Патенты с меткой «210947»

Номер патента: 210947

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Желобаев, Коновалов, Митин, Озеров, Сатаров, Шугин

МПК: H01L 21/00

Метки: 210947

...имеющих возможность перемещения по пазам, размещенным в нижней части сердечника электромагнита. Перемещение их ограничивается винтом 15.3К корпусу электромагнита 11 через изолирующую прокладку 1 б между рычагами крепится электрод 17, надежность электрического контакта которого с подложкой обеспечивается пружинами 18.Установка работает следующим образом. Г 1 ри поднятом колпаке на карусели устанавливаются мишени с распыляемыми материалами и трафареты. Магазин 7 загружается подложкодержателями б с укрепленными в них подложками. Затем опускается колпак и производится откачка рабочей камеры. При достижении определенного вакуума производится напуск инертного газа. Затем с помощью манипулятора подложкодержатель из магазина 7 перемещается в...