Станок для изготовления сферического шлифа

Номер патента: 701770

Авторы: Архипов, Кутовый

ZIP архив

Текст

ОП ИСАНИИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскмкСоциапистическикРеспубпнк 776 ТОРС КОМУ СВИДЕТЕЛЬ(22) Заявлено 07,07,7 1) 250 б 927/2551)М. Кл В 24 присоединением заявк арстееииьа камитет СССР(23) Приоритет па делам иэебретеиий бли ковано 05.12.7 ллетеиь Ж 45(088.8) крытий исаи ия 05, 1.2,7 та опубликовани 2) Авторы изобретени А, И, Архипов и П, И 71) Заявите 4) СТАНОК ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИ СФЕРИЧЕСКОГО ШЛИФАИзобретение относится к технике механичеой обработки материалов и может быть испо лупроводниковыхконтроля их электрофи изготовления сферичещий сферический шлиф связанный через водил ый в гнезде с возмож ижения 11 постыл колебательного дв Недостаток этого станка закл чается в том ные колебато шлифовальник имеет ограничен ельные движения,. это приводит к ества обрабатываемой поверхностиЦель изобретения - повышени абатываемой поверхности.Это достигается тем, что предл ок снабжен нажимным устройство нижению какачества об. гаемыи стам, установ- взаимодейиком вдоль жностью силового еским шлифоваль ленным с во твия со с ер 4 кинематич и привода, На фиг. 1 изображен описываемый станок,щий вид; на фиг. 2 - узел шлифовальника. а посредством ира. причем шарни телескопическ зовано в производстве пструктур при проведениизических параметров.Известен станок длякого шлифа, включаювальник, кинематическис приводом, установлен На металлическом корпусе 1 закреплена плита 2, на которой размещены наводящее устройство, опора 3 с установленным на ней сфери ческим шлифовальником 4 и нажимным устрой ством 5, микролифт б, электропривод 7, пред.метный столик 8 с вакуумной присоской и вакуумный вентиль 9, ванна 10 для шлифовального состава, очиститель 11 и емкость 12 для сбора шлака. Внутри корпуса 1 размещены эле. менты электронной схемы, обеспечиваюшей питание, управление, сигнализацию и отключение привода.Наводящее устройство состоит из микроскопа 13 и предметного столика 8, который выполнен с возможностью поворота на 180 в вер. тикальной плоскости. На станке можно устанавливать сферические шлифовальники различных размеров. Опора 3 выполнена с коническим гнездом для шлифовальника. Нажимное устройство 5 фиксирует шлифовальник 4 в гнезде опоры 3. Свободныи конец поводкасвязан с приводом шлифовальн3 701полнен. с возможностью перемещения по радиусуводила 15.Станок работает следующим образом,Обрабатываемую полупроводниковую структуру устанавливают на предметном столике 8.С помощью наводящего устройства выставляютзаданную точку топологии полупроводниковойструктуры в зону шлифования. Открывают вакуумный вентиль 9 и структура закрепляетсяна предметном столике посредством вакуумнойприсоски. Поворачивают предметный столикона 180 и устанавливают на микролифт 6, спомощью которого структуру вводят в контактсо шлифовальником 4, Ванну 10 заполняют шлифовальным составом и включают электропривод 7. Шлифовальный состав подается шлифовальником из ванны в зону обработки, Шлакснимается со шлифовальника очистителем 11 исобирается в емкости 12,Электронная схема отключает привод шлифовальника при достижении заданной глубинышлифования.4Использование предлагаемого станка позволяет повысить качество обрабатываемой поверх. ности. 770 5 Формула изобретения Источники информации,20принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР Р 538535,кл. В 24 В 5/00, 1974,Станок для изготовления сферического шлифа, включающий сферический шлифовальник,1 О кинематически связанный посредством водилас приводом, установленный в гнезде опоры свозможностью колебательного движения, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, он15 снабжен нажимным устройством, установленнымс возможностью силового взаимодействия сосферическим шлифовальником вдоль оси привода, 701770

Смотреть

Заявка

2506927, 07.07.1977

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5476

АРХИПОВ АЛЕКСЕЙ ИВАНОВИЧ, КУТОВЫЙ ПЕТР ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: B24B 5/00

Метки: станок, сферического, шлифа

Опубликовано: 05.12.1979

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-701770-stanok-dlya-izgotovleniya-sfericheskogo-shlifa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Станок для изготовления сферического шлифа</a>

Похожие патенты