Патенты с меткой «ичв»

Номер патента: 179573

Опубликовано: 01.01.1966

МПК: C23C 14/46

Метки: iliijj, голянов, ичв, плтгмтно

...д клапан 9 служит для тои кой регулировки давления и поддержания егона одном уровне, то есть для поддержания постоянной силы разрядного тока в течение всего процесса распыления. Упрдвляот клапаном 9 снаружи при помощи экрана 10. Кро ме того, через клдпзц 9 подводят высокое от 179573рицательное напряжение к катоду 1, Подвижный катод 2 перемещается при помощи четырех ручек 11 в двух взаимно перпендикулярных направлениях па величину 4 мм. Это дает возможность, не нарушая вакуума и без 5остановки процесса распыления, получать бесструктурные многослойные пленки путем замены вещества на катоде по отношению к светящемуся шнуру газового разряда. Наблюдают за центрированием и перемещением катода через окно 12. Одно из отверстий 4 анода 3 можно...