210947

21 О 947 ОП И САН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советскик Социалистических РеспубликПриоритетОпубликовано 08.11,1968, Бюлл итет ао делам осретений и открытийри Совете МинистровСССР нь7 .1 Ъ.1968 а опу.оликования сания вторызобретенияЗаявите УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕС МЕТАЛЛОВ, ПОЛУПРОВ ИЯ И ДНИК ЕЗЕРОВАНИЯ СЛОЕВИ ДИЭЛЕКТРИКОВ 5 ткач . По Известны установки для распыления материалов, содержащие вакуумный колпак, карусели с распыляемыми материалами и трафаретами. Мишени, трафареты и подложки располагаются на каруселях, вращающихся относительно друг друга.В предложенной установке карусель с распыляемыми материалами и карусель с трафаретами неподвижны одна относительно другой и установлены на одной оси. Магазины для подложек, выполненные в виде вертикальных направляющих, установлены рядом с рабочей позицией по обеим сторонам на неподвижной плите. Механизм для перемещения подложек имеет манипулятор, снабженный захватом, выполненным в виде поворотных вокруг горизонтальной оси рычагов. Один конец каждого из них шарнирно соединен с сердечником электромагнита, а другой снабжен электрически изолированными пальцами, опирающимися на подвижные упоры. Между рычагами установлен подпружиненный электрод, прикрепленный к стакану электромагнита и служащий для подачи на него напряжения для очистки подложки.На фиг. 1 показано устройство описываемой установки; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - захват манипулятора.Установка для напыления состоит из о ной системы и подколпачного устройства следнее содержит подогревной вольфрамовыйкатод 1 и охлаждаемый анод 2. Для созданиядуги служит поджигающий электрод 3,Подача напряжения на мишень 4, находящуюся в позиции напыления, осуществляется вакуумно-плотным высоковольтным подвижным коаксиальным вводом б. Для напыления различных материалов карусели мишеней и трафаретов совмещены и вращаются вокруг одной вертикальной оси. Для размещения подложкодержателей б служат магазины 7 и 8, установленные не неподвижной плите и выполненные в виде неподвижных вертикальных направляющих. Для перемещения подложкодержателей из магазина на позицию напыления и обратно имеется манипулятор, состоящий из захвата 9 и механизма 10 его перемещения. Захват состоит из электромагнита 11, сердечник 12 которого шарнирно соединен с концами рычагов 13. Последние могут пово. рачиваться вокруг горизонтальной оси. На другом конце рычагов имеются электрические изолированные пальцы 14. Для захвата подложкодержателей различных размеров рычаги могут раздвигаться с помощью упоров, имеющих возможность перемещения по пазам, размещенным в нижней части сердечника электромагнита. Перемещение их ограничивается винтом 15.3К корпусу электромагнита 11 через изолирующую прокладку 1 б между рычагами крепится электрод 17, надежность электрического контакта которого с подложкой обеспечивается пружинами 18.Установка работает следующим образом. Г 1 ри поднятом колпаке на карусели устанавливаются мишени с распыляемыми материалами и трафареты. Магазин 7 загружается подложкодержателями б с укрепленными в них подложками. Затем опускается колпак и производится откачка рабочей камеры. При достижении определенного вакуума производится напуск инертного газа. Затем с помощью манипулятора подложкодержатель из магазина 7 перемещается в позицию напыления, затем производится поджиг дугового разряда между катодоми анодом 2 и подача на электрод 17 соответствующего напряжения. При этом, производится очистка подложки при бомбардировке ее ионами инертного газа, источником которых является дуговой разряд, По окончании процесса очистки, подложки напряжение снимается с электрода 17 и подается на ввод б, прижатый к мишени 4, находящейся в познании напыления. В результате этого материал мишени распыляется.По окончании процесса напыления с ввода снимается напряжение и подложка с помощью манипулятора переносится в магазин 8.При необходимости нанесения на подложку следующего слоя прекращают дуговой разряд, подложка поднимается с помощью манипулятора из позиции напыления, ввод опускается и в позицию напыления поворотом карусели устанавливается необходимая мишень. Затем ввод б поджимается в мишени, подложка с помощью манипулятора устанав 210947 ливается в позицию напыления, где совмещается с трафаретом, после чего зажигается разряд, на ввод подается напряжение и производится распыление материала,5 При фрезеровке слоев к подложке, находящейся в позиции напыления, при существовании дугового разряда между катодом и анодом с помощью электрода 17 прикладывается напряжение. В результате этого распыляется 10 покрытие в соответствии с рисунком трафарета, с которым совмещена подложка.Предмет изобретенияУстановка для нанесения и фрезерования 15 слоев металлов, полупроводников и диэлектриков, содержащая вакуумную камеру, карусели с распыляемыми материалами и трафаретами, магазины для подложек, отличающаяся тем, что, с целью увеличения производи тельности установки, карусели с рыспыляемыми материалами и трафаретами неподвижно закреплены относительно друг друга и установлены на одной оси, магазины для подложек, выполненные в виде вертикальных на правляющих, установлены неподвижно пообеим сторонам рабочей позиции, а механизм перемещения подложек состоит из манипулятора, снабженного захватом, выполненным в виде поворотных вокруг горизонтальной оси 30 рычагов, один конец каждого из которых шарнирно соединен с сердечником электромагнита, а другой снабжен электрически изолированными пальцами, опирающимися на подвижные упоры, причем между рычагами усга новлен подпружиненный электрод, прикрепленный к стакану электромагнита и служащий для подачи напряжения для очистки подложки тлеющим разрядом.Подписное вете Министров ССС 1ия, пр, Сапунова, д. 2 ип Заказ 590/2 Тираж ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и Москва, Центр, пр