Экранирующее устройство

Номер патента: 473770

Авторы: Гордеев, Луковников, Фадеев, Яшуков

ZIP архив

Текст

) 473770 Союз Советских Социалистических Республик(51) залвгц,% соплиге сударственнык комитет 3) Приорцт Совета Министров СССРло долам изобретений Опубликовано 14.06.7 3) УДК 621.793.72(088.8) етень М и открытий опубликования описания 14.08.75(72) Авторы изобретения Гордеев, Ю. В. фадеев, Л, А. Луковников и В. В. Яшуко 1) Заявитель 4) ЭКРАН И РУЮЩЕЕ УСТРОИ СТВО анирующим зовано в уснесения поапример из 15 регулиронирующего щих испа 25 преджено а ле цирн Изобретение относится к экрустройствам и может быть испольтановках, предназначенных для накрытий в вакууме на подложки, нстекла,Известно экранирующее устройство в вакуумной установке для нанесения покрытий наподложку из стекла, включающее лепестковыеэкраны, связанные с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращающихся призматических направляющих и кинематически связанным с приводом.Недостатком известного экранирующего устройства является то, что в неч исключена возможность регулировки внутреннего диаметра,так как цри подьеме лепестков между цоследцими образуются щели, и нарушается целостность экрана. Кроме того, при использованииизвестного устройства значительное количество дорогостоящих исцаряемых веществ разлетается в стороны.Цель изобретения - обеспечитьвание внутреннего диаметра экраустройства и экономию дорогостояряемых веществ.Поставленная цель достигается тем, чтоложецное экранирующее устройство, сцабкронштейном с эксцентричным пальцем,пестковые экраны смонтированы на шаро связанных с распределительным кольцом двуплечих рычагах, каждыи из которых имеет управляющий паз на свободном конце,На фиг. 1 - экранирующее устройство в закрытом состоянии; на фиг. 2 - экранирующее устройство в открытом состоянии; ца фиг, 3 - управляющий ггаз рычага с эксцентричным пальцем; на фиг. 4 - шарнирное крепление рычага к несущему распределительному кольцу; на фиг. 5 - несущее распределительное кольцо в призматических направляющих.Экран црующее устройство состоит из нескольких равномерно расположенных по окружности лепестков 1, закрепленных на двуплечик рычагах , шарнирно связанных в центре т цесущи.,1 распределительных кольцоч 3, вращающимся цо призматическим нацравлякцццм 1,юрой которых служит кронштейн 5, жестко связанный с вакуумной камерой 6. Двуцлечие рычаги снабжены уцрагзляющим цазоч 7, взаимодействующим с пальцем 8, выполненным в виде эксцентрика для регулирования лепестков при настройке и эксплуатации. Несущее распределительное кольцо рычагом 9 кинематически связано с приводом 10. Для ограничения поворота несущего распределительного кольца служит упор 11,Работает экрацирующее устройство следуощим образом.От привода 10 цод действием рычага 9, несущее распределительное кольцо 3 поворачивается в призматических направляющих 4, закрепленных в кронштейнах 5 вакуумной камеры 6. При этом двуплечие рычаги 2 с закрепленными на них лепестками 1 перемещаются горизонтально с несущим кольцом 3 и, скользя управляющим пазом 7, поворачиваются вокруг эксцентрикового пальца 8 до полного открытия экранирующего устройства, которое фиксируется упором 11. Предмст изобретенияЭкранирующес устройство в вакуумных установках для нанесения покрытий на подложку, например, из стекла, включающее лепестковые экраны, связанные с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращающихся призматических направляющих 5 и кинематически связанным с приводом, отл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью регулирования внутреннего диаметра экранирующего устройства и экономии дорогостоящих испаряемых веществ, оно снабжено кронштейном с 10 эксцентричным пальцем, а лепестковые экраны смонтированы на шарнирно связанных с распределительным кольцом двуплсчих рычагах, каждый из которых имеет паз на свободном конце.473770 А-А Составитель Г. Соболеванбаева Техред Е. Подурушина ректор 3. Тарасов едактор Заказ 1972/17ЦНИ пнснос в СС Типография, пр. Сапунова,Изд.1527 Тираж 966И Государственного комнтен Сонета Миниспо делам изобретений и открытийМосква, Ж, Раушская наб д. 4/5

Смотреть

Заявка

1873516, 26.01.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7569

ГОРДЕЕВ АНАТОЛИЙ АФАНАСЬЕВИЧ, ФАДЕЕВ ЮРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, ЛУКОВНИКОВ ЛЕВ АЛЕКСЕЕВИЧ, ЯШУКОВ ВСЕВОЛОД ВАСИЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: C23C 13/08

Метки: экранирующее

Опубликовано: 15.06.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/4-473770-ehkraniruyushhee-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Экранирующее устройство</a>

Похожие патенты