П плтгмтно.: -, i iliijj ii ” г-. х; ичв: дя iв. м. голянов

179573 Союз Соеетскиз Социэлистическиз РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 25.1 Х.1961 (,1 ч" 746168/22-2) л, 481, 15 оо соединением заявкиМПК С 2 Комитет и эобретеиий при СоветеССС ПриоритетОпубликовано крытий 8.11.1966. Бюллетень5 62 .793.093.12.002.54 (088,8) истро Дата опубликования описания 2.111.1966 Авторизобретеци М, Голя Заявитель ИОННЫЙ ТОЧЕЧНЬ 1 Й РАСПЬ 1 ДИТ Изобретение относится к распылителям для образования металлических пленок путем конденсации паров металлов в вакууме,Изьестиы установки для получения бесструктурных однослойных пленок методом катодцого распыления металлов, которое производится в вакуумном посту, снабженном катодом, диодом и игольчатым клапаном для подачи инертного газа. Однако с их помощью нельзя получать узкий пучок бомбдрдирующих ионов и бесструктурные многослойныс пленки, а также оттенять обьекты в электронной микроскопии.Предложен ионный точечный распылитель, и котором разрядная камера, служащая анодом, снабжена дополнительным подвижным катодом, соленоидами, клапаиом-отсекателем и клапаном тонкой регулировки давления. Соленоиды изготовлены из листовой меди с водяным охлаждением; система подачи инертного газа - из стекла. Камера объектов выполнена в виде медного термостатз и снабжена управляемой снаружи металлической заслонкой, перекрывающей окно, через которое распыляемый материал поступает в камеру объектов. Описываемый распылитель позволяет получить: точечный источник распыления, последовательное распыление нескольких металлов без нарушения вакуума, бесструктурные однослойные и многослойные пленки с любой дозировкой рзспыляемых материалов, пониженное давление инертного газа в разрядной камере с максимальной чистотой газовой среды.5 1-1 д фиг. 1 схематически изображен ионныйточечный распылитель; цд фиг, 2 - система подачи спектрально-чистого инертного газа.Разрядная камера является основой распылителя, принцип работы которого состоит в 10 следующем. Между стационарным катодом 1и подвижным катодом 2 в цилиндрической камере-диоде 3 возникает газовый разряд в виде светящегося шнура. В точке соприкосновения шнура с катодом 2, к которому подводят 15 высокое напряжение, материал катода распыляется и через отьерстие 4 в диоде проникает в камеру 5 объектов, где и конденсируется цд любом предмете 6. По трубке 7 непрерывно подается спектрально-чистый инертный газ, 20 давление которого в разрядном пространстверегулируется клапаном-отсекателем 3 и клапаном 9. Клапан-отсекдтель 8 создает нужное давление инертного гдзд для возникновения газового разряда, д клапан 9 служит для тои кой регулировки давления и поддержания егона одном уровне, то есть для поддержания постоянной силы разрядного тока в течение всего процесса распыления. Упрдвляот клапаном 9 снаружи при помощи экрана 10. Кро ме того, через клдпзц 9 подводят высокое от 179573рицательное напряжение к катоду 1, Подвижный катод 2 перемещается при помощи четырех ручек 11 в двух взаимно перпендикулярных направлениях па величину 4 мм. Это дает возможность, не нарушая вакуума и без 5остановки процесса распыления, получать бесструктурные многослойные пленки путем замены вещества на катоде по отношению к светящемуся шнуру газового разряда. Наблюдают за центрированием и перемещением катода через окно 12. Одно из отверстий 4 анода 3 можно перекрывать металлической за.слонкой 13, управляемой снаружи, что позволяет повысить чистоту конденсата, поступающего в камеру 5 объектов, и точно дозировать 15распыляемый металл. Стакан 14 камеры 5объектов изготовлен (пз меди) в виде экранадля поддержания необходимой температурыпредмета 6,Анод 3, катоды 1 и 2 и камера 5 объектов, 20соприкасающиеся с газовым разрядом, какбы подвешены с помощью медного кронштейна 15 к стакану 16, что обеспечивает легкоеобезгаживапие этих деталей В вакууме путемпринудительного прогрева перед началом распыления через стакан 16. Последний выполняет также роль холодильника, создавая условия для охчаждения анода и камеры объектовдо температуры жидкого азота. Позиция 17 -соленоид. 30Система подачи спектрально- истого инертного газа выполнена из стекла и состоит изстеклянного баллона 18 с инертным газом,стеклянного капилляра 19, платиновой прово;локи 20, шлифового крана 21, резинового уплотпения 22 и подводящей трубки 7, Выполнение системы из стекла обеспечивает подачуинертного газа максимальной чистоты. Стеклянный капилляр 19 пробивается с помощью Тесла и платиновой проволоки 20. Струю инертного газа можно регулировать при первом пробое и при дополнительных пробоях за счет интенсивности (и времени) пробивающего разряда.Соленоид 17 предназначен для создания постоянного магнитного поля в разрядной каме. ре, он изготовлен из листовой меди и имеет водяное охлаждение, Электрическая обмотка соленоида выполнена из шинного медного провода с изоляцией из стеклянной ткани.Предмет изобретения1. Иош:ый точечный распылитель, выполненный в виде разрядной камеры с анодом и катодом и системы для подачи инертного газа, отличаощийся тем, что, с целью получения точечного источника распыляемого металла, разрядная камера, имеющая боковые отверстия, служит анодом и снабжена дополнительным подвижным катодом, концентрически расположенной вокруг нее камерой объектов и соленоидами.2. Распылитель по п. 1, отличающийся тем, что, с целью различной дозировки распыляемых вешеств в камеру объектов, разрядная камера снабжена управляемой снаружи заслонкой, перекрывающей боковые отверстия.3. Распылитель по пп, 1 и 2, отличаощийся тем, что, с целью создания и регулирования необходимого давления инертного газа в разрядной камере, камера объектов снабжена клапаном-отсекателем и клапаном тонкой регулировки давления.ипография, пр, Сапунова, 2 аказ 7)3/13 ТиражНИИПИ Комитета 5 Формат бум, 60(90/з Объем 0,38 изд. л. Подписное лам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4