Устройство для контроля микросхем

1615897 из внутренней полости корпуса 1, откривая входное отверстие 7. Когда каретка 4 полностью выходит из корпуса 1 и останавливается, выполняется замена микросхемы 21. После переключения клапана 17, когда рабочая камера 15 пневмоцилиндра 5 сообщается с вакуумным насосом 16, исполнительный шток 12 начинает перемещаться в обратнуюсторону, вталкивая каретку 4 с камерой расширения 8 и микросхемой 21 во, внутрь корпуса 1. С момента, когда каретка 4 полностью входит в корпус 1, ее крышкообразная часть 6 закрывает Изобретение относится к радиотехнике и можетбыть использовано как подключающее устройство при контроле 25 электрических параметров микросхем.Цель изобретения - повЬшение на,", дежности контроля.На чертеже изображено устройство, общий вид. ЗОУстройство для контроля микросхем содержит корпус 1, в котором неподнижно установлен адаптер 2 с зондовыми контактами 3, подвижная каретка 4 и пневмоцилиндр 5. Подвижная каретка 4 соединена с крышкой 6 посред 35 ством которой при движении каретка закрывает отверстие 7 корпуса 1. На каретке 4 жестко закреплена камера 8 расширения, имеющая вертикально-подвижнуй стенку-основание 9, связанную с остальной частью этой камеры посредством пружинящих элементов 10. Камера 8 расширения через патрубок 11 сообщена с атмосферным пространством. Горизонтальное продвижение каретки 4 обеспечивается с помощью пневмоцилиндра 5, исполнительный шток 12 которого, установленный с помошью пружины 13 сжатия, жестко соединен с крышкой 6. Разрежение в полости 14 корпуса 1 и рабочей камере 15 пневмоцилиндра обеспечивается с помощью вакуумного насоса 16, который сообщен с ними через распред"читель 55 ный клапан 17 питания, Лля обеспечения достаточной герметизации камерь 1 при ее закрывании на крышкообразной части предусмотрено уплотнение 18,входное - выходное отверстие 7 и корпус 1 герметизируется. В этот моментчерез другой тракт распределительного клапана 17 начинается отсос воздуха из полости 14 корпуса 1. В ней образуется разрежение (вакуум). В итоге образования в полости .14 вакуумаатмосферное давление в камере расширения 8, преодолевая упругую силупружинящих элементов 10, начинает при.поднимать свою подвижную стенку-основание, прижимая микросхему 21 к зондовым контактам 3. 2 з.п. ф-лы, 1 ил. Устройство также содержит источник 19 инертного газа, сообщенный с внутренней полостью 14 корпуса 1, и блок 20 контроля, электрически соединенный с эондовыми контактами 3, осуществляющими контроль закрепленной на основании микросхемы 21.Устройство работает следующим образом.Перед заправкой устройства проверяемой микросхемой 21 переключением распределительного клапана 17 разреженная рабочая камера 15 пневмоцилиндра 5 и полость 14 корпуса 1 сообщаются с атмосферой. В итоге давления в камере расширения 8 и полости 14 выравниваются, и основание 9 с прикрепленной к ней проверяемой микросхемой 21 отодвигается от зондовых контактов 3 в результате возвратного действия пружинящих элементов 10, Одновременно с этим ввиду отсутствия разрежения в рабочей камере 15 пневмоцилиндра 5 пружина 13 перемещает исполнительный шток 12, который выводит подвижную каретку 4 .из внутренней полости корпуса 1, открывая входное отверстие 7.Когда каретка 4 полностью выходит из корпуса 1 и останавливается, выполняется замена микросхемы 21 и после переключения клапана 17, когда рабочая камера 15 пневмоцилиндра 5 сообщается с вакуумным насосом 16, исполнительный шток 12 начинает перемещаться в обратную сторону, вталкивая каретку 4 с камерой расширения 85897 6ный с потпп.тт ю 14 корттуса 1. В этом случае после входя кяр тки 4 и корпус 1 и зякрттттянття отверстття 7 через распределительный тлагтян 17 начинается вакуумный ттсос яозттухя т.з полости 14, я несколькс позднее при оп 50 55 5 161и микросхемой 21 вовнутрь корпуса 1.С момента, когда каретка 4 полностьювходит в корпус 1, ее крышка 6 закрывает входное-выходное отверстие 7,и корпус 1 герметизируется. В этотмомент через другой тракт распределчтельного клапана 17 начинается отсос воздуха из полости 14 корпусаи в ней образуется разрежение (вакуум). В итоге образования в полости14 вакуума атмосферное давление в ка -мере расширения 8, преодолевая упругую силу пружинящих элементов 10, начинает приподнимать свою подвижнуюстенку-основание 9, прижимая микросхему 21 к зондовым контактам 3.В таком состоянии устройства блоком контроля 20 осуществляется измерение электрических параметров микросхемы 21. Проверка происходит в герметических условиях без наличия пылив вакуумной среде. Глубина вакуумаобеспечивается в зависимости от конструкционной точности выполнения устройства и мощности вакуумного насоса.16. Следовательно, в таких условиях контроль проводится более надежно и с более достоверными результатами, так кяк избегается наличие диэлектрической пыли, влажность окружающей среды исключительно мала, чтозначительно уменьшает коррозию контактных зондов. (роме того, в такихусловиях силы механического прижатиямикросхемы к зондовым контактам требуется меньше, а это служит для предохранения повреждения и контактныхплощадок микросхем и зондовых контактов,После проверки микросхемы переключением распределительного клапана17 рабочая камера 15 и полость 14сообщаются с атмосферой, давление вних поднимается, исполнительный шток12 пневмоцилиндра 5 начинает выводитькаретку 4, а камера 8 расширения,сжимаясь, отводит микросхему 21 отзондовых контактов 3. Галее действиеустройства повторяется.В случае необходимости контролямикросхем, не подлежащих механическо-.му соприкосновению с зондовыми контактами 5, возможно проведение бесконтактного контроля с помощью электрического тлеющего разряда. Для егопроведения при более низких напряжениях в устройстве предусмотренисточник 19 инертного газа, сообщен 10 15 20 25 30 35 40 45 ределеннсси рязрежентти няциттае 1 ся подзча инертного гязя от источника 19.Падение дяттлеттия . полос.ти 14 приостанавливается и расширение камеры 8заметно уиеньшяется. При этом передвигающееся основания 9 также приостанявливяется, не поводя микросхемыдо зондовых контактов 3. В таком незначительном и чувствительном подводемикросхемы 21 к зондовыи конзактяи3 блоком контроля 20 осуществляетсяпроведение процесса бескнтактногоизмерения п:-.ряметров микросхемы путем подачи к зонповыи контактам импульса напряжения определенной величины, способного создать тлеюшитт электрц е с кий р а зр яд.Сразу после операции бесконтактного контроля подача инертного газаот истоцникя 19 прекрятттяе".-я (закрытием клапана в его тракте питания),а полость корпуса 14 и рябоцяя камера 15 с переключением кляпяна 17 сообщаются с атмоссттернытт пространством.Далее операции выводя и ввода каретки 4 с микросхемой 21 и корпусаповторяются, как и в случае при контактном контроле.В реальных условиях контроля микросхем проверка осуществляется приследующих параметрах,При контактном контроле: силастатического прижима зс нлоных контактов к контактным площадкам микросхеи -че менее 35-40 при типовых исольчатых зондах с минимальныи зягружениемрабочего конца. Нестаби.ьттость измеряемого параметра в среднем диапазоне0,05-0,12 Х номинального значения. При бесконконтактном контроле в аргоновой среде; разрежение аргоновой среды 40-70 кПя, няпряткение зажигания разряда в аргоновой среде 300 - 400 В, зазор между поверхностью микросхемы и зондовым коняктом 35 45 мкм, нестабильность ттзитряеиого параметра около 0,17.При бесконтактном контроле в атиосАерной среде: напряжетттт зажигания разряда 300-1000 В, зазор исжду поверхностью микросхеиы и зотдовым кон1 б 15897 тактом 35-45 мкм, нестабильность измеряемого параметра 0,5-1 Х. Формула изобретения Составитель Н,Шмелев Редактор М,Бланар Техред М,дидык Корректор В.ГирнякЗаказ 3997 Тираж 695 ПодписноеВНЯИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКЯТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 1 О 1с 1. Устройство для контроля микросхвм, содержащее корпус, адаптер с зондами и камерой расширения, снабжеиной патрубком для подвода газа и ос ованием для размещения контролируем й микросхемы, о т л и ч а ю щ ее ц я тем, что, с целью повышения надежности контроля, корпус дополнительно содержит крышку, выполнен%ную заодно с камерой расширения, установленной в корпусе, патрубок кото рой соединен с атмосферой, а крышка выполнена с возможностью вакуумного соединения с корпусом.2. Устройство по п.1, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что крышка с камерой расширения смонтированы на 10 подвижной каретке, соединенной с приводом.3. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что полость корпуса выполнена с возможностью соедине 3 15,ния с источником инертного газа.