Способ изготовления электроннолучевых трубок в процессе откачки

(22)Заявлено 29,0 76 (21) 231.В 7 ) у:1. Я:1 т а ут и исоедицсциеи за киЯ осудорственкье хоикте СССР оо делам нэобретонкй и открытнйвано ния опт сания) Авторизобретен ит лсчькп 11(7) Заявите СОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗЛГКТРОН 11 ОЛУЧЕВЫХ ТРУБОК В ПРОЦЕССЕ ОТКЛч 1 КИ анке ЭЛотттрот и татовходе в откачную сцстев зависимости от резулдавления 2,Однак оптимизации проприемлем дляпроиз Водства можно на копрегате в одной енять л ел -о такой способ згаживанця не са ериицого иЗЛ Т, так ССОВОГ К ейерном откачном аг печи обезгаживанця цз ность обезгажцвания тет Т Рива т 5 т нци дан ышение выходИ И ДОЛГОВЕЧптельцостц ель изобретения - по ЭЛТ, их надежнсс увеличение произво дных с Изобретение относится к областц изготовления электровакуумных приборов в процессе откачки, в частности к оптимизации процесса термовакуумной обработки электроннолучевых трубок ( ЭЛТ),Известен способ откачки с управением отпайкой электроннолучевых трубок в зависимости от показания датчика давления, установленного непосредственно в объеме ЗЛТ, причем в качестве датчика используется арматура ЭЛТ 11, Этот способ не оптимизирует процесс термовакуумной обработки ЭЛТ, а лишь позволяет осуществлять разбраковку ЗЛТ по вакууму.Наиболее близким к изобретентпо является способ изготовления эектроцполучевых трубок в процессе отка 1 кп, заключатошийся в откачке ЗЛТпериод ее нагрева и охлаждения, в обезгаживании прожектора и активировке катода на этапе охлаждения баллона, в последуюших операциях контроля с помощью двух манометров давления в объеме ЭЛТ и на м д гг ьпри максимальной1 ературе индивидуально для каждойтак же как нельзя к баллону каж- ЭЛТ серийного производства привать манометрический датчик. Поэтому ельность обезгаживаттця не использукак параметр оптимизации процес- корректирующий Возможнье отктюпевакуумных свойств узлов ЗЛТ, а наВцВается постоянной на основастатическцх ц эксперцментальшлх ых.Ц в а693464 откачных агрегатов, а также созданиеавтоматической системы управления техиологическим процессом ( АСУТП) о;"- качки.Поставленная цель достигается тем,что определение момента отпайки производится сравнением изменения давленийостаточных газов в объеме баллона ЭЛТи на входе в откачную систему, а отнайка ЭЛТ осуществляется в интеорвале10температур баллона 320-150 С при давлении в объеме ЭЛТ в диапазонедрРэт10 -ри давлении на.входе в откачную системув диапазоне- 55 10 тор Р 5 10 тор,когда скорость снижения давления вобъеме ЭЛТ превышает скорость снижения давления на входе в откачную систему,2 Огде Р - давление на входе в откачиососдную систему;Рз г - давление в объеме ЗЛТ.Способ реализуется следующим об 25разом.После окончания операций по обе=- гаживанию арматуры, газопоглотителя икатода в процессе охлаждения баллонсвна откачке в диапазоне температур балзопопов 320-150 С непрерывно или периодически осуществляется измерениедавления в объеме ЭЛТ и на входе воткачнув систему. Диапазон температурыбаллона, в котором измеряется давле 35ние, соответствует периоду откачки, втечение которого может наступить оптимальный момент для отпайки, Верхнийпредел соответствует длительным режи.мам обезгаживания баллонов при максимальной температуре, хорошему состоянию откачной системы и высокой сорбционной способности внутренних покрытийбаллонов, когда имеется возможность кмоменту охлаждения баллона до 330 Сзакончить операции по обезгаживаниюэлементов арматуры ЭЛТ, Нижний пределсоответствует кратковременным режимамобезгаживания баллонов при максимальной температуре, длительным режимам.обезгажиранпя элементов арматуры ЗЛТ,конструкциям ЗЛТ с малой сорбционнойспособностью внутренней поверхностибаллона, удовлетворительному состояниюоткачной системы. Для черно-белых кипе скопов типа 61 ЛК 2 Б, обезгаживаемыхпри 400 С в течение 5-10 мин, измеорение давления производится в уапазонетемпературы баллонов 300-180 С 4В качестве датчика давления в объеме ЭЛТ используется арматура ЭЛТ. В качестве датчика давления на входе в откачную систему используется любой измеритель давления, обеспечивающий измерение в необходимом диапазоне давлений,например, измеритель типа ВИТс датчиком чипа ПЛМ. Измерение давления в объеме ЭЛТначинается прл давлении, не превышавшем величину 5 10 ттор, Это гарантирует нормальную кратковременную работу катода ЭЛТ при повышенном накале.Ориентировочное определение давленияв объеме ЭЛТ, при котором возможноначать измерение давления с использованием арматуры ЭЛТ, осуществляетсяпо величине и характеру изменения давлейия на входе в откачную систему. ДляЭЛТ 61 ЛК 2 Б, откачиваемых на конвейерных агрегатах с прямоточной откачнойсистемой, измерение давления в объемеЭЛТ начинается при давлении на входев откачную систему, не превьпиаюшемЯ 10 тор,Измеряемые в процессе ох аждениябаллона давления в обьеме ЭЛТ и навходе в откачную систему сравниваются.Когда скорость снижения давления вобьеме ЭЛТ превышает скорость снижения давления на входе в откачную систему, давление в объеме ЭЛТ соответствует условию510 торР, . 4.110 тор, (1)а давление на входе в откачную системудолжно быть близким к фоновому и соответствовать условию5 10 тор(Ро (5 10 тор, (2)где Р,. - давление в объеме баллонаЭЛТ;Р -давление на входе в откачную систему,Соблюдение указанного условия обеспечивает качественное обезгаживаниеповерхностей баллона и арматуры и низкое конечное давление остаточных газовв объеме ЭЛТ. Более высокая скоростьснижения давления в объеме ЭЛТ, чем на входе в откачную систему, свидетельствует о том, что в объеме ЭЛТ преобладает процесс сорбции газов остывающей поверхностью баллона и арматуры, Это гарантирует, что после пайки в обьеме ,.ЭЛТ до полного ее остывания давление будет постепенно снижаться.Левая часть неравенства ( 1) ограничивает момент проведения отпайки не позднее, чем закончится процесс интенной работоспособности насосов повыситьскорость движения откачных агрегатовдо предела, определяемого термостойкостыо баллонов,Б зависимости от того, при какойтемпературе баллона будгг возникатьусловия для осуществления отиайки,можно определять для новых тигов ЭЛТоптимальную продолжительность нагревабаллона и прожектора при максимальнойтемпературе, т.е. режим термовакуумнойобработки ЭЛТ.Реализация предлагаемого способа спомощью ЭВК позволяет создать уни-ерсальную АСУТП с оперативным управлением производительностью процессаоткачки и длительностью обезгаживаниябаллона и прожектора при максимальнойтемпературе для всех ЭЛТ в зависимостиот изменения кривой распределения температуры баллона ЗЛТ, при которой осуществляется отпайка каждой ЗЛТ, в т,ч,различных типов, откачиваемых в одномпотоке на одном откачном агрегате. Приэтом выбор момента осуществления отпайки каждой ЭЛТ производится на основании сравнения изменения давленияи объеме ЭЛТ н на входе в откачнуюсистему, а изменение производительностипроцесса осушествляется исходя из зави-симости процента выхода приборов заданного качества от цикла откачки при оптимально температурном режиме обработки баллона и прожектора ЭЛТ,Формула изобретения Способ изготовления электроннолучевых трубок в процессе откачки, закгцочаюшийся в откаче трубки в период ее нагрева и охлаждегия, в обезгаживании прожектора и актнвировке катода на этапе охлаждения баллона, в последующих операциях контроля с помощью двух манометров давления в объеме трубки и на входе в откачную систему и отпайке трубки в зависимости от результатов контроля давления, о т л и ч а ю ш и йс я тем, что, с целью повышения выхода годных трубок, их надежности и долговечности, увеличения производительности откачных агрегатов, а также создания автоматической системы управления откачкой, определение момента отпайки производится сравнением изменения давлений остаточных газов в объеме баллона трубки и на входе в откачную систе 5 693464 6 сивной сорбции остаточных газо остывающей поверхностью баллона и арматуры. Проведение отпайки до окончанияэтого процесса позволяет использоватьнеизбежную сорбцию остаточных газовос тыва юш ими поверхностями баллона иарматуры для снижения давления в объеме самой ЭЛТ, а не в системе ЭЛТнасос.Правая часть неравенства (1) ограничивает момент проведения отпайки неранее, чем начнет преобладать пооцесссорбции газов в объеме ЭЛТ, эта частьнеравества дополняет условия проведенияотпайки при скорости снижения давления 5в объеме ЭЛТ большей, чем на входе воткачную систему, на случай скачкообразных изменений температуры элементовЭЛТ.Оптимальным условием проведения от- Юпайки для кинескопов типа 61 ЛК 2 Б является давление на входе в откачнуюсистему, равное (1,5-2,5)10 тор, идавление в объеме ЭЛТ в пределах( 1-5)10 тор при скорости снижениядавления в объеме ЭЛТ большей, чемна входе в откачную систему.Предлагаемый способ управления отпайкой обеспечивает по сравнению ссуществующими способами улучшение30качестве ЭЛТ; повышение производительности откачных агрегатов, увеличение межремонтного срока эксплуатацииоткачных систем и своевременное осуществление их профилактики; оперативное управление процессом прокаливаниябаллонов с покрытиями до откачки наоперациях зкранирования, а также процессом очистки и обезгаживания дета 40лей арматуры до откачки; оперативнуюкорректировку температурного режимаобезгажизания баллонов, деталей арматуры, газопоглотителей и катода в пропроцессе откачки и определение этих режи 45мов для вновь разрабатываемых типовЭЛТ; возможность создания универсальной АСУТП с оперативным управлением процессом откачки индивидуальнодля каждой из ЭЛТ, откачиваемых в50одном потоке.Увеличение длительности охлаждениярабочей жидкости паромаслянных насосов за счет максимального сдвига в зону высоких температур момента отпай 55ки ЭЛТ, а такжеповышение качестваобезгаживания элементов ЭЛТ и конечного вакуума позволяет без ухудшениякачества ЭЛТ и с сохранением длнтель му, а отпайка трубки осуществляетсч во интервале температур баллона 320-150 С при давлении в объеме трубки в диапазоне5 10 торР 1 10 тор и давлении на входе в откачнув системудианацекогда скорость снижения давления в объеме трубка превышает скорость снижения давления на хд в откачнуло систему, где Рт - давление в объеметрубки, Р - давление на входе воткачную систему.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент СИА2861861,кл. 316-24, опублик. 1969,2. Черепнин Н. В. Основы очистки,обезгаживания и откачки в вакуумнойтехнике, М., "Сов, радио", 1967,с. 349-352 ( прототип) .Составитель Е. МедведевРедактор А, Коавченко Техред Н, Ковалева Корректор 1-" лукачЗаказ 63077"Г 2 Тираж 923 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 45 Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4