Устройство для обнаружения посторонних частиц в корпусах интегральных микросхем с внутренними замкнутыми полостями

(51)5 С 01 М 7/О ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ А ВТОРСНОМУ СВИ ЕЛЬСТВУ тельство СССР И 29/00, 1986.372,ОБНАРУЖЕНИЯ КОРПУСАХ ИНС ВНУТРЕНИМИ сится к испытаизобретения 7) Изобрет е о тельнои ехни повышение про жение потреб достигается вибрационных е. Цель зводите снино яемой мощности -а счет совмещенияоздействий на издели катуш ударн повто меще- элек акже за сче с ударными, а ния ударного м низма на ке ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР(54) УСТР 01 СТВО ДЛЯПОСТОРОННИХ ЧАСТИЦТЕГРАЛЬЮБ МКРОСХЕЗАМКНУТЫМИ ПОЛОСТЯМИ тродинамического возбудителя колебаний. Сигнал генератора 3 гармонического сигнала поступает на усилитель 2 мощности и с него на подвижную катушку электродинамического возбудителя 1 колебаний. Электрический сигнал, возникающий в пьезоэлектрическом акселерометре 4, через согласующий усилитель 5 поступает на вход обратной связи генератора 3 гармонического сигнала и вход двухлучевого осциллографа б. После истечения 3-5 с блок 11 задания цикла отключает генератор 3 гармонического сигнала и включает механизм 15 перемещения, который передвигает ленту 17 с изделиями на шаг. Затем механизм 15 перемещения выключается и происхо дит разряд блока 14 конденсаторов наку индукционно-динамическогоого механизма 13, Далее циклряется. 1 ил.Изобретение относится к испытательной технике, а именно к оборудовацию для отбраковочцых испытаний интегральных микросхем, и может бьггь использовано для обнаружения посторонних частиц, находящихся внутри их корпусов, если последние имеют замкнутые полости.Цель изобретения - повышение производительности и уменьшение потребляемой мощности устройства зд счет совмещения вибрациоцных и ударных воздействий ца испытуемые изделия, а также за счет размещения ударного механизма на керне электродицамического возбудителя колебаний.На чертеже представлена функциональная схема устройства.Устройство содержит электродинамический возбудитель 1 колебаний, усилитель 2 мощности, питающий катуш-, ки электродинамического возбудителякоцебаций, генератор 3 гармонического сигнала, подающий нд усилитель 2 мощности сигнал заданной частоты и амплитуды, пьезоэлектрический дкселерометр 4, преобразующий механические колебания стола электродццамцческого возбудителя 1 колебаний в электрический сигнал, согласующий усилитель 5, передающий сцгцдл с пьезоэлектрического акселерометра 4 на один из выходов двухлучевого осциллографа 6 и на вход обратной связи генератора 3. Устройство содержит также акустический преобразователь 7, установленный на столе электродинамического возбудителя 1 колебаний, предварительный 8 и Ультрдзвуковой 4 О 9 усилители, повышающие сигнал с акустического преобразогателя 7 до требуемого значения, пороговый детектор 10, преобразующий сигнал в удобную для дальнейшего ис поль зов ания 45 форму, блок 11 задания цикла, обеспечивающий последовательное выполнениеследующих операций; вибрация, отключение вибрации, перемещение изделий, удар, вибрация и т,д., механизм 12 сортировки, работающий по командам блока 11 задания цикла. В устройство также входят индукционнодинамический ударный механизм 13, размещенный на керне электродинамического возбудителя 1 колебаний, блок 1455 конденсаторов, являющийся накопителем энергии для срабатывания по команде с блока 11 задания цикла индукциоццо-динамического ударного мехаццзмд 13, механизм 15 перемещения, обеспечивающий перемещение изделий 16 ца заданную величину. Бесконечная лента 17 служит для креплеция изделий 16, которые устанавливаются ца основании 18, Ицдукциоццо-динамичес-, кий ударный механизм 13 может быть выполнен, например, в виде неподвижно закрепленной катушки, по которой протекает ток питающего устройства (блок 14 конденсаторов) и диска 19, из электропроводного материала.Устройство работает следующим образом.Интегральные микросхемы, подлежащие отбраковочцым испытаниям на обнаружение внутри их корпусов посторонних частиц, подвергают четырехкратному воздействию вибрации в течение 3-5 с каждое, прикладывая в промежутках между вибрациоцными воздействиями ударную нагрузку к интегральной микросхеме. Пдраме.тры воздействий ре,гламентировацы. Это позволяет обнаружить частицы, которые могут вызвать перемеживдющие замыкания между внутренними выводами и кристаллом или токоведущции дорожками кристалла. Изделие считдзтся годным, если в результате испытаний частица це обнаружена. 1Перед запуском устройства изделия 16 крепятся на бесконечной ленте 17 таким образом, чтобы одно изделие было расположено ца основании 18, при этом используют 4 шт. одновременно установленных изделий. На генераторе 3 гармонического сигнала устанавливаются требуемые значения параметров колебательного движения (частота вибрации и ускорение), пос.1 ле чего устройство включается с помощью блока 11 задания цикла, при этом сигнал с генератора 3 гармонического сигнале поступает. на усилитель 2 мощности и с него на подвижную катушку электродинамического возбудителя 1 колебаний. Одновременно усилитель 2 мощности питает и его катушку подмагничивания, Электрический сигнал, возникающий в пьезоэлектрическом акселерометре 4 при вибрации стола электродинамического возбудителя 1 колебаний, через согласующий усилитель 5 поступает ца вход обратной связи генератора 3 гармоничес15 Я)1 9 76поступает на второй вход двухлуче вого осциллографа 6 и на пороговыйдетектор 10 для визуального светово-5го или звукового методов контрдляпосторонних частиц. Пороговый детектор 10 преобразует сигнал с ультразвукового усилителя 9 в удобные для дальнейшего использования вид и форму ипередает на вход блока 11 заданияцикла сигнал для управления механизмом 12 сортировки, при этом обеспечивается согласование работы механизма 12 сортировки и поступление внего испытуемых изделий 16.Таким образом, при непрерывномповторении укаэанных операций на акустическом преобразователе 7 последовательно оказываются все установлен 20 ные ца бесконечной ленте 17 изделия16, которые проходят полньп 1 цикл вибрдционных и ударных воздействий,при этом без остановки работы устройства ца свободные посадочные места25 бесконечной ленты 17 устанавливаютновые изделия, т,е, .обеспечиваетсянепрерывньп процесс испытаний.В результате ца предлагаемом усетройстве значительно повышается производительность испытаний. При проведении испытаний на известном устройстве полному циклу воздействийпрдвергается одно иэделие. На одноизделие затрачивается 40-50 с, включая ремя на приложение воздействий(12-20 с) и время на установку и снятие изделия (72-90 шт/ч).На предлагаемом устройстве одновременно воздействиям подвергаютсячетыре иэделия, после того как пер 40вое будет расположено на акустическом преобразователе, т.е. время выхода проверенных изделп составляет 4-5 с или 720-900 шт/ч с учетом45времени ца перемещение изделий.Размещение ударного механизма накерне электродинамического возбудителя позволяет снизить нагрузку настоле электродинамического возбудителя колебаний в 4-5 раз, а так какимеет место прямопропорциоцальнаязависимость между нагрузкой и потребляемой мощностью, то это позволитснизить потребляемую мощность в4-5 раз.55Формула изобретения кого сигнала и однц из кодо двух. у ео го ос цил. и граФа 6.Таким образом, воздействию вибрации подергаетсяначале одно изделие 16, находяшееся цд основании 18.После истечения 3-5 с блок 1 эа -дания цикла автоматически отключает генератор 3 гармонического сигнала, тем самым прекращая вибрацию иэделия 16, и включает механизм 15 перемещения, который передвигает бесконечную ленту 17 с установленными на ней изделиями 16 тдк, чтобы на основании 18 располагалось двд изделия 16, после чего механизм 15 перемещения выключается и происходит разряд блока 14 конденсаторов на катушку индукциоцно-дицамического ударного механизма 13, в результате чего пластине с бойком, расположенной ца катушке индукциоцно-дицамического ударного механизма 13, сообщается импульс силы, она движется ускоренно ерх и ударяет бойком о нижнюю плоскость стола электродицдмического возбудителя 1 колебаний, создавая ударную нагрузку на иэделие 16Далее блок 11 задания цикла автоматически в;.лючает генератор 3 гармонического сигнала и заряд конденсаторов блока 14В результате воздействию вибрации подвергаются два изделия 16. После3-5 с вибрации повторяется цикл: отключение генератора 3 гармонического сигнала, перемещение иэделий 16 и приложение ударной нагрузки, после чего на основании 18 располагаются три изделия 16, которые вновь подвергаются воздействию вибраций в течение 3-5 с, а после перемещения - ударному воздействию. В результате последнего перемещения первое изделие 16 располагают на акустическом преобразователе 7, а при последующих - на основании 18. Все четыре изделия 16 вновь подвергаются вибрационному воздействию, при этом для первого изделия оно будет четвертым и последним, для второго - третьим и т.д.На этом вибрационном воздействии производится обнаружение посторонних частиц в первом изделии 16, прошедшем полньпЪ цикл предыдущих воздействий.Сигнал с акустического преобразователя 7 через предварительньп усилитель 8 и ультразвуковой усилитель 9 Устройство для обнаружения посторонних частиц в корпусах интеграль1580197 Составитель К.ТавлиновТехред Л.Сердюкова Корректор Н,Король Редактор Н.ЛазаренкоЗаказ 2005 Тираж 440 Подписноекомитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 ВНИИПИ Государственного 113035, Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,10.1 ных микросхем с внутренними замкнутыми полостями, содержащее электродинамический возбудитель колебаний,генератор гармонического сигнала,усилитель мощности, выходы которогосоединены с катушками электродинамического возбудителя колебаний, авход - с выходом генератора гармонического сигнала, последовательносоединенные пьезоэлектрический акселерометр, согласующий усилитель иосциллограф, последовательно соединенные пьеэопреобразователь, предварительны усилитель, ультразвуковой 15усилитель и пороговый детектор, блокконденсаторов и ударный механизм,выход ультразвукового усилителя соединен с вторым входом осциллографа, о т л и ч а ю щ е е с я тем, 2 Очто, с целью повышения производительности и снижения потребляемой мощности, в него введены блок задания цикла, блок перемещения изделий и блоксортировки изделий, ударный механизмвыполнен в виде индукционно-динамического механизма, последний размещенна керне электродинамического возбудителя колебаний и через блок конденсаторов соединен. с первым выходом блока задания цикла, второй выход которого соединен с входом блокаперемещения изделий, третий выход -с входом блока сортировки издел,четвертый выход - с управляющим входом генератора гармонического сигнала, вход обратной связи которогосоединен с выходом согласующего усилителя, а вход блока задания цикласоединен с выходом порогового детектора.