Устройство для измерения емкости мдп-структур
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 995028
Авторы: Благодаров, Бородзюля
Текст
ЬП ИГРАНИ ЕИЗЬВРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и)995028 Союз Советск ихСоциалистическикДата опубликования описания 08.02.83(72) Авторы изобретения А. Н. Благодаров и В. ф, Бородзюля Ленинградский ордена Ленина политехничим, М. И. Калинина(54). УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЕМКОСТИМДП-СТРУКТУР Изобретение относится к измерению и контролю электрофизичеоких параметров полупроводников и может быть использовано для оценки качества технологического процесса при производстве твердотельных микросхем на основе МДП-структур. По основному авт. св У 63441 известно устройство для измерения емкости МДП-структур, содержащее источник напряжения смещения и .дифференциальный усилитель, соединенныес компаратором, причем источник напряжения смещения, схема формированиявыходного сигнала и устройство инди-кации соединены параллельно, выходдифференциального усилителя соединенс управляющим, а выход генератора импульсов - .с аналоговым входами схемы 2 оформирования выходного. сигнала.Образец испытуемой МДП-структурывключен в плечо емкостного моста,образующего компаратор 1 1,2Недостатком устройства являетстт необходимость фиксирования состояния МДП-структуры по ее высокочастотной емкости, а так как емкость измеряется на больших тестовых сигналах, то ее значение нельзя применять в общеизвестных моделях для генерационно-рекомбинационных процессов в обедненном слое полупроводника для определения времени жизни носителей заряда. Целью. изобретения является расши" рение функциональных возможностей.Поставленная цель достигается тем, что в устройство для измерения емкости МДП"структур введены регулируемый источник постоянного эталонно" го напряжения и дифференцирующий вольтметр, причем регулируемый источник постоянного эталонного напряжения включен между выходом компаратора и одним из входов дифференциального усилителя, а дифференцирующий995028 оставитель Н, Чистяковаехред А. Бабинец Корректор В Гу Бутягвйекль а Ъ а Реда дписно каз 634/31 ВНИИПИ Госуд по делам 113035, МоскТираж 708 ственного коми зобретений и оЖ, Раушск та СССРрытийнаб., д филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул. Проектная,5мя поддержания структуры в этом неравновесном состоянии всегда может быть сделано на порядок величины меньше временй свободной релаксации МДП"структуры к своему .установившемуся неравновесному состоянию.1Таким образом, предлагаемое устройство значительно увеличивает частотный диапазон измерений (на 2-3 по в рядка) и повышает точность измерений ( 10), так как в нем не используется малосигнальный высокочастотный тестовый сигнал для регистрации состояния МДП-структуры.15 Предлагаемое устройство позволитповысить точность и экспрессностьконтроля качества изготовления МДПструктур. 26 вформула изобретенияУстройство для измерения емкостиМДП-структур по авт, св. У 635441,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, сцелью расширения функциональных возможностей, в него введены регулируемый источник постоянного эталонногонапряжения и дифференцирующий вольт",метр, причем регулируемый источникпостоянного эталонного напряжениявключен между выходом компаратораи одним .из входов дифференциальногоусилителя, а дифференцирующий вольт"метр подключен параллельно источникунапряжения смещения.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРИ 635441, кл. О 01 К 31 Л 6; 1977
СмотретьЗаявка
3235134, 12.01.1981
ЛЕНИНГРАДСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. М. И. КАЛИНИНА
БЛАГОДАРОВ АЛЕКСЕЙ НИКОЛАЕВИЧ, БОРОДЗЮЛЯ ВАЛЕРИЙ ФЛОРИАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: емкости, мдп-структур
Опубликовано: 07.02.1983
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-995028-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-emkosti-mdp-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения емкости мдп-структур</a>
Способ линеаризации путем подзаряда емкости интегратора от источника опорного напряжения схем регулируемой задержки
Номер патента: 141690
Опубликовано: 01.01.1961
Авторы: Бураков, Губин, Тишенко
МПК: H03K 4/08
Метки: емкости, задержки, интегратора, источника, линеаризации, опорного, подзаряда, путем, регулируемой, схем
...времени. Указанное отличие позволило упростить схему и обеспечить высокую точность и стабильность времени задержки.На чертеже приведена принципиальная схема устройства для осуществления предлагаемого способа линеаризации.Схема состоит из источника питания, подключенного к зажиму 1, источника опорного напряжения, подведенного к зажиму 2, РС-цепочки и активного сопротивления Я,.Для компенсации уменьшения напряжения в выходной цепи необходимо производить дополнительный подзаряд емкости С интегратора через активное сопротивление Й, от источника опорного напряжения,141 б 90 Предмет изобретения Способ линеаризации путем подзаряда емкости интегратора от источника опорного напряжения схем регулируемой задержки, выполненных на...
Источник синусоидального тока с регулируемой от нуля частотой
Номер патента: 194940
Опубликовано: 01.01.1967
Метки: источник, нуля, регулируемой, синусоидального, частотой
...послеьыпрямлеция мостом 5 (фиг. 2, г) служит дляоткрывания транзистора 6 и одновременнопос,(е выпрямлеиия мостом 7 служит для зд 20 пираш(я транзистора 8. Нд встречно соедиисиИ 1(х Ооыотк 1 х 1 и 4 фОрмируетс 51 идпр 51 жеиив,которое после выпрямлеиия мостом 9, здп(1 рает транзистор 6 и одновременно после выпрямления мостом 10 открьвает тряизистор 5.25 Транзисторы 11 и 12 мпрвл 5 ются выхо;(иьТ(напряжениями мультивибраторов 2 и 4.Все ияпря 5 кения, управляющие трдизцсто.рами силового блока 1 подобио иа(ряжеи(я.,(иа фи, 2, г ц 2, д), представляют собой после 30 довательцость одпополя рных прямоуголыыхимпульсов, длительность которых модулпрована с частогой, равной разности частот регулируемого ц нерегулируемого мультивибратора.Если бы...
Устройство для контроля напряжения химических источников тока малой емкости
Номер патента: 653650
Опубликовано: 25.03.1979
Авторы: Бельский, Гутников, Иванов, Клементьев, Шипулин
МПК: H01M 10/48
Метки: емкости, источников, малой, химических
...расширение функциональных возможностей устройства. Указанная цель достигается тем, что выход операционного усилителя соединен с его инвертирующим входом через двух полюсник, составленный из последователь - но включенных диода и регулируемого резистора.Схема устройства изображена на чертеже. Она содержит: контролируемый ХИТ 1;резисторный делитель напряжения 2; нуль20 орган 3, выполненный на основе операционного усилителя (ОУ); блок сигнализации 4.К контролируемому ХИТ 1 и к резистор- ному делитегпо напряжения 2 подключен своими входами нуль-орган (НО) 3 таким об разом, что инвертирующий вход ОУ соединен с положительной обкладкой ХИТ, а неинвертирующий - с резисторным делителем К К . К нижнему плечу делителя напряжения К К, через...
Источник трехфазного напряжения с регулируемой несимметрией
Номер патента: 769684
Опубликовано: 07.10.1980
Авторы: Ахмеджанов, Сысолятин
МПК: H02M 5/14
Метки: источник, несимметрией, регулируемой, трехфазного
...тока. На чертеже представлена функциональная схема источника трехфазного напряжения с регулируемой несимметрией.Он содержит последовательно соединенные источник 1 трехфазного напряжения и блок 2 регулировки несимметрии (БРН).1( выходным зажимам А, В, С источника подключается нагрузка 3. БРН 2 состоит из источника 4 постоянного тока, трех линейных потенциометров 5 с приборами контроля 6, блока 7 прямой последовательности (БПП), блока 8 обратной последовательности (БОП), блока 9 нулевой последовательности (БНП) и трех сумматоров 10, причем БПП 7, БОП 8, и БНП 9 содержат множительные устройства 11, а последние два блока, кроме того, трехфазный 12 и однофазный 13 фазовращатели соответственно, Выставленные на линейных потенциометрах 5...
Источник трехфазного напряжения с регулируемой несимметрией
Номер патента: 1317600
Опубликовано: 15.06.1987
Авторы: Захаренко, Сысолятин, Шахов
МПК: H02M 5/14
Метки: источник, несимметрией, регулируемой, трехфазного
...обратной и нулевой последовательностей устанавливаются следующие значения напряжений: в блоке 1 - 0(1= 0 иом в блоке 2 - 0;2 = О, в блоке 3 0 = О = О, в блоке 15 - 0 = О = О, в блоке 16 - 0 щ= О = О, где 0, - напряжение прямой последовательности; О,- номинальное значение напряжения; 0" напряжение обратной последовательности;0 - напряжение нулевой последова)тельности. Тогда с учетом погрешностей блока1 и сумматоров 5 - 7 и несимметриинагрузки на выходах А,В,С имеем:Ол "0 л ) + д 0 л 11317 30 - Ов(,) + д Ов(,1 Источник трехфазного напряжения срегулируемой несимметрией, содержаО с О с(1) + дО с(1)Трехфазное напряжение 0)1, Ов, Ос из-за погрешностей несимметричное. Его можно разложить на составляющие прямой 01, обратной ВО ) и нулевой...
Предыдущий патент: Устройство для контроля проводимости изоляции трехфазных электрических сетей
Следующий патент: Устройство для бесконтактного измерения параметров полупроводников
Случайный патент: Устройство для умножения чисел по модулю