Раствор для избирательного травления меди

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИН 01870 А 9 3 Г 1/18, 1/00 Ъ4 АВТ 13объедине и Л.Н,лч ты заводск дат, 1975,АТЕЛЬНОГО ТРАЗмич итс к рания частност ого трав УДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ САНИЕ ИЗ МУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИЛЕНИЯ МЕДИ(57) Изобретение отнокой обработке меди, вствору для избиратель меди в структуре: медь - никель - молибденовый сплав - легкоплавкое стекло, и может быть использовано в радиоэлектронной и электроприборостроительной промышленности. Цельизобретения - повышение скорости травления меди и снижение растравливания подложкиТравление слоя меди на никель-молибденовом сплаве проводили в растворе, содержащем, г/л: персульфа аммония 150-300; гидрат окиси аммони 270-450 и хлористый аммоний 12-50. Выбранное соотношение компонентов обеспечивает повышение скорости трав ления меди в 2-3 раза по сравнению с известным раствором. 1 табл.Скорость растворения Условия СосСодержание компонентов травлео ния, С тав никельмолибдестекла,г/см мин меди,мкм/мин нового сплава, мкм/мин 1 10. 1 (ИН ) 8 О 75 г/л ИН ОН 375 мл/г 1, 10-з 17-19 1,6-2,0 9 10 17-18 0,5-0,7 2 (НН)80 35 Избыток аммиака. ННОН (25 -ный раствор) 50 г/л ИН 4 С 1Вода До 1 л 11301870 2Изобретение Ьтносится к химической мешивания раствора добавляют воду до обработке меди, в частности для изби- расчетного объема. рательного травления меди в структу р и м е р. Проводят избирательре: медь - никель-молибденовый сплав - ное травление меди в структуре: медь легкоплавкое стекло. 5 толщиной 50-60 мкм - резистивная фольЦелью изобретения является повыше- га толщиной 3-10 мкм. Проводят также ние скорости травления меди и сниже- сравнительные испытания растворов для ние растравливания подложки, избирательного травления меди с поРаствор готовят обычным способом, верхности никель-молибденовой фольги а именно растворяют в воде (1/2 объе при изготовлении прецизионных фольома) при 20-30 С персульфат аммония, говых резисторов на подложке из легдобавляют расчетное количество 25 -но- коплавкого стекла. го раствора аммиака и затем расчетное количество хлористого аммония, Результаты испытаний представлены После растворения последнего й пере в таблице.1301870 Продолжение таблицы Скорость растворения СосУсловия Содержание компонентов тав травления, С стекла,г/смф- мин меди,мкм/мин сплава, мкм/мин 200 г/л 360 г/л 25-30 9-10 510 4 2 д 10 24 г/л До 1 л. Вода 200 г/л 360 г/л 25-30 2-4 10 г/л ХН С 1 Вода До 1 л 200 г/л г/л 360 25-30 8-9 6 10 60 г/л С 1 Вода(25%-ныйраствор)С 1 2-3 10 г/л Вода До 1 л 320 г/л 500 г/л 10 60 г/л БН 01Вода До 1 л Примеры 1-3 известных ранее составов; примеры 4-6 предлагаемого состава, пример 6 является оптимальным составом, 7-10 - примеры растворов с запредельными значениями содержания компонентов.Как следует из таблицы (пример 8), БН С 1 не влияет на скорость травления дальнейшее увеличение содержания меди. но в то же время намечается тен(ИН ) Б ОИН ОН (25%-ныйраствор)МН С 1Составитель В, ОлейничелкоТехред М. Ходанич Корректор М. Самборская Редактор С. Пекарь Заказ 1194/28 Тираж. 937 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 денция роста скорости растворения легкоплавкого стекла.Сравнительные испытания по скорости растворения меди, сплава и легкоплавкого стекла известного (пример 3) и предлагаемого растворов показали, что при использовании предлагаемого раствора повышается скорость растворения меди в 2-3 раза при уменьшении расхода ИН С 1 в 10 раз и 257-ного 10 КНОИ в 2 раза. В результате повышения скорости растворения меди повышается производительность труда при селективном 15 удалении меди с поверхности из никель-молибденового сплава. Раствор для избирательного травления меди преимущественно с подложки из никель-молибденового сплава и легкоплавкого стекла, содержащий персульфат аммония, гидрат окиси аммония и хлористый аммоний, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повьшения скорости травления меди и снижения растравливания подложки, он содержит компоненты в следующем соотношении, г/л:Персульфат аммония 150-300 Гидрат окиси аммония (257) 270-450 Хлористый аммоний 12-50