Диффузионный вакуумный насос

(72) Авторы Н,И С. Гор н ДИФФУЗИОННЫЙ ВИУУИНЫЙ НАСОС аку умный размещен- и криоген хранения ность необменвиосуне едл соиный насо мещенными риогенным хранения абжен б нем краалок ста усе еля Изобретение относится к вакуумной технике.Известен диффузионный в насос, содержащий корпус с ными в нем сопловым блоком ным экраном и емкость для рабочего тела Я .Недостатком является циклич работы известного насоса из"за ходимости сбора криоосадка.Целью изобретения является обеспечение непрерывной работы насоса путем периодического сброса криоосадка.Указанная цель достигается тем, что насос снабжен блоком регенерации, а в корпусе установлена перегородка, отделяющая блок регенерации от экрана и соплового блока и снабженная затвором, эапорный элемент которого имеет коническую форму, об-, ращен вершиной вверх и установлен с возможностью осевого перемещения, причем блок регенерации выполнен в виде размещенной соосно корпусурасходной емкости и расположеннокоаксиально ей бункера для сборакриоосадка, а емкость для храненирабочего тела расположена по осиблока регенерации и имеет общую ску с расходной емкостью, другаястенка которой выполнена в виде силфона, соединенного с запорным элетом затвора, и бункер выполнен вде двухстенного цилиндрического сда, имеющего внутренний диаметр,превышающий диаметра запорного элмента, а емкости и бункер снабжень криопанелями. На чертеже изображ насос, разрез. Диффузионный ваку держит корпусс ра сопловым блоком 2 и ном Э и емкость 4 дл бочего тела. Насос с регенерации, а в кор на перегородка 5, отд88990регенерации от экрана 3 и сопловогоблока 2 и снабженная затвором 6,запорный элемент которого имеет кони"ческую форму, обращен вершиной вверхи установлен с возможностью осевогоперемещения, причем блок регенерациивыполнен в виде размещенной сооснокорпусу 1 расходноп емкости 7 и рас"положенного коаксиально ей бункерадля сбора криоосадка, а емкость 4 1 О.для хранения рабочего тела расположена по оси блока регенерации и имеетобщую стенку 8 с расходной емкостью7, другая стенка которой выполненав виде сильфона 9, соединенного с 15запорным элементом затвора 6, и бункер выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда 1 О, имеющеговнутренний диаметр Э, не превышающий диаметра 0 запорного элемента,а емкости 4 и 7 и бункер снабженыкриопанелями 11-13. Предварительнуюоткачку производят форвакуумным насосом 14. Емкость 4 и расходная емкость7 через трехходовой клапан 15,сообщаются с сопловым блоком 2, а клапаном 16 - друг с другом, Клапаны 17и 18 служат для подачи хладагентак криопанелям 11 - 13. Форвакуумнаямагистраль с вентилем 19 служит дляоткачки из емкости 4 примесей, неконденсируемых при температуре жидкого азота. Между емкостью 4 и бункером установлен кланан 20.Диффузионный насос работает следующим образом,3Насос присоединяется к откачиваемому объекту, Емкость 4 и расходнаяемкость 7 заправляются рабочим теломпод давлением, под действием которо 40го, вследствие осевой упругостисильфона 9, затвор 6 перемещаетсявверх до упора с перегородкой 5.После создания предварительного вакуума форвакуумным насосом 14 открывается клапан 15 и рабочее тело ( напри 4мер углекислота СО )поступает иземкости 4 в сопловый блок 2, вытекает из сопел, захватывая откачиваемый газ, сжимает и переносит в сторону форвакуумного насоса 14, Углекислота, соприкасаясь с поверхностьюкриогенного экрана 3, конденсируетсяна нем, накапливается в виде слоякриоосадка, увеличение толщины которого препятствует работе насоса. На- Ичинается цикл удаления криоосадка.Для этого на криопанель 12 расходнойемкости 7. через клапан 17 подается 1жидкий азот, находящаяся в емкости 7 углекислота вымораживается, давление по обе стороны затвора 6 выравнивается и под действием сил упругости сильфона 9 затвор 6 опускаетсясообщая форвакуумную полость насоса с бункером, криопанель 13 которого к этому моменту захолаживается подачей через клапан 17 жидкого азота, Твердый криоосадок скалывается с экрана 3, ссыпается вниз и по конической поверхности затвора 6 через щель между перегородкой 5 и затвором 6 попадает в бункер, После наполнения бункера прекращается подача азота на охлаждение криопанели 13 и криопанели 12 расходной емкости 7. Отогрев последней происходит быстрей путем ее принудительного нагрева или меньшей теплоемкости захолаживаемого металла, в силу чего в емкости 7 быстро растет давление (выхода газа нет), под действием которого затвор 6 движется вверх и перекрывает щель, через которую криоосадок поступил с криопенного экрана 3 в бункер, Трех- ходовым клапаном 15 подача углекислоты на сопловой блок 2 с емкости 4 переключается на расходную емкость 7, откуда углекислота поступает на сопловой блок 2 во время регенерации рабочего тела, Расход углекислоты за это время недостаточен для пониже" ния давления в расходнои емкости 7 до величины открытия затвора 6, В момент переключения подачи рабочего тела с емкости 4 на расходную емкость 7 на криопанель 11 через клапан 18 подается азот и открывается клапан 20, который сообщает бункер с полостью емкости 4, Происходит перетекание отогревающейся в бункере углекислоты в емкость 4 и ее конденсация на криопанели 11. Несконденсируемые примеси при открытии клапана 1 ф на форвакуумной магистрали откачиваются форвакуумным насосом 14. После регенерации рабочего тела закрывается клапан 19, подача азота на криопаиель11 прекращается и клапаном 15 вновьпереключается подача углекислоты с расходнойемкости 7 на емкость 4, в которой происходит отогрев и газофикация очищенной углекислоты. Параллельно с этим открытием клапана 16 происходит подпитка рабочим телом расходной емкости 7,ф которая обеспечивала непрерывную подачу углекислоты5 88990 в сопповой блок 2 на время регенерации криоосадка.Таким образом, в предлагаемом насосе обеспечена непрерывность его работы, путем периодического сброса у криоосадка.формула изобретенияДиффузионный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными 11 в нем сопловым блоком и криогенвюм экраном и емкость для хранения рабочего тела, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью обеспечения непрерывности работы путем периодического М сброса криоосадка, насос снабжен блоком регенерации, а в корпусе установлена перегородка, отделяющая блок регенерации от экрана и соппового блока и снабженная затвором, эапорный ЗФ элемент которого имеет коническую форму, обращен вершиной вверх и уста 1 Фновлен с возможностью осевого перемещения, причем блок регенеря,ии выполнен в виде размещенной соосно корпусу расходной емкости и расположе " ного коаксиально ей бункера для сбора криоосадка, а емкость для хранения рабочего тела расположена по оси блока регенерации и имеет общую стенку с расходной емкостью, другая стенка которой выполнена в виде сильона, соединенного с запорным элементом затвора, и бункер выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда, имеющего внутренний диаметр, не превышающий диаметра запорного элемента, а емкости и бункер снабжены криопанеляж.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРР 191739 кл. Г 04.9,100, 965,889901 А. Дзятко 0928 54 Тираж 75 ПодНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам иаобретений и открытий3035, Москва, Ж, Раушская наб., д ное к 4/5 ектная, 4 ужгород, ул Патент Составитель О, Тишинаедактор И. Товтин Техред И. Рейвес Корр