Ухорская

Номер патента: 1089465

Опубликовано: 30.04.1984

Авторы: Алехова, Гимельфарб, Клячко, Кочергина, Ухорская

МПК: G01N 1/32

Метки: реактив, травления, химического

...микровключений размеромменее 3 мкм.Для достижения поставленной целив реактив, содержащий азотную, фосфорную и уксусную кислоты, дополнительно введена плавиковая кислота прнследующем соотношении компонентов,об.Х;Азотная кислота(= 1,126 г/смЗ) ОстальноеДля опробования предлагаемогореактива готовят композиции, составкоторых приведен в табл. 1,Таблица 1Скорость травления, мкм/мнн, материала Реактив Медь Предлагаемый 1,6 3,0 0,9 3,0 Микровключення размером 3 мкмвыявляются 6 с 23 Известный Образуются 35 нерастворимые продукты реакции 80.если количество плавиковой кислотыменьше, 8 об.Х, то не разделяютсяфазы матрица - включение, а еслибольше 12 об.Ж, то границы разделааэ очень сильно растравливаются,что делает невозможным дальнейшийанализ;...