Способ голографического контроля волновых аберраций линз и объективов

СОГОЭ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 6 ОВ А 1 01 В 9/021, 11/2 ительнтроля ивов и дстве,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Сибирский физико-технический институт им. В,д. Кузнецова при Томском государственном университете им, В,В,Куйбышева(54) СПОСОБ ГОЛОГРАФИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ВОЛНОВЫХ АБЕРРАЦИЙ ЛИНЗ ИОБЪЕКТИВОВ(57) Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроляволновых аберраций линз и объективов иможет найти применение в их производстве. Цель изобретения - повышение точности контроля, Устанавливают в фокальнойплоскости контролируемого объекта сизвестным значением фокусного расстояниядиффузный рассеиватель, освещают егопучком когерентного излучения и пропускают через контролируемый объект диффузнорассеянное излучение, Устанавливают по Изобретение относится к измер ной технике, предназначено для ко волновых аберраций линз и обьект может найти применение в произво занятом их изготовлением,Известен способ контроля волновых аберраций линз и обьективов, по которому сходящийся квазисферический волновой фронт, сформированный контролируемым обьектом, направляют к центру его кривизны . совмещенному с интерферометром Майкельсона из двух прямоугольных призм, с помощью которого разделяют волновой фронт на два фронта и проводят сдвиг между ними для получения интерферограммы ходу пучка излучения переддиффузным рассеивателем дополнительный диффузный рассеиватель нарасстоянии ., удовлетворяющем соотношению Е =, где - расстояние от главной плоскости контролируемого обьекта до регистрирующей среды. Записывают на регистрирующей среде голограмму с помощью коллимированного опорного пучка, смещают рассеиватель в плоскости его размещеЛния на величину ао, где б - диаметр пучка когерентного излучения, Я, - длина волны когерентного излучения, и изменяют угол падения опорного пучка на регистриру ющую среду. Повторно записывают голограмму и осуществляют пространственную Ж фильтрацию записанной двухэкспозиционной голограммы до получения интерферограммы, по которой судят о наличии аберраций контролируемого объекта. 1 ил,бокового сдвига, по которой судят о волно- О вых аберрациях контролируемого обьекта.Недостаток способа заключается в низкой точности контроля, что обусловлено ошибками, возникающими при интерпретации регистрируемой интерферограммы с целью определения фазовых искажений в а фиксированной точке контролируемого объекта, так как интерференционная картина не сопряжена со зрачком контролируемого объекта.Ближайшим по технической сущности к заявляемому способу является способ контроля волновых аберраций линз и объективов, по которому освещают диффузный1772608 В, Гусевргентал оставит хред М орректор О. Кравцова аказ 3837 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ 113035, Москва, Ж, Рэушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгорсд э)инэ, 01 непрозрачного экрана с круглым отверстием в плоскости голограммы дифракцконное поле регистрируют в дальней зоне дифракции, где локализуется интерференционная картина, представляющая интерферограм му бокового сдвига в полосах бесконечной ширины, характеризующей волновые, аберрации контролируемого обьекта.По сравнению с прототипом предлагаемый способ обеспечивает повышение точ ности контроля, так как исключаются ошибки контроля, обусловленные фазовыми искажениями волны освещения матового стекла.Таким образом, предлагаемый способ 15 голографического контроля волновых аберраций линз и объективов решает актуальную задачу, позволяя повысить точность контроля, что важно для науки и техники.Формула изобретения 20 Способ голограФического контроля волновых аберраций линз и объективов, заключающийся в том, что устанавливают в фокальной плоскости контролируемого объекта с известным значением 1 Фокусного 25 расстояния диффузный рэссеивэтель, освещают его пу 4 ком когерентного излучения и пропускают через контролируемый объект диффузно рассеянное излучение, записывают нэ регистрирующей среде голограмму с помощью коллимированного опорного пучка, смещают рассеиватель в плоскости его расположения и изменяют угол падения опорного пучка на регистрируемую среду, вновь записывают голограмму и осуществляют пространственную фильтрацию записанной двухзкспозиционной голограмм до получения интерферограммы, по которой судят о наличии аберраций контролируемога обьекта, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности контроля, перед записью голограмм устанавливают по ходу пучка излучения переддиффузным рассеивателем дополнительный диффузный рассеиватель на расстоянии , удовлетворягющем соотношению . = - , где - рас встояние .от главной плоскости контролируемого объекта до регистрируемой среды, а смещение рассеивателя осуществляют на величину а,с удовлетворяющую соотношению агде д - диаметр пучка когерентного излучения; А- длина волны когерентного излучения.