Устройство для выращивания кристаллов из расплава

(505 С 30 УОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ВИДЕТЕЛ ЬСТВУ К АВТОРСКО(56) Патент фран кл. С 30 В 15/08,(57) Изобретение относится к кусственных кристаллов и уменьшение габаритов устро шение удобства обслуживани вышение производительност содержит камеру роста, катор из верхней, нижней частей и няя часть камеры снабжена ср эонтального перемещения. М камеры и поддоном размещ уплотнения, снабженные при для расплава размещен в ни меры, а шток тигля - в поддо 3 ил. 3 Ф 36енное объединение "Кра строительный завод"Л.К,Куценогий, С:И,Петро 88,8) ии %2522 983,54) УСТРОЙСТВКРИСТАЛЛОВ ИЗ ДЛ Я В Ы РААЩИ ВАН СПЛАВА ния в горизонтальной плоскости, и неподвижно закрепленного поддона 3, Нижняя Б часть 2 камеры роста снабжена средством перемещения в горизонтальной плоскости, которое выполнено либо в форме колес 4, прикрепленных к наружной поверхности нижней части 2 камеры с помощью кроштейнов 5, либо в форме консоли 6, проикреплен- О ной к наружной поверхности нижней части ОО 2 камеры и установленной с возможностью ф поворота в горизонтальной плоскости на ко- (") лонне 7, В нижней части 2 камеры размещен тигель 8 для расплава с подставкой 9, нагре- ф ватель 10 и опорное кольцо 11 тигля 8. Сред-фф ство уплотнения, размещенное междуеюЪ верхней 1 и нижней 2 частями камеры и между нижней частью 2 камеры и поддоном 3, содержит кольцевой бурт 12 на торцах нижней части 2 камеры, два эластичных уплотнительных кольца 13 и Е-образное кольцо 14, которое установлено с возможностью орудоваовых мавано для исталлов хральскоИзобретение относится к о нию для получения полупроводни териалов и может быть использо установок выращивания монокр (например, кремния) методом Чо Цель изобретения - уменьшение габаритов устройства и повышение удобства обслуживания, а также повышение производительности.На фиг.1 изображено устройство со средством перемещения нижней части камеры в виде колес, общий вид; на фиг.2- вид А на фиг.1; на фиг,3 - устройство со средством перемещения нижней части камеры в виде консоли, общий вид,Устройство содержит камеру роста, которая выполнена в виде установленных одна над другой верхней части 1; которая закреплена неподвижно, нижней части 2, установленной с возможностью перемещеполучению исобеспечивает йства и повыя, а также по; и. Устройство ая выполнена поддона. Нижедством гори- ежду частями ены средства водам, Тигель жней части кане. 4 з.п.ф-лы, 1680810осевого перемещения и снабжено приводом 15, В поддоне 3 установлен с возможностью осевого перемещения шток 16 тигля 8, снабжненный центрирующим элементом 17. Устройство может быть снабжено по меньшей мере двумя нижними частями 2 камеры.Устройство работает следующим образом,Перемещают шток 16 тигля 8 вниз, при этом последний с подставкой 9 устанавливается на опорном кольце 11, С помощью привода 15 перемещают; Е-образные кольца 14, образуя зазоры между частями 1 и 2 камеры и нижней частью 2 камеры с поддоном 3. Нижнюю часть 2 камеры выкатывают на колесах 4 или поворачивают вокруг колонны 7, Производят загрузку тигля 8 исходным материалом, которую могут осуществлять в отдельном чистом помещении. Устанавливают нижнюю часть 2 камеры в первоначальное положение, Приводом 15 перемещают кольца 14, герметизируя камеры роста. Продувают камеры инертным газом, С помощью штока 16 поднимают тигель 8 с опорного кольца 11, Центрирующий элемент 17, взаимодействуя с подставкой 9, обеспечивает осевое перемещение тигля 8. Включают нагреватель 10, расплавляющий исходный материал и выращивают кристалл. При наличии двух нижних частей 2 камеры роста возможна загрузка исходного материала в тигель одной нижней части, в то время как из тигля другой части производят выращивание кристалла. Такое совмещение операций по времени обеспечивает повышение производительности.То обстоятельство, что загрузка может производиться в отдельном помещении, повышает удобство обслуживания, а исключение осевого перемещения нижней части камеры роста уменьшает габариты устройства.Формула изобретения5 1, Устройство для выращивания кристаллов из расплава, включающее камеруроста, выполненную в виде неподвижнойверхней части и нижней, снабженной средством перемещения в горизонтальной пло 10 скости, средство уплотнения частей камерыи тигель для расплава, размещенный в нижней части камеры, о тл и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью уменьшения габаритов и повышения удобства обслуживания, устройство15 снабжено поддоном, неподвижно закрепленным под нижней частью камеры, штокомдля тигля, установленным в поддоне с воэможностью осевого перемещения, дополнительным средством уплотнения между20 нижней частью камеры и поддоном и опорным кольцом для размещения на нем тигля,2, Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что каждое средство уплотнениявыполнено в виде кольцевого бурта на тор 25 це нижней части камеры, двух эластичныхуплотнительных колец и Е-образного кольца, установленного с возможностью осевогоперемещения и снабженного приводом,3. Устройство по п,1, о т л и ч а ю щ е е 30 с я тем, что средство перемещения нижнейчасти камеры выполнено в форме колес,размещенных на ее наружной поверхности,4, Устройство по п.1, о т л и ч а ю ще ес я тем, что средство перемещения нижней35 части камеры выполнено в форме консоли,прикрепленной к ее наружной поверхностии установленной с возможностью поворота,5. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения производи 40 тельности, оно снабжено по меньшей мередвумя нижними частями камеры, 16808101680810 3 с 1 упщению кснспло Составитель В,Захаров-ЧеренковРедактор М.Петрова Техред М,Моргентал Корректор ош Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 Заказ 3288 Тираж Подписное ВНИИПИГосударственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4(5