Всесоюзная i _, . -. -ргмл trvt-” if ft lt; • ila;: hihu”ilah-; . с й;

.Ч. Кл. В 24 Ь 5,/00В 24 Ь 7/00В 24 Ь 11 00 Комитет по делатл изобретений и открытий при Совете Министров СССРУДК 621.924.1(088.8) Дата опубликования описания 17.1 Ч.1973 Авторыизобретения А. Ф. Волков, Е. А. Волков, В. А. Горбунов, И. П, Коровин и В. В. НикитченкоЗаявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕРИЧЕСКОГО ИЛИ ЦИЛИНДРИЧЕСКОГО ШЛИФАИзвестно устройство для изготовления сферического или цилиндрического шлифа, например, на полупроводниковой пластине, выполненное в виде предметного столика, несущего пластину, обрабатываемую принудительно приводимым в движение шлифовальником.Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что оно снабжено центрирующей планкой с гнездом, жестко закрепленной на вертикально перемещаемых упорах. Это отличие позволяет получить шлиф необходимой глубины в заданном месте.На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - ,приспособление для центрирования сферических шлифовальников и изготовления сферических шлифов определенной глубины; на фиг. 4 - разрез по А - А на фиг. 3; на фиг. 5 - приспособление для центрирования цилиндрических шлифовальников и изготовления цилиндрическиз шлифов определенной глубины; на фиг. б - разрез по Б - Б на фиг. 5.,Устройство компануют на металлическом корпусе 1. На верхней панели корпуса располагают микроскоп 2 бинокулярный стереоскопический типа МБС, прицельное приспособление для центрирования сферических или цилиндрическиз шлифовальников и получения сферических, или цилиндрическиз шлифов определенной глубины, гибкий вал 3 с цанговым наконечником. В устройство взводит набор сферпческиз и цилиндрическиз шлифовалыгиков:из иеметал,тпческиз материалов. Внутри 5 корпуса размещены электропрпвод и элементы электрической схемы, обеспечивающей питание, управление, сигнализацию и выключение привода и нагревательного устройства предметного столика. Управление электриче ской схемой осуществляется с лицевой панеликорпуса.Прицельное приспособление обеспечиваетустановку образца относительно центрирующего устройства шлифовальников, Оно состоит 15 из микроскопа 2, предметного столика 4 ицентрирующей планки 5, Предметный столик выполнен с нагревателем для закрепления образца клеющими составами и имеет возвратно-поступательное перемещение и поворот 20 на 360.Возвратно-поступательное перемещение столика осуществляется с помощью винта б и гайки 7 в направляющих 8. Поворот столика осуществляется с помощью гайки 9. Для от счета угла поворота предусмотрена шкала 10.В устройстве используются сферические 11и цилиндрические 12 шлифовальники различныз размеров, изготовленные из неметалличе.скиз материалов (древесина, эбонит, дерево пласт и т. д.).В устройстве имеется приспособление для изготовления сферических шлифов, состоящее из комплекта лодпружиненных центрирующих планок 5 с гнездами для шлифовальников разного диаметра, выставляемых в нужное положение упорами 13 и 14 с помощью гаек 15 с отсчетом по шкале 1 б, а также приспособление для изготовленпя цилиндрических шлифов (фпг. 3), выключающее подпружиненные центрлрующие планоки 5 с гнездами для шлифовальников, выставляемых в нуином проложении упораяи 17 и 14 с помощью гаек 15 с отсчетом по шкале 1 б. Цилиндрический шлифовальник закрепляется па планке с помощью держателя 18.Работает устройство следующим образом.Обрабатываемый образец наклеивают на предметный столик прицельного приспособления. Объективов микроскопа устанавливаютнад центром гнезда центрирующей планки. Затем с помощью предметного столика выставляют место обработки образца относительно центра гнезда центрирующей планки. Гайками и упорами центрирующих приспособлений планку устанавливают в положение, соответствующее заданной глубине изготавливаемого шлифа.Сферический шлифовальник требуемогоразмера закрепляют в цанге наконечника гиб кого вала электропривода, приводят во вращение и опускают в гнездо планки.В случае изготовления цилиндрических шлифов цангу наконечника гибкого вала подсоединяют к валу цилиндрического шлифовальни ка, Обработку образца ведут до тех пор, покаподпружиненная планка не коснется упоров,Предмет изобретенияУстройство для изготовления сферического 15 или цилиндрического шлифа, например, наполупроводниковой, пластине, выполненное в виде предметного столика, несущего пластину, обрабатываемую принудительно приводимым в движение шлифовальником, отличающееся 20 тем, что, с целью получения шлифа необходимой глубины в заданном месте, устройство снабжено центрирующей планкой с гнездом, жестко закрепленной на вертикально перемещаемых упорах,364414 Составитель А, ГоцеваТекред Л. Грачева Редактор Е. Левина Корректор Г Запорожец Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 1014/1 Изд.257 Тираж 826 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5