Устройство для подгонки сопротивления пленочных резисторов

(54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВпо авт. св. М 819826, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюповыиения производительности и точности подгонки, злектрод снабжен порш"нем и узлом для его перемецения иФиксации,2, Устройство по и, . о т л ич а ю ц е е с я тем, ч;о рабочий конец наконечника ссвмецен с концомампулы рабочего злект оде,Изобретение относится к микроэлектронике и, в частности,. можетбыть использовано для подгонки пленоч-.ных резисторов в номинал л при шункциональной подгонке микроузлов,По основному авт,. Гв 1 81826 известно устройство для подгонки сопостивления пленОчных резисторов, содержащее рабочий электрс)д в ниде ампулы, заполненной электролитом, и нд Оконечникд из пористого матеиала скапиллярной структурой, ампула рабо чего электрода заполнена пооистым материалом с капиллярной структурой,пропитанным электролитом, гри этом 1,)электоод и наконечник ,смещ.н в гористый материал 11,Недостатки данного у ,родства заключдотся н тОИ чт:) из за -ере г)ли 1-"рурмых условий подач э."акт)ол 1 д нНД КОН(;"НИ К ОНО ПЛОХО О)Д(ОТ ДЕТ Н ПС"ренер утом положении н ,оомальномПСЛОБЕНИИ НРРЕДКО ВСЗНИКДЮГ КДПЛИЭЛЕКтРОЛИтД ЧД КС)НЦЕ НДКОЕчнИКД(и 1 д годгоняемом рез 1"с-:Оре)., из:здотсутствля гермет 1 здц,;и дм 1 уы эл:кролит, здголняющлй дм)у) ) . Дос.гд" оно быстро высыхает,Все это приводит к;змене-"ио усВий под Гонки для кд)ДО Гс после оуюз)еГО )ЕЗИСТОРа 1 ЧТО ОТРсДат С 1: РД )РОизводительности и точности подгон:(иКроме того, в процессе работы ндконечник из -1 ористого матери:лаВ" - РгВИв ПОЛО)НИЯ 1 ЕХД ИНЕС:)Хнагр,зок 6 ыстро изнащ, ндетс(1,кдк нарущается капилляр-дя Отру, ррИЗ ПОРИ СТОГО МаТЕРИ ДЛД 1 а(ОН ц 11Дизменяется площадь контдктд 1 акс; -нсчнлка с поверхнос- ью рсзис,.)рд ,меняется т 10 тенццдл на ндко; с. - крнарущдется рд вномеоностподач; 3 е кролита в наконечник. О н .Эзуль приводит к уме 1 ь 1)с ио точнсст гонки.ЦЕЛЬ ИэобРЕТЕНИЯ = ПС)НЬЩЕНИЕ 000 изводительности и точности годго иПоставленная цель достиг;ется тем,. что в устроистве длг под -онки со-ро - тивления пленочных резисторов электод сна 10 жен поршнем и узлом для е-о перемещения и фиксацииП )и этом ра)Оцл 1 коне,- д:О 1 Рик :ОВМЕЩРН С КОНЦОМ аМПУЛЫ Оаоочо 0 электрода.На ертеже представлено устрсйстнс для подгонки, сецение,Устройство содержит дьпулу 1 1)дбо це 1 о эгеТродд, заполнен- уо пооистым материалом , с капиллярной структурой /,нагример, поролон, во,Лок и т. ,1, пропитанным электролитом (например, Г:1)-ььй раствор борной ил нигной кислоты, деиоьизованная вода) наконечник 3 из пористого материала с капиллярной структурой и электрод 1. ВЫПОЛНЕ)1 Н 11 й ПОДВИЖНЫМ,. Е ДРЧНО) СЛУ чае пс при )ц пу винтового соеди неи я с Фиксируюшей гайкой 5, ,причем наконечник 3 и электрод ) погружень в порИстый материал 2, Наконечник 3 здключе- в ксжух 6 из твердого и прочного диэлектрического атериалд (например, оргс-екло,. пенопласт, ,кото ЬИ СССДИ - - "- 1 Г фЛойаоо С:,З .:Яция НЬДР 1:,ГС 00 Ь Мс 1 МГУлы0 дг)оцег( э гект рэга (,;,р,)дощеиПООШЬЯ / гО ПИ ЭТО С О-с П,".О О./,Т.)г 01 ИР (СсК01,И О С; Мгг00 ИДЛ П ИТДН 1 СГР ; ЯРКРогИТ) ГЭДДНИ Э 1:Е,1 РОЛ. ТД Я . Д ОНа НИКростн); )ч-ос-, подг 01-:ки Этму ),Р СП)СОСНУС - ", И ВВР)РНИа КГ)(,.ф Д - лд тр дота;)дщд;ощего измснсние с-ру 3 1Наличие кожуха 6 способствует сохранению постоянной площади контакта пористого материала наконечника 3 с поверхностью резистора (не показан), предотвращает образование капель электролита в рабочей зоне, что обеспечивает высокую точность подгонки, Наличие подвижного электрода 4 позволяет создать в обьеме ампулы 1 необходимое для равномерной подачи электролита в наконечник 3 давление при любом положении устройства.Устройство работает следующим образом.На подгоняемый резистор и электрод 4 подают разность потенциалов. При касании поверхности резистора наконечником 3 материал пленки резистора окисляется и покрывается пленкой окислов для резисторов на основеГ вентильных металлов и керметов либо локально разрушается (для резисторов на основе прочих материалов), В любом из указанных случаев сопротивление резистора изменяется.В пооцессе работы по мере расхода электролита электрод 4 перемещают20 25 Технико-экономицеский эффект отиспользования изобретения позволяетповысить точность подгонки в 4-5 раз(до 0,05), снизить по сравнению спрототипом трудоемкость подгонки,повысить выход годных гибридных схемсоздает предпосылки для автоматизации подгонки,045281 4и фиксируют в новом положении, обеспечивающем равномерную подачу электролита в наконечник 3. При этом сохраняется контакт электрода 4 с по 5 ристым материалом 2, так как деформация пористого материала упругая,Избыточное давление, создаваемоев ампуле предлагаемого устройстваперед началом работы, обеспечивает10 подачу электролита на наконечникв течение длительного времени и прималом расходе электролита, т,е. определяет дальнейшую и стабильную работу устройства,15Длительная стабильная работа устройства позволяет автоматизировать процесс подгонки.