Реактив для химического травления

СОЮЗ СОВЕТСКИСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИК ЕТ СССРОТКРЫТИЙ ИЕ ИЗ ЕТ ТЕЛЬСТВУ И ержаписуснуюй с я Бюл. 9гина, И Ю. А. Кл 16А.Алехова,ячко мик мкм,авиконошен Октябрьва-.редко- и Все- вой0-70 кислот г/см 3) стальн е н 6 УДАРСТНЕНН 1 Й КОМ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ Н АВТОРСКОМУ(71) Государственныйской Революции научнтельский и проектныйметаллической промышлсоюзный заочный инстпромышленности(54)(57) РЕАКТТРАВЛЕНИЯ; содфосфорную и укл и ч а ю щ ицелью выявленимером менее 3но содержит плследующем соооб.й:Азотная ки( 1 = 1,126 ХИМИЧЕСКОГОазотную,кислоты о ттем, что, свключений раздополнительую кислоту прикомпонентов,1089465 060-70 30 редлагае 20 65 Остальное 6 5 тальн 2 3 2 эвестййй 4 2 Изобретение относится к металло- графии, в частности к химическим реактивам, предназначенным для трав леиия шлифов с последующим исследованием их методом локального рентге иоспектрального анализа.Известен реактив 1.11 для химического травления шлифов широкого круга материалов, содержащий, ч:Азотная кислота 5Влавиковая кислота 3Уксусная кислота 3Однако травитель обладает высокой скоростью травления поверхности (больше 20 мкм/мин), при обработке материала в течение 1 мин этим травителем снимается толстый ( гф 20 мкм) поверхностный слой, а следовательно, и микровключения размером менее 3 мкм, расположенные на поверхности, которые и должны подвергаться микроанализу. При обработке материала в этом реактиве менее 1 мин не достигается необходимого для локального рентгеноспектрального метода качества поверхностиНаиболее близким к предлагаемому является реактив 2) дпя химического травления, содержащий, мп: Азотная кислота 20Соляная кислота 20Фосфорная кислота 8Уксусная кислота 40Однако в известном реактиве также происходит травление с высокойскоростью, что не позволяет качественно подготовить шлиф для локапьного рентгеноспектрального анализа.Цель изобретения - возможностьвыявления микровключений размеромменее 3 мкм.Для достижения поставленной целив реактив, содержащий азотную, фосфорную и уксусную кислоты, дополнительно введена плавиковая кислота прнследующем соотношении компонентов,об.Х;Азотная кислота(= 1,126 г/смЗ) ОстальноеДля опробования предлагаемогореактива готовят композиции, составкоторых приведен в табл. 1,Таблица 1Скорость травления, мкм/мнн, материала Реактив Медь Предлагаемый 1,6 3,0 0,9 3,0 Микровключення размером 3 мкмвыявляются 6 с 23 Известный Образуются 35 нерастворимые продукты реакции 80.если количество плавиковой кислотыменьше, 8 об.Х, то не разделяютсяфазы матрица - включение, а еслибольше 12 об.Ж, то границы разделааэ очень сильно растравливаются,что делает невозможным дальнейшийанализ; если количество уксуснойкислоты меньше 60 об:Х, то скоростьтравления резко возрастает,.а еслибольше 70 об.З, то, наоборот, сильно замедляется и для получения необходимого качества поверхностии выявления микровключвний требуетТаким образом, обработка исследуефвщ образцов в предлагаемом реактиве позволяет обнаружить микровключенияразмером менее 3 мкм,Отклонение от указанных соотношений компонентов приводит к резкому.изменению скорости травления илиухудшению поверхности образца, аименно: если количество азотной кис" .лоты меньше 4 об .Х, то включения невыявляются, а если больше 6 об.Е,то скорость травления становитсябольше 20 мкм/мин, что недопустимо,Э 1089465 4Опробованные составы предлагаемо- ет 0,5-1 мин. При травлении образец го реактива используют для выявле- слегка покачивают для лучшего контакния образцов меди, сурьмы, никеля та поверхности с реактивом, далее и антнмонида индия. При этом нерабо-образец промывают дистиллированной чую поверхность образца покрываютводой и просушивают. химически стойким лаком. Рабочую по.- верхность образца, предварительно Результаты травления различных отшлифованную порошками М 28 и М 14 и материалов в предлагаемом реактиве алмазной пастой, погружают в реактив, в сопоставлениис известным реактиВремя травления при 18-22 С составляО .вом представлены в табл. 2.Таблица 25 1089465 ся длительное время ( до 30 мин), если количество фосфорной кислоты меньше 18 об.й, то травление поверхности идет неравномерно и выявляются не все имеющиеся на поверхностимикровключения, а если больше22 об.й, то скорость травления возрастает выше допустимой (3 мкм/мин) Составитель Л,ШевелеваТехред М.Кузьма Корректор О,Билак Редактор Л.Филь филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4 Заказ 2924/40 Тираж 823ПодписноеВЫКИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Иосква, Ж, Раушская наб д. 4/5