Устройство для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сфез СеевтсиикСециалистичесиикРеспублик и 1988533(22 Заявлено 300681 (21) 3308560/25-08с присоединением заявки Нов//В 24 В 37/04 Госуаарстнениый оиитет СССР по дерзи изобретений и открытийОпубликовамо 1%01,83, Бюллетень М 2 3) УЯК 62 1. 923, . 5 (088. 8) Дата опубликования описания 1501.83(72) Авторы изобретеии н, А.В. Шурыгин т ова 1) Заявител УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПРАВЛЕНИЯ УГЛА СРЕЗАКРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКИ ОРИЕНТИРОВАННЫХПЛАСТИН Изобретение относится к радиоэлектронике, промышленности средствсвязи, радиопромышленности и можетбыть использовано при изготовленииподложек микросхем на кристаллах,; втом числе из пьезокварца,По основному авт.св, Ф 768616известно устройство для исправленияугла среза кристаллографически ориентированных подложек, выполненноев виде. корпуса и рабочих секций,каждая из которых состоит из однойнеподвижной и одной подвижной втулок, установленных на общем валу,имеющих по одному перпендикулярномук оси и одному скошенному под равными углами торцу и контактирующихдруг с другом по перпендикулярнымторцам, причем на скошенном торце.подвижной втулки, снабженной фикса-тором, укреплена поворотная кассета, имеющая сквозное отверстие, соответствующее контурной форме исправляемой подложки 11 ).Недостатком известного устройстваявляется невозможность исправленияуглов среза подложек различной толщины. Известное устройство применимо только для подложек одной какой"либо конкретной толщины, при которой центр подложки лежит на оси вращения оси подвижной втулки), вокругкоторой осуществляется разворот подложки (здесь и в дальнейшем подцентром подложки подразумеваетсяцентральная точка на поверхностиподложки после снятия припуска наобработку). При изменении толщины1 О подложки центр ее будет смещен относительно оси вращения, и при обработке будет наблюдаться разворотподложки вокруг дополнительной неконтролируемой оси.Целью изобретения является расширение технологических воэможностейустройства за счет обработки подло, жек различной толщины.Цельдостигается тем, что в Устройство для исправления угла срезакристаллографически ориентированныхпластин дополнительно введен стол,установленный с воэможностью перемещения в направляющей, выполненнойна скошенном торце подвижной втулки,25 снабженной тарировочной шкалой, аповоротная кассета установлена настоле,На фиг.1 изображено предлагаемоеустройство, разрез 1 на фиг,2 - сеЗО чение А-А иа фиг. 11 на фиг.3 - схе 988533ма, поясняющая совмещение центраподложки с осью вращения подвижнойвтулки; на фиг.4 - положение подлож"ки после настройки на определенныйугол среза; на фиг,5 - предлагаемоеустройство, вид сверху. 5Устройство состоит из двух втулок, подвижной 1 и неподвижной 2,общего пустотелого вала 3, с помощьюкоторого втулки крепятся к корпусу4 и в полости которого создается ва. 10 куум, фиксирующей гайки 5, кассеты 6, стола 7, стойки 8, тарированной головки 9 и микровинта 10. Каждая из втулок имеет соответственно перпендикулярные и скошенные под одина ковыми углами торца, Постоянный контакт втулок при взаимном вращении осуществляется по перпендикулярным торцам, при этом один из скошенных торцов постоянно служит основанием, 20 а на торце второго по направляющим базируется стол 7. Гайка 5 служит для фиксирования относительного углового положения втулок 1 и 2, В сквозное отверстие кассеты б устанавливается обрабатываемая подложка 11. К подвижной втулке 1 крепится стойка 8.Работа и настройка устройства происходит следующим образом.На базовую плоскость стола 7 устанавливается обрабатываемая подложка 11, После этого создается разрежение в полости устройства и подложка фиксируется на поверхности стола 7. Затем при заданной теоретической толщине и (получаемой после снятия припуска) при помощи микровинта 10 и головки 9, оттарированной в зависимости от теоретической толщины подложки, перемещают в горизонтальной 40 плоскости, стол вместе с подложкой так, чтобы ось подложки 1-1 и ось подвижной втулки 11-11 пересекались в точке 01, определяющей заданную толщину подложки Ь (фиг.3) . При45 изменении толщины йодложки на Л происходит рассогласование центра пересечения осей на расстояние ОБ, равное Д, в связи с чем при повороте подвижной втулки 1 подложка 50 поворачивается как по оси Х (на заданный угол), так и по оси У (на побоЧный угол, вносящий погрешность). Для исключения этого необходимо спомощью микровинта 10 и головки 9стол с подложкой сместить на величи"ну Ь и совместить точку Б, расположенную на оси 11-11, т,е. оси Х, свертикальной осью подложки 1-1. Затем базовая плоскость стола, ориен-.тируется на требуемый угол сКравный поправке угла плоскости срезаподложки, путем вращения втулки 1относительно неподвижной втулки полимбу (Фиг.4) . Требуемый угол й. Фиксируется гайкой 5.Далее должно быть откорректировано направление наклона плоскостисреза относительно шлифовальногокруга 12, Корректировка производится за счет поворота кассеты б полимбу на требуемый угол / (фиг.5) .Конструкция предлагаемого устройства имеет широкие технологические возможности - позволяет устранить такое отрицательное явление,как одновременный разворот подложкипо двум осям, возникающий при несовмещении центра подложки с осью вращения подвижной втулки, что имеетместо в известном устройстве при пе;реходе на обработку подложек другойтолщины,По сравнению с известным предлагаемое устройство дает возможностьснизить трудоемкость на 20-40 игповысить производительность за счетвозможности обработки подложек различной толщины.Формула изобретенияУстройство для исправления угласреза кристаллографически ориентированных пластин по авт.св.Р 768616,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью расширения технологическихвозможностей устройства, оно снабжено столом, установленньм с возможностью перемещения в выполненной наскошенном торце подвижной втулкинаправляющей и несущим поворотнуюкассету.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРР 768616, кл. В 24 В 41/00, 1978.988533 Фиг.З Составитель А. КозловаРедактор О. Персиянцева Техред Л. Ач Корректор ак аказ 10963/17В лиал ППП Патентф, г. Ужгород, ул. Проектная,Тираж НИИПИ Государс по делам изо 5, Москва, Ж