Способ изготовления системы пленочных электродов с зазором

32197 О ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСова Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства Ме Заявлено 07,тт.1970 ( 1421311/26-9)с присоединением заявки МоПриоритет 1 ПК Н 051 318 амитет по дела иаобретеиии и открыт К 621 3,049.7(088.8 Опубликовано 19.Х.1971, Бюллетень Мо Дата опубликования описация 2.11,1972 при Совете Мииистро СССРВ, В. Чесноков изобрет Заявитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СИСТЕМЫ ПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕКТРОДОВ С ЗАЗОРОМИзобретение относится к электронной технике и может быть использовано при разработке электронных пленочных приборов, требующих для своей работы малых, переменных во времени, воздушных зазоров, Такими приборами могут быть модуляторы света, нелинейные конденсаторы и пр.Известны способы изготовления системы пленочных электродов с зазором, основанные на нанесении на нижний электрод тонкого слоя материала верхнего электрода.Основным недостатком известных способов изготовления таких электродов является невозможность обеспечения сверхмалых зазоров, величиной от одного до десятков ангстрем.С целью получения сверхмалых зазоров по предлагаемому способу в качестве материала верхнего электрода используют материал с плохой адгезией к нижнему электроду, и один из электродов подвергают поперечной вибрации с частотой колебаний второго электрода и амплитудой, обеспечивающей превышение сил ускорения над силами адгезии электродов.Обеспечение постоянных, стабильных во времени, сверхмалых зазоров между электродами представляет собой сложную техническую задачу. Ее решение моукет быть значительно облегчено, если выполнить зазор динамическим, т. е. периодически меняющимся во времени между нулевой и максимальной величинами.При выключенном приборе зазора между его электродами нет; периодически появляется и захлопывается он при приведении системы электродов в состояние вибрации в направлении, перпендикулярном поверхностям электродов. Частота вибрации должна отличаться от резонансной частоты поперечных колебаний одного из электродов.На чертеже дана система пленочных электродов, иллюстрирующая предлагаемый способ.Пленочные электроды 1 и 2 на подложке 3 5 находятся в состоянии, когда зазор 4 в области поверхности контакта электродов возникает и захлопывается.Сначала на гладкую поверхность подложки3 известным способом в виде тонкой пленки 20 наносят электрод 2, а затем электрод 1. Электроды могут быть нанесены, например, напылением в вакууме, гальваническим наращиванием и др.Материал электрода 1 должен обладать по вышенным сцеплением с подложкой т, а споверхностью электрода 2 - пониженным, что обеспечивает в области перекрытия электродов зазор между ними.Пониженная адгезия электрода 1 к элек триоду 2 может оыть выэваца алтжс цацссе321970 Составитель Л. Рубинчи Текред Л, Куклина рректор 3, Тарасо Редактор Т. Морозова ираж 473 Изд.171 аказ 3 дписное ипография, пр. Сапунова, 2 нием на электрод 2 тончайшего слоя подходящего материала, например углеродной пленки или пленки органического материала,При вибрации подложки в направлении, перпендикулярном ее плоскости, и с частотой, превышающей резонансную частоту участка пленочного электрода 1, расположенного на электроде 2, между электродами периодически возникает и захлопывается зазор величиной, равной амплитуде колебаний примыкающей к пленочному электроду поверхности подложки.Возбуждение колебаний подложки осуществляется различными способами, например электромеханическим путем или с помощью пьезовибраторов. Реальность предлагаемого способа подтверждается расчетом сил ускорения, возникающих при вибрации подложки.Если, например, частота вибрации достигает 10 Мги, амплитуда вибрации - 10 " м=о=1 А, то величина ускорения составляет 4 10 з м/сйкз, что в 40000 раз больше ускорения силы тяжести на Земле. Следовательно, таких сил достаточно для отрыва электродов друг от друга.Рабочая частота прибора с описываемым зазором может быть очень высокой, так как определяется только тем, какую частоту колебаний можно еще возбудить в теле основания. Известны способы возбуждения в твердых телах ультразвуковых колебаний с частотами порядка гигагерц,Предлагаемый способ создания зазоров пригоден не только в случае плоской конструкции электродов, но и при создании динамического зазора между цилиндрическими коаксиальными электродами с обеспечением лишь радиальных сжатий и расширения одного из электродов.Технология изготовления системы электродов немногим отличается от технологии изго товления, например, тонкопленочных конденсаторов. Однако предлагаемый способ изготовления системы электродов обеспечивает сверхмалый зазор при простой конструкции электродов, так как отпадает необходимость 10 в специальных держателях, упорах и т. д.При изготовлении нелинейных конденсаторов его емкость периодически меняется от максимальной до минимальной величины, если роль обкладок выполняют подложки 3 и 15 верхний электрод 1, а пленочный электрод 2является изолирующим. Частота изменений емкости равна частоте вибрации подложки, т. е. может быть очень большой, порядка гигагерц. Нелинейный конденсатор может быть 20 использован как активный элемент электронных схем, например, в качестве усилителя малых сигналов, умножителя частот и др. Предмет изобретения Способ изготовления системы пленочных электродов с зазором, основанный на нанесении на нижний электрод тонкого слоя материала верхнего электрода, отличающийся тем, что, с целью получения сверхмалых зазоров, в качестве материала верхнего электрода используют материал с плохой адгезией к нижнему электроду, и один из электродов подвергают поперечной вибрации с частотой, отличающейся от резонансной частоты колебаний второго электрода, и амплитудой, обеспечивающей превышение сил ускорения над силами адгезии электродов.1