Интерферометр радиального сдвига

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ю 991151 Свез СфввтскихСоциаиистичвскихРвсттубликГесударстввкай камктвт СССРлам кзевретеккй иковано 23,01.83. Бюллетень М опубликования описания 23.01.83 53) УДК 531,717. .2 (088,8) еткрытнк(54) ИНТЕРфЕРОМЕТР РАДИАЛЪНОГО СДВИГА тельный объектив, устанавливаемый на пути распространения волновых фронтов по замкнутому контуру 21,Недостатками этого ннтерферометра являются сравнительно низкая точность и производительность контроля, что объясняется высокой чувствительностью интерференционной картины к неконтролируемым смещениям оптических элементов интерферометра, а также сложностью его юстировки. ма- олно- преПоставленная цель достигается тем, чтоинтерферометр радиального сдвига снабженотрицательным объективом, установленныммежду светоделительной пластиной и положительным объективом так, что объективыобразуют телескопическую систему Галилея,а фокусное расстояние отрицательного обьектива по абсолютной величине близко к фо.кусному расстоянию положительного объектива,Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, предназначено для контроля волновых фронтов н может быть использовано в производстве, занятом изготов-.лением и эксплуатацией высококачественныхоптических систем, а также при проведениинаучных исследований,Известен интерферометр радиального сдвига, выполненный в виде призменного бло.ка 11,Недостатком интерферометра являетсялый диапазон апертур контролируемых ввых фронтов, а также низкое значениедельной апертуры,Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометррадиального сдвига для контроля волновыхфронтов, содержащий светоделительную пластину, разделяющую волновой фронт на два,два плоских зеркалаустанавливаемых на пути распространения волновых фронтов поразные стороны светоделительной грани пластины так, что оптическая ось интерферометра образует замкнутый контур, н положиЯ .т;,м сокбмыйй;цл: м. 1 ьпофтФ,"- 1 Цель изобретения - повышение точности роизводительности контроля.991151 20 40 Па чертеже изображена принципиальная схема одного иэ возможных вариантов интерферометра радиального сдвига для контроляволновых фронтов.Интерферометр содержит светоделительнуюпластину 1, два плоских зеркала 2 и 3, положительный объектив 4 и отрицательныйобъектив 5,Плоские зеркала 2 и 3 установлены поразные стороны светоделительной грани пласти 10ны 1 так, что оптическая ось интерферометра. образует замкнутый контур.Положительный объектив 4 расположенмежду плоскими зеркалами 2 и 3. Отрицательный объектив 5 установлен между 15положительным объективом 4 и плоскимзеркалом 3 так, что объективы 4 и 5 образуют телескопическую систему Галилея, афокусное расстояние отрицательного объектива 5 по абсолютной величине близко кфокусному расстоянию положительного объектива 4,Показаны также коллиматор 6, вспомогательный объектив 7, регистратор 8 интерференционной картины и контролируемая опти- э 5ческая система 9.Интерферометр работает следующим образом.Контролируемый волновой фронт падаетпа светоделительную пластину 1, которая делит его на два волновых фронта. Один изних направляется зеркалом 2 в положительный объектив 4, а второй - зеркалом 3в отрицательный объектив 5. Оба волновыхфронта проходят телескопическую системуГалилея, образованную объективами 4 и 535во встречных направлениях, отражаются оттглоских зеркал 2 и 3 соответственно, интерферируют на светоделительной грани плас.тины 1 и поступают в регистратор 8. Таккак фокусные расстояния объективов 4 и5 не равны по абсолютной величине, а ин-фтбрферирующие волновые фронты проходяттелескопическую систему Галилея во встречных направлениях, получаемая интерференционная картина представляет собой интер.45ференционную картину радиального сдвига,которая несет в себе информацию о качестве контролируемого волнового фронта. Величина радиального сдвига интерферирующихволновых фронтов определяется отношениемфокусных расстояний объективов 4 и 5 или,что то же самое, увеличением телесконичес кой системы Галилея. Оптимальная величина радиального сдвига, равная отношению апертур (диаметров) интерферирующих вол. новых фронтов, находится в диапазоне значений от 1,05 до 1,2.В этом случае, если контролируемый вол. новой фронт является плоским, вспомогательный объектив 3 выводится из хода лучей.Благодаря тому, что радиальный сдвиг интерферирующих волновых фронтов осущест. вляется телескопической системой Галилея, образованной объективами 4 и 5, интерферен. ционная картина практически нечувствительна к неконтролируемым смещениям большинства оптических элементов интерферометра, возникающим за счет влияния внешних дестабили. эирующих факторов (изменения температуры, вибрации и др,), что позволяет повысить точность и производительность контроля,Формула изобретенияИнтерферометр радиального сдвига для контроля волновых фронтов, содержащий светоделительную пластину, разделяющую волновойфронт на два, два плоских зеркала, устанавливаемых на пути распространения волновыхфронтов по разные стороны светоделительной грани пластины так, что оптическая осьинтерферометра образует замкнутый контур,и положительный объектив, устанавливаемыйна пути распространения волновых фронтовпо замкнутому контуру, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, онснабжен отрицательным объективом, установленным между светоделительной пластинойи положительным объективом так, что объективы образуют телескопическую систему Галилея, а фокусное расстояние отрицательногообъектива по абсолютной величине близко кфокусному расстоянию положительногообъектива,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Зов Я. С. Ортс Аста. 1970, 17, М 2,р.р, 107 - 113.2. Нагйагап Р Зеп 0.,1 оогпа о 1 Зсептбс 1 патгцтепта 1, 1961, 38, У 11, р.р. 428 -432 (прототип),Составитель О. Фоминехред А.Бабинец едактор Н. Бобкова орректор Г, Огар аз 105 53 дписно лнал ППП "Патент, гУжгород, ул. Проектная,Тираж ВНИИПИ Государственн по делам изобретени 13035, Москва, Ж, Рауш