и отражения показали, что слои,нанесенные испаренной моноокиси олова прозрачны в области спектраА 1 = 0,9"8,5 мкм, а их показательпреломления, определенный по величине .максимумов отражения составляет 2,35-2,5.Испытания показали, что предложенное покрытие выдерживает тридцатисуточное пребывание в условиях100-ной влажности при 60 С, термоудар от -60 фС до +60 С и длительныйнагрев на воздухе до 200 .С.При работе в данных климатическихусловиях оптические. свойства покрытия остались неизменными вследствииего высокой механической прочностии химической устойчивости.,Предлагаемое покрытие может бытьиспользовано для создания работающих в ИК области спектра интерференционных систем различного назначения (светоделители, зеркала, фильтры и пр.) с повышенной механической прочностью и климатической устойчивостью.Формула изобретения10Применение моноокиси олова в качестве материала высокопреломпяющего слоя интерференционного покрытия для области спектра 0,9-8,5 мкм.5Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Краткая химическая Энциклопе дия. М., "Сов.Энциклопедия",1964,т. 3, с. 733-734.2, Ройх И.Л., Жаров В.А. Особенности адгезии вакуумно-осажденныхслоев окислов к стеклу и ситаллу 25 после обработки их поверхности втлеющем разряде- "Физика и химияобработки материалов", Р 6, 1976,с. 140-1413. "Инфракрасные фильтры", "Науи техника", Минск, 1971, с. 114-1/ Тираж 518 ВНИИПИ Государственно по делам изобретени 113035, Москва, Ж, РаПодписноекомитета СССРи открытийушская наб., д 4/5