Способ контроля качества микросеток
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
сОз сОВетскихСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 21/88 ИЗОБРЕТЕН И ОПИ ЛЬ тут электроннои те ков, Б,И,СедовскаяСССР970.М 2081891,Ю,Ф,ЛуН.В,Уздтельство21/89, 1итанииО,ОЛЯ КА 1 ЕСТВА МИКвыхо н фоточу гистр 9Спм. тся к области изметаллоткацком проть использовано в обработки изобраирующих фотоприение надежзмерений за аций и параовытивиб чертеже изображено устройство, рещее предложенный способ. Предлой способ реализуется с помощью ства, состоящего из: оптической сисс опорным приспособлением 2, уставаемым непосредственно на лируемый участо микросеток 3, мато многоэлементного фотоприемника етителя 5, генератора тактовых имв 6, микропроцессорного устройства ботки видеосигнала. Матричный мноментный фаэтон)племник 4 содержит ализую женны устрой темы 1 наеликонтро ричног 4, освпульсо 7 обра оз ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(54) СПОСОБ КОНТРОСЕТОК Изобретение относирительной техники в меизводстве и может бысистемах для оптическойжения, а также в регистремных системах,Цель изобретения -ности контроля и точносчет устранения влияниэитной модуляции сигна(57) Сущность изобретения: освещают участок микросетки и проецируют оптической системой изображение участка на фоточувствительную поверхность многоэлементного фотоприемника, оптическая система которого устанавливается непосредственно на контролируемый участок сетки. В качестве многоэлементного фотоприемника используют матрицу приборов с зарядовой связью, а при обработке сигнала производят суммирование сигналов строк и столбцов в направлениях продольных и поперечных нитей микросетки, 1 ил,твительную часть 8, д оивыходной усилитель 10.об реализуется следующим о зоУстанавливают устройство контроля на контролируемый участок микросетки 3 с помощью опорного приспособления 2, которое имеет размеры, обеспечивающие фокусировку иэображения микросетки на фоточувствительной поверхности 8 многоэлементного матричного фотоприемника 4.Ориентируют устройство контроля так, что строки и столбцы матрицы становятся параллельными продольным и поперечным нитям микросетки.Включают осветитель и тактовый генератор в одном из двух режимов: в режиме суммирования нескольких строк или нескольких столбцов.В первом режиме сбрасывают сигналы нескольких строк в выходной регистр и после этого производят считывание сигналов выходного усилителя, который выдает еы 1824555ходной амплитудно модулированный импульс на каждый элемент выходного регистра. В этом режиме микропроцессорное устройство определяет средний период модуляции импульсов выходного регистра и отклонения от среднего. которые пересчитываются в средний период продольных нитей и отклонения от этого периода через известный размер элемента выходного регистра и коэффициент увеличения оптической системы.Во втором режиме для каждой строки производится суммирование сигналов нескольких элементов выходного регистра в выходном усилителе, после чего суммарный выходной амплитудно модулированный импульс поступает в микропроцессорное устройство обработки, которое определяет средний период модуляции импульсов вдоль столбца и отклонения от этого периода, которые пересчитываются в средний период поперечных нитей и отклонения от этого периода через известный размер ширины строки матрицы и коэффициент увеличения оптической системы,Суммирование строк и столбцов увеличивает точность определения периодов нитей и повышает надежность контроля благодаря устранению эффекта паразитной модуляции сигнала нитями, перпендикулярными к тем, период которых требуется определить.Предложенный способ реализован в устройстве контроля, содержащем матричный многоэлементный фотоприемник типа К 1200 ЦМ 1, оптичяескую систему с коэффициентом трансформации от 3:1 до 1:3, генератор тактовых импульсов, работающий в двух режимах.В первом режиме производится при считывании накопленных сигналов из фоточувствительной части матрицы перенос 16 строк матрицы в выходной регистр при неизменных потенциалах фаз выходного регистра, после чего производилось считывание содержимого выходного регистра с тактовой частотой 1 МГц,Амплитудно модулированные импульсы с амплитудой до 0,5 В поступали иэ выходного усилителя матрицы в микропроцессорное устройство обработки, содержащее аналого-цифровой преобразователь, интерфейс связи с ЭВМ и персональную ЭВМ типа ВМ РС.Во втором режиме производился перенос содержимого очередной строки матрицы в выходной регистр и затем считывание содержимого выходного регистра с тактовой частотой 1 МГц, причем опрос выходного усилителя производился через каждые5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 15 мкс, что обеспечивало накопление сигналов от 16 элементов выходного регистра. Далее сигнал через упомянутый аналогоцифровой преобразователь и интерфейс связи поступал в персональную ЭВМ типа 1 ВМ РС,С помощью 1 ВМ РС осуществлялось адаптивное компарирование сигнала на уровне половины размаха модуляции импульсов, Адаптивность компарирования была предназначена скомпенсировать неравномерности освещения контролируемого участка и коэффициента передачи оптической системы по полю зрения, После компарирования определяли величины периодов модуляции импульсов, соответствующие отдел ьн ы м нитям.Благодаря непосредственной установке устройства контроля на контролируемый участок микросетки достигалось уменьшение погрешности измерения периода не менее чем на порядок в результате устранения вибраций сетки относительно устройства контроля,Введение режимов суммирования строк и столбцов по сравнению с обычным режимом поэлементного опроса матрицы привело к устранению паразитных модуляций сигнала нитями, перпендикулярными к контролируемым.Контроль за ориентацией матрицы относительно нитей микросетки осуществлялся по величине максимального размаха модуляции импульсов, которая определялась с помощью персональной ЭВМ, Допустимый угол отклонения от оптимальной ориентации составлял 5,Средний период продольных и поперечных нитей определялся следующим образом. Последовательности переменных .сигналов, соответствующие изображению продольных и поперечных нитей микросетки преобразовывались в импульсный сигнал путем компарирования средней величины переменных сигналов с заданным опорным сигналом, затем проводилось сравнение импульсного сигнала различной длительности соответствующего различным дефектам качества микросетки с импульсным сигналом,определяемым эталонным или средним периодом микросетки, средний или эталонный период соответствовал беэдефектной структуре контролируемой микросетки, по отклонению среднего периода от текущего периода микросетки делались выводы о наличии дефектов качества микросеток. С помощью предложенного способа удалось обнаружить такие дефекты как рассека, пропуск нити, галочка, а также другие дефекты качества микросеток с достаточной точно.стью, которая более чем на порядок превышала характерные линейные размеры микросеток.Предложен н ы й способ контроля качества микросеток обеспечил регистрацию отдельных нитей, повышение надежности регистрации дефектов и увеличение величины контролируемой площади по сравнению с прототипом. а также возможность контроля однородности микросеток с точностью до одного микрона, что по крайней мере на порядок точнее. чем в прототипе, причем дальнейшее повышение разрешающей способности возможно по крайней мере еще на порядок за счет уменьшения линейных размеров элементов матрицы фоточувствительных приборов с зарядовой связью, что возможно с использованием традиционных методов фотолитографии, В результате контроля качества микросетки в процессе ее производства предложенный способ позволил повысить процент выхода годной микросетки эа счет своевременного устранения дефектов, а также позволил повысить качество изготовляемого полотна микросетки в связи с обеспечением динамического контроля качества микросетки в процессе ее производства,Формула изобретения Способ контроля качества микросегок,заключающийся в проецировании оптической системой изображения участка микро сетки на фоточувствительную поверхностьмногоэлементного фотоприемника и обработке сигналов фотоприемника, о т л и ч а ющ и й с я тем, что. с целью повышения надежности и точности измерения пара метров микросеток, проецируют изображениеучастка микросетки на фоточувствительную поверхность многоэлементного фотоприемника оптической системой, установлен.ной непосредственно на контролируемый 15 участок микросетки, ориентируют изображение продольных и поперечных нитей микросетки параллельно строкам и столбцам матрицы многоэлементного фотоприемника и обрабатывают сигналы, накопленные в 20 матрице, суммируя сигналы и строк матрицы, где пи2, п 1 -число строк в матрице.и по усиленным сигналам определяют сред-, ний период продольных нитей и отклонение от него. а затем суммируют сигналы гп стол бцов матрицы, где п 2п2, п 2 - числостолбцов матрицы, и по усиленным сигналам определяют средний период поперечных нитей и отклонение от него.1824555 оставитель В. Уздовскийехред М,Моргентал ректо еда оизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 3 аз 222" аказ Тираж Подписное о т мп иГКНТСС ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГК СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5
СмотретьЗаявка
4933832, 30.04.1991
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
АВТОНОМОВ ВАЛЕНТИН АНДРЕЕВИЧ, ЛУКОВ ЮРИЙ ФИЛИППОВИЧ, СЕДУНОВ БОРИС ИВАНОВИЧ, УЗДОВСКИЙ ВАЛЕРИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, УЗДОВСКАЯ НАТАЛЬЯ ВАСИЛЬЕВНА
МПК / Метки
МПК: G01N 21/88
Метки: качества, микросеток
Опубликовано: 30.06.1993
Код ссылки
<a href="https://patents.su/4-1824555-sposob-kontrolya-kachestva-mikrosetok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля качества микросеток</a>