Устройство для распознавания дефектов изображений объектов

(прот ельство СССР 6, 1982 СПОЗ НАМ.;БЬЕКТОВ л и ч а юГОСУДАРСТВЕННЫЙ НО ЛО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИ СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ 10233563 518858/ 18-2403. 12.8223.01.85. Бюл. Иф 3В.И, ДубицкийМосковский институтки681.322. 12(088.8)1. Авторское свидет3356, кл. С 06 К 9/отип),(54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯНИЯ ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕпо авт. св. Иф 1023356 щ е е с я тем, что, с целью повыаения надежности распознавания, оносодержит последовательно соединенныевторой селектор, вход которого подклю.чен к соответствующему формирователюсигналов, детектор, элементы ИЛИ четвертой группы, другие входы которыхподключены к распределителю импульсов, второй блок памяти, другие входыкоторого подключены к выходам пеового селектора и элементов ИЛИ первойгруппы, и второй счетчик, другойвход которого подключен к распределителю импульсов, а выход соединен свходами триггера и блока регистрации.40 1 1136Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и может быть использовано у системах автоматического визуального контроля, иэделий микроэлектроники, в частности для контроля топологии Фотошаблонов, кристаллов ИС, печатных плат.Известно устройство для распоннавания дефектовПо основному авт.св, Р 1023356 известно устройство для распознавания дефектов изображений объектов, содержащее телевизионные датчики, входы которых соединены с распределителем импульсов, а выходы подключены к соответствующим Формирователям сигналов, группу детекторов, соеди" ненных с соответствующими,формирователями сигналов, первый селектор, подключенный к одному формирователю сигнала и к первому блоку памяти, первую группу элементов ИЛИ, входы которых соединены с распределителем импульсов, и с одним детектором груп пы, а выхцды подключены к первому блоку памяти, триггер, один вход которого соединен с распределителем импульсов, подключенным к блоку регистрации, первый счетчик, соединенный с первым блоком памяти, с расгределителем импульсов, с блоком регистрации и с другим входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к другому детектору и к распределителю импульсов, с блоком регистрации и с другим З 5 входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которых под ключены к другому детектору и к распределителю импульсов, а выходы соединены с первым блоком памяти, первую группу элементов И, входы которых подключены к триггеру и к распределителю импульсов, элемент НЕ соединенный с распределителем импульсов, вторую группу элементов И, входы которых соединены с триггером, с элементом НЕ и с распределителем импульсов, и третью группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к выходам элементов И первой 50 и второй группы, а выходы соединены с блоком регистрации 1 .Недостаток известного устройства заключается в его невысокой надежности распознавания таких дефектовБ изображений как "сужение" и "сближение", под которыми понимают участ" ки проводников, минимальная ширина 191 2которых меньше минимально допустимой, и участки топологии иэображений, в которых минимальное расстояние между проводниками меньше минимально допустимого.Цель изобретения - повышение надежности распознавания.Поставленная цель достигаетсятем, что устройство для распознавания дефектов изображений объектовсодержит последовательно соединенныевторой селектор, вход которого подключен к соответствующему формирователю сигналов, детектор, элементыИЛИ четвертой группы, другие входыкоторых подключены к распределителюимпульсов, второй блок памяти, другиевходы которого подключены к выходампервого селектора и элементов ИЛИпервой группы, и второй счетчик, другой вход которого подключен к распределителю импульсов, а выход соединенс входами триггера и блока регистра"цииаНа Фиг. 1 представлена блок-схемапредлагаемого устройства; на фиг.2 конструктивное выполнение селектора;на Фиг. 3 - конструктивное выполнение Формирователей последовательности сигналов; на Фиг. 4 - расположение точек в электронномокне.Устройство содержит телевизионныедатчики 1 и 2, Формирователи 3 и 4видеосигналов, детектор 5, группудетекторов б и 7, селекторы 8 и 9,блок 10 памяти, группы 11 и 12 эле- .ментов ИЛИ, блок 13 памяти, счетчики14 и 15 группу 1 б элементов ИЛИ,григгер 17, элемент НЕ 18, группы19 и 20 элементов И, группу 21элементов ИЛИ, распределитель 22 импульсов и блок 23 регистрации,Селектор 9 (Фиг. 2) состоит иэчетырех формирователей 24 - 27 последовательности видеосигналов, элементовИЛИ 28 и 29 и элементов И 30 и 31. Приэтом каждый из формирователей 24-27состоит из группы 32 элементов задержки насторону и на элемент 33разложения в строке и предназначендля формирования электронного окнав форме круга,Устройство работает следующим образом.Дефекты типа "разрыв" и "закороткаф в изображении контролируемой топологии обнаруживаются известным устройством. Рассмотрйм работу уст3 1136ройства при распознавании дефектовчипа "сужение" и "сближение".Видеосигнал развертки изображенияконтролируемой топологии с выхода телевизионного датчика 1 поступает навход первого формирователя 3, которыйквантует его по уровням логическихи "О". Уровень логической "1"квантованного видеосигнала соответствует объектам изображения, а "О" -их отсутствию (Фону). Сигнал с выходаформирователя 3 поступает на входселектора 9, который преобразует его,в видеосигнал, соответствующий изображению после последовательного применения операций растяжение - сжатиеи сжатие - растяжение окнами различного диаметра.Сигнал с выхода селектора 9 поступает на вход детектора 5, которыйпреобразует его в последовательностькодов, так что коды отображают нринадл 4 жность отдельных точек изображе- .ния к соответствующим объектам (связным областям). На выходе детектора 6появляются сигналы, соответствуюииеисходному изображению после операциикодирования. Ходы связных областейпреобразованного и контролируемогоизображений через соответствующиегруппы элементов ИЛИ 11 и 21 поступают на первый и второй адресныевходы блока 13,Блок 3 представпяет собой матрицуоперативно запоминающих устройств(ИОЗУ)Первый н второй адресныйвходы блока 13 памяти служат для выборки соответственно столбцов истрок МОЗУ. До начала разверткиизображения контролируемой топологиивсе ячейки бг.эка 13 обнулены. Вовремя развертки этого изображенияна информационньй вход блока 13 памяти подается постоянный сигнал суровнем логической , а в моментсканирования контактной площадки45проводника с выхода селектора 8 наего вход "Запись - считывание" подается сигнал записи. Поэтому если вэтот момент на первый адресный вход.блока 13 памяти приходит сигнал коДасо значением, равным номеру строки,а на второй - со значением, равнымномеру столбца, то в соответствующуюячейку ИОЗУ будет записана " 1". 191 4В момент окончания развертки изображения контролируемой топологии свыхода селектора 8 на вход "записьсчитывание" блока 13 памятиподается . сигнал считывания. Считывание из блока 13 памяти происходитаналогично, как и считывание информации с блока О памяти и осуществпяется за два цикла по сигналам с раснределителя 22.Число единиц в каждом столбце истроке блока 13 памяти подсчитывается счетчиком 15, который в первом цик.ле считывания определяет число единицв каждой строке, а во втором - в каждом столбце ИОЭУ, Ксли число больюеили равно двум, то на выходе счетчика 5 появится сигнал дефектора, которйй устанавливает триггера 17 вединичное состояние. Злементы И 19 и20 открываются и на вход блока 23регистрации поступает номер проводника, имеющего дефект. После окончанщ считывания информации с каждогостолбца (строкн) блока 1 Э памяти счетвертого выхода распределителя 22выдаются импульсы на установку счетчика 15 в исходное состояние "1",а триггера 17 - в нулевоНомерцикла считывания определяется уровнемсигнала (логических "Офф или ") спятого выхода распределителя 22причем уровень логической соответствует первому циклу считывания(определение "сужений" ), а уровеньлогического "О" соответствует второмуциклу считывания (определение "сблийн)Так как при распознавании дефектов типа "сужение" и "сближение"используется информация о связностиконтактных площадок, а их связностьопределяется только наличием распознаваемых дефектов в топологии и независит от формы, размеров, ориентации и местоположения данных типов де"фектов, то результаты распознавании .дефектов типа "сужение" и "сближение" с помощью предлагаемого устройства не зависит от их формы, размеровориентации и местоположения.Введение новых узлов и элементовпозволяет существенно повысить надеж"кость распознавания дефектов иэображений объектов,1 36191 Составитель Т. Ничипоровичдактор А. Козориз Техред Т.фанта Корректор И. Эрде Филиал ППП "Патент", г. Икгород, ул. Йроектная, 4 0287/38 Тираж 710 ВНИИПИ ГосударсФвеиного коми по делам изобретений и от 113035, Москва, 3-35Раущска