Установка для диффузионной сварки

(ю 4 В 2 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН с шагом, равнымими рабочие ванными полукамер шагу гнезд, образ вакуумные камеры озициями вакууми рования, нагрева сварки, изотермической выдержки и охлаждения. Тигель с нагревателем расположен в сварочной камере, установлен на ее крышкесоосно с ней с воэможностью осевого перемешения и снабжен нижним сливным отверстием, съемной герметичной крышкой, системой вакуумирования и прецизионного натекания. На дне сварочной камеры соосно с тиглем расположен полый герметичный высоковольтный ввод, выполненный с возможностью осевого перемещения и нагрева током+с тлеющего разряда стенки ввода, обра- ф щенной к тиглю. Ввод также оснащен системой вакуумирования и прецизионного натекания. Нагреватель длясварки и механизм закрепления и перемещения свариваемых деталей размещены на подвижном кольце во всех гнездах кольца и расположены перпендикулярно их оси. Шток нагружения примыкает к механизму закрепления и перемещения и расположен в сварочной 03(088.8)видетельст 23 К 20/1детельство 23 К 20/2 о СССР12.01.83.СССР(57) УЗИОННОЙ СВА УСТАНОВ рудоотносится к об давлением с по к оборудованию сварки, и може ектронной и др нности, Целью зобретение ля сварки частности ффузионной ван бытьих для исп льзовано в элслях промышлния является зоб- води отр рет ше ние камере. Повышение производительно обеспечивается эа счет возможност озаправкиналом безамеры, 3 ОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ А ВТОРСКОМУ СВИДЕТ(56) Авторское сУ 1100064, кл, ВАвторское свиУ 1186438, кл, В16.04.84,тельности и расширение технологических возможндстей. Установка изготовлена многопозиционной в виде обоймыизолированных гнезд, выполненных вподвижном кольце прямоугольного сечения, которое закреплено на каруселии имеет неподвижные вакуум-плотныекрьппку и дно, закрепленные на станине установки. Крышка и дно выполненыв виде незамкнутых колец с изолирогля распыляемым матеэгерметизации сварочной13118 35 Установка работает следующим образом,На позиции 25 (фиг.1) в держателях 11 и 12 закрепляют свариваемыедетали 26 и 27 из стекла С 52-2 иполупроводника из арсенида галлия,а в тигель 15 помещают расплавленныйи распыленный материал 28 (стеклоС 52-2) .Включают системы вакуумированиярабочих камер 6-10 тигля 15 и высоковольтного ввода 18. Изобретение относится к оборудованию для сварки давлением с подогревом,в частности к оборудованию длядиффузионной сварки, и может бытьиспользовано в электронной и других 5отраслях промышленности,Целью изобретения является повышение производительности и расширение технологических воэможностей,На фиг, 1 показана схема установки, вид сверху на фиг.2 - разрезА-А на фиг.1, на фиг.3 - рабочаякамера, разрез.Установка содержит закрепленныена станине (не показана) камеру,содержащую корпус, выполненный в виде поворотного кольца 1 прямоугольного сечения со сквозными гнездами 2,крышку 3 и дно 4, выполненные в виденезамкнутых колец с изолированнымиполукамерами 5 (фиг.3), расположенными на их внутренних поверхностях срасстояниями между осями, равнымишагу гнезд 2 поворотного кольца 1и образующими с ними рабочие камеры25вакуумирования 6, нагрева 7, сварки 8 (фиг,2), выдержки 9, охлаждения 10. Имеются держатели 11 и 12свариваемых деталей, нагреватели 13,установленные в каждом гнезде 2 поворотного кольца 1 перпендикулярно ихосям, штоки 14 нагружения, расположенные в сварочной камере 8 и контактирующие с держателями 11 и 12, ивакуумная система (не показана) .В сварочной камере 8 (фиг 2) соосноей с возможностью осевого перемещения установлены тигель 15 выполненный в виде полого цилиндра со сливным отверстием 16 и закрепленный 40съемной крышкой 17, и полый высоковольтный ввод 18, оснащенные системой вакуумирования - вентилями 19,20 и прецизионного натекания газавентилями 21 и 22 и нагревателями 4523 и 24,93 2Вращением поворотного кольца 1 гнездо со снариваемыми деталями переводят в камеру 6 вакуумирования, После достижения вакуума 2,5 10 Па в рабочих камерах свариваемые детали переводят в камеру 7 нагрева и нагревают их до температуры 673 К со скоростью 0,25 К/с, Одновременно нагревателем 23 нагревают тигель 15 до температуры 1393 К со скоростью 0,4 К/с, а нагрев торца высоковольтного ввода 18, обращенного к торцу тигля, осуществляют до температуры 673 К тлеющим разрядом, образуемым между торцом и защемленной трубкой 29 при давлении внутри высоковольтного ввода 20 Па, которое поддерживают системой вакуумирования при помощи вентиля 20 и натекателя 21. По,достижении температуры сварки и давления в сварочной камере-г11 О Па свариваемые детали переводят в сварочную камеру 8. При этом давление над расплавом стекла 28 в тигле должно быть равно или меньше давления в сварочной камере, которое поддерживают вентилем 19, Затем давление над расплавом 28 натекателем 22 повышают на порядок (1 10 Па) дляобразования мениска расплавленного стекла в сливном отверстии 16 тигля 15, Величину и форму мениска подбирают экспериментально. Затем высоковольтный ввод 18 вакуумируют до давления 510 Па, снимают с него напря.гжение, подводят его к тиглю, контактируя его нагретый торец с мениском расплавленного стекла. Затем его отводят вниз и вытягивают нить 30 расплавленного стекла, которую распыляют электрическим взрывом, наносят на свариваемые поверхности соединяемых деталей промежуточную прослойку. Через 1,2 с после распыления свариваемые детали сжимают усилием 1,0 МПа и выдерживают 30 с, Далее детали переводят в камеру 9, в которой осуществляют изотермическую выдержку при температуре 673 К и давлении 0,1 МПа (за счет перепада давлений внутри и снаружи камеры) в течение 30 мин, Затем детали переводят в камеру 10, охлаждают их до температуры 293 К со скоростью 0,25 К/с под давлением О, 1 МПа После разгерметизации камеры 10 детали переводят на позицию 31, где детали извлекают иэ держателей, а гнездо поворотногокольца переводят на позицию 32, гдеподвергают его очистке,Благодаря тому, что процесс соединения осуществляется непрерывно, в,полуавтоматическом режиме, обеспечивается повышение производительности,а благодаря воэможности заправки тигля распыпяемым металлом в процессесварки и возможности его вертикального перемещения обеспечивается свар-Юка разнообразных деталей, что позволяет расширить технологические возможности установки. Формула иэобретения 151Установка для диффузионной сварки, содержащая камеру, имеющую корпус с крышкой и дном, закрепленные на станине, рабочие камеры очистки, загрузки, вакуумирования, нагрева, 20 сварки, выдержки, охлаждения и выгрузки, держатели свариваемых деталей, нагреватели и штоки нагружения, расположенные в сварочной камере, и систему вакуумирования,о тл и ч а ю щ а я С я тем, что, с целью повышения производительностии расширения технологических воэможностей,в сварочной камере соосноей с воэможностью осевого перемещения установлены тигель, выполненныйв виде полого цилиндра со сливным,отверстием и закрепленный съемнойкрышкой, и полый высоковольтный ввод,оснащенные системой вакуумированияи прецизионного натекания газа и нагревателями, корпус камеры выполненв виде поворотного кольца прямоугольного сечения со сквозными гнездами,крышка и дно выполнены в виде незамкнутых колец с изолированными полукамерами, расположенными на их внутренних поверхностях с расстояниями между осями, равными шагу гнезд поворотного кольца, а держатели свариваемых деталей и нагреватели установлены в каждом гнезде поворотного кольца перпендикулярно их осям.,1311893 Составитель Т.ОлесоваТехред А.Кравчук Корректор Г 1.Пожо едактор С,Патрушева аказ 1921/13 97 д, 4 Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проект ВНИИПИ Гос по делам и 113035, Г 1 о рственноретенийа, Ж - 35,ПодписноСССР о комитета открытий Раушская наб.