Устройство для перемещения

О П И С А Н И Е о 1 744211ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советски кСоциалистическикРеспубликОпубликовано 30.06.80. Бюллетень 24Дата опубликования описания 10.07.80 по делам изобретений н открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ 1Изобретение относится к полупроводниковой промышленности и может быть использовано для подачи с заданной скоростьк лодочки с пластинами из полупроводникового материала на операциях термодиффузионной обработки в диффузионных печах.Известно устройство для перемещения, содержащее привод, корпус, направляющие, каретку с кварцевым стержнем 11.Известно также устройство для перемещения, содержащее корпус и размещенные в нем направляющие, приводную каретку, ро лики которой жестко установлены на осях и охватывают направляющие 2.Недостатком устройств является возможность поперечных колебаний и поворота стержня с лодочкой вокруг оси стержня изза чего пластины рассыпаются в трубе. Лодочка и стержень соединены между собой неразъемно, образуя при этом громоздкую конструкцию, которая создает трудности при изготовлении, например, на операции химобработки, а также при установке в направляющие.Цель изобретения -исключение поперечных колебаний каретки при перемеще 211 оставленная цель достигается тем, что каретка выполнена из двух разъемных в оризонтальной плоскости частей, поджатьк др 1 г к другу пръжиндми, причем часть и)ликов установлена с возможностью переменке ния вдоль оси на втулках.На фиг.схематически изображено уст ройство для перемещения, общий вил; и: фиг. 2 - то же, вид сверху, фиг. 3вид А на фиг. 1; на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг. 2; на фиг. 5 - вид В на фиг. 4; на фиг, 6 - разрез Г-Г на фиг. 4.Устройство для перемещения лодочкис пластинами из полупроводникового материала в реакционной трубе 2 диффузионной печи смонтировано в корпусе 3, в котором по двум круглым направляющим 4 на роликах перемешается каретка 5, несуцая кварцевый стержень 6 с крючком на конце для удерживания лодочки 1 при транспортировке.Привод каретки 5 состоит из электродвигателя 7 постоянного тока и с регулируемой скоростью вращения вала, редуктора 8, на выходном залу которого закреплен бара бан 9 с винтовои канавкой, каната О, намотанного на барабан 9, концы которого перекн Гы еред б,Окп 1 и зскрепе)еп с кссрстк 5 с помопью вал и ко в 12.с) спп . с)гокс)в 11 расцается на осп 13 в кронтене 14, а другойна рычаге 5, закреплси)м па оси 16 в кронштейне 14, прикреплспнс)м к концевой стенке корпуса 3. Пружина 17 слжит для натяжения каната 10 на блоках 1. На горизонтальной планке корпуса 3 установлены концевые выключатели 18 с толкателями 19, Валик 20 предназ начен для подьема кварцевого стержня 6, который удерживается в отверстиях кронштейнов 21, установленных на концевых стен ках корпуса 3 с помощью заштифтовки с маховичком 22 и кольцом 23.Направляющие 4 изготовлены из калиброванной круглой стали, имеют с одного конца две диаметрально расположенньсе канав. ки, а с другого - резьбу, вставлены в от. верстия концевых стенок корпуса 3 и натянуты с помощью планки 24 гайками 25. Отверстие в планке 24 предназначено для установки в пазы планки концов направляю 51 О15 20 щих 4.Каретка 5 перемещается по направляющим 4 на восьми роликах, в ободах 26 которых выполнены полукруглые канавки пс форме профиляаправляющих 4 и состоит из дву частей. Четыре верхних ролика посажены на ося 27, закрепленных в нижнем корпусе 30 каре 1 ки. Винты 31 закреплены в корпусс 30 и водят в отверстия верхнего корпуса "8. Между головками винтов 3 и уступами отверстий в вернем корпусе 28 зО каретки помещены пружины 32, которые прижим)к) ободы 26 роликов к направляющим 4, еамоуетанавливая рс)лики па направляю).Рыча 33 закрелсч на оси 34 в пазу нижнего корпуса 50держиваетс) в го 35 ризс)н)ал.нс пс)г)ожс)п)и пружиной 35, при. крепленной к рычаг 33 с помощью заклепки 36. Ролики 37 вращаются на осях 38 рычага 33 и предаза ины для остановки в крайи положсния каретки 5 при пажа о тии ими толкателей 19 кспцевых выключателей 18 и отклк)".ением электродвп)ателя 7.Рычаги 39 закреплены на осях в пазах кронштейнов 40 и 41, установленных на верхнем корпусе 28 и своими уступами с помошьк) пружины 42 удерживак)т за цапфы дер жатель кварцевого стержня 6. Держатель представляет собой хомутик 43 с двухя цапфа 4 и, в котором крепится кварцевый степ. жень 6 с помощью ползуна 44 и винта 45 е контргайкой. Штифты 46 в хомутике 43 служат направлявшими для ползуна 44.у-образный толкатель 47 расположен в кронштейне 48 и опирается на кулачок 49, который может скользить по валику 20. нонка 50 своим выступом входит в паз кулачка 49 и перемешается вместе с ним по а ику 20 при перемещении каретки, цепляясь выступом за стенки кронштейна 48.Кварцевый стержень 6, удерживаясь цап. фами хомутика 43 в пазах кронштейнов 40 и 41, опир )ется на толкагсльи. оворс том валика 20 с кулачком 49, мскет вс)дить. ся в .)с)цеплсние с лодочкой д.я )р;спорт ровани) и.и выводитьея из з)цРг)снп 5.Внешняя часть 26 роликик;)ретки вы полнена с полукруглыми канавками, кото. рыми ролики соприкасаются с аправляющими 4 во время персмещения каретки, а внутренняя часть имеег б ргик.Каждый обод 26 посажен на два шарикоподшипника 51. Шарикоподшипники вер- них роликов с одной стороны каретки внутренними обоймами посажены на цапфы осей 27 неподвижно. Шайбы 52, входя в кольце вую канавку на цапфах осей 27, иск.ючают осевое перемещение шарикоподшипников с ободом 26 вдоль осей. Шарикоподшипники остальных роликов внутренними обоймами посажены на втулки 53, имеющие буртик с пазом с одного конца, и закреплены на втул ках развальцовкой второго конца. Ме) у внутренними обоймами шарикоподшипник )в каждого ролика установлены распорные кольца 54, ширина которых равна шири;)е буртика в ободе 26 ролика.На осях 27 с одного конца, а на осях 29 с обоих концов, сняты лыски параллельно друг другу, которыми оси входят в пазы втулок 53, с целью исключения вращения втулок 53 с внутренними обоймами шарикоподшипников, Между торцом и дном втулок 53 и соот. ветствующими торцами осей 27 и 29 уста. новлен одинаковый зазор, который позволя. ет в.)улкам 53 (в целом роликам) перемещаться вдоль цапф осей 27, 29 с целью компенсации непараллельности направляющих 4, так как при движении каретки под дейст. вием пружин 32 ободы 26 роликов до,)жны самоустанавливаться на направляющих 4 и полукруглыми канавками катиться по ним без зазора.Устройство работает следующим образом.Лодочка 1 с пластинами из полупроводникового материала устанавливается на позицию загрузки и поворотом валика 20 крючок стержня 6 вводится в зацепление с лодочкой 1. Включается в сеть электродвига. тель 7, который через муфту приводит во вращение барабан 9 на выходном валу редук. тора 8.Канат 10, перематываясь на барабане 9, приводит в движение каретку 5, которая дви. гаясь на роликах по направляющим 4, с помощью кварцевого стержня 6 перемещает лодочку 1 в рабочую зону диффузионной печи. В момент достижения лодочкой 1 рабочей зоны печи ролик 57 нажимает на толкатель 19 кольцевого выключателя 18 и электродвигатель 7 останавливается.1 оворотом валика 20 через кулачок 49 и толкате.ь 47 кочок кварцевого стержня 6 выводится из зацепления с лодочкой 1. Включается в сеть электродвигатель 7, ко торый сообщает обратное вращение бараба ну 9 редуктора 8. При этом каретка 5 со стержнех 6 отводится в исходное положение, 715где электродвигатель 7 отключается при на. жатии ролика 37 на толкатель 19 исходного выключателя 18. Для выгрузки лодочки 1 из рабочей зоны печи каретка 5 подводится в переднее положение, крючок вводится в зацепление с лодочкой и производится транспортировка лодочки 1 в обратном направлении на позицию загрузки.В устройстве для перемещения конструкция каретки, роликов и осей выполнена так, что ролики, охватывая канавками направляющие по профилю, могчт, самоустанавлиг 1 а ваясь на направляющих, катиться по ним, даже при значительном отклонении от параллельности. При этом, чем сильнее натя. нуты направляюшие, тем меньше будет отклонение от параллельности. Предлагаемая конструкция обеспечивает надежность рабо. 1 з ты устройства, исключает возможность поворота стержня вокруг своей оси и переворота лодочки с пластинами, позволяет плавно перемешать лодочку с пластинами в диф. фузионной трубе. ьФ)рлюу,ги нзибрсгс нп.Устройство для иеремнц н я, содержагцее корпус и размегценные .; ием направляющие, приводную кареткч, лики которой жестко установлены на осях и охватывакп направляющие, отличавщеесч ем, что, с целью исключения поперечных колебаний каретки при перемешении, каретка выполнена из двух разъемных в горизонтальной плоскости;астей, поджатых друг к другу пружинами, причем часть роликов установлена с возможностью персмешения вдоль оси на втулках.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Патент СШЛ3705714, кл. Е 27 5/00.1972.2. Патент Японии48-42380,кл. Н 01 С 7/ОО, 1973венк ла ИПИ Рос по делам Москва,1 ПГ ПатУФР Корректор М. ВПодписноеком итета СССРи открытийская наб., д. 4/5од, ул. Проектная, 4