Фежаравичюс

Номер патента: 1615897

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Рагульскис, Римшялис, Ротов, Судинтас, Фежаравичюс

МПК: H05K 1/11

Метки: микросхем

...распределчтельного клапана 17 начинается отсос воздуха из полости 14 корпусаи в ней образуется разрежение (вакуум). В итоге образования в полости14 вакуума атмосферное давление в ка -мере расширения 8, преодолевая упругую силу пружинящих элементов 10, начинает приподнимать свою подвижнуюстенку-основание 9, прижимая микросхему 21 к зондовым контактам 3.В таком состоянии устройства блоком контроля 20 осуществляется измерение электрических параметров микросхемы 21. Проверка происходит в герметических условиях без наличия пылив вакуумной среде. Глубина вакуумаобеспечивается в зависимости от конструкционной точности выполнения устройства и мощности вакуумного насоса.16. Следовательно, в таких условиях контроль проводится более надежно и с...