Электронно-лучевое испарительное устройство

ЯО, 98 О 56 1 Х 37/02 ГОСУДАРС ПО ДЕЛАМ НИЯ 11 . чяХО Л ЬСТВ) 1. ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЕЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО, содержауумную камеру, электроннуютигель, электромагнитные Соколов пушку, фокуси ующую и от ктромагнит лоняющую т которых юсные нак истеТрудовогот радиоУССР мы, эл ны экр защищенечзмещеныи ч а ю ном, а пол клоняющей стемы р ки о акуумнои каме т л ании я те что, с цельокрытий, фолнена в видрией магнит пов%115 ирую 5136 инз ароч ля и и геоме разме еднем осл СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ННЫЙ КОМИТЕТ СССРЗОБРетений и ОткРыти САНИЕ ИЭО ВТОРСНОМУ С 3002663/18-2105.10.8023.07.84. Бюл.йф 27Н.С. Зинченко и В.АХарьковский орденаного Знамени институки и электроники .АН621.791.72(088.8)1. Патент Великобри4237, кл. Н 1 Э, 197Патент Великобрит771, кл. Н 1 Э, 197(21) (22) .(46) (72) (71) Крас физи (53) (56) щения качестващая система вып ЮНОЙ-фСЧод тиглем, соос980560 25 2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что электромагниты отклоняющей системы и фокусирующей линзы размещены вне ваку 1Изобретение относится к электротермии, а именно к электроннолучевымустановкам для плавки, испарения иобработки материалов.Известно электроннолучевое испа 5рительное .устройство, содержащеевакуумную камеру с расположеннымв ней тиглем, электронной пушкойи электромагнитным отклоняющим устройством 1 1.10Недостатки данного устройства обусловлены расположением отклоняющегоустройства вместе с катушкой электромагнита в вакуумной камере, гдепод воздействием высоких рабочих 15температур, отраженных электронови брызг от тигля катушка нагревается, в результате испарений от элементов нагретой катушки загрязняетсякамера и поэтому ухудшается качество наносимых покрытийРКроме того,в упомянутых устройствах отсутствуетфокусирующая система, что также отражается на качестве покрытия, таккак пучок электронов в них может по"падать на края тигля,Известно также электроннолучевоеиспарительное устройство, содержащеевакуумную камеру, электронную пушку,тигель, электромагнитные фокусирующую Зои отклоняющую системы, электромагнитыкоторых защищены экраном, а полюсныенаконечники отклоняющей системы размещены в вакуумной камере,Низкое качество наносимых покрытий35данного устройства обусловлено размещением отклоняющей и фокусирующейсистемы вместе с катушками возбуждения в вакуумной камере, где под воздействием высоких температур, отраженных 40электронов и брызг от тигля катушкинагреваются, и вследствие испаренийот нагретых катушек камера загрязняется, что ухудшает качество наносимыхпокрытий,Целью изобретения является повышение качества покрытий. умной камеры, а полюсные наконечники отклоняющей системы соединеныс электромагнитом посредством магнитопровода. 2Указанная цель достигается тем, что в электроннолучевом испарительном устройстве, содержащем вакуумную камеру, электронную пушку, тигель, электромагнитные фокусирующую и отклоняющую системы, электромагниты которых защищены экраном, а полюсные наконечники отклоняющей системы размещены в вакуумной камере, фокусирующая система выполнена в виде линзы с арочной гео-. метрией магнитного поля и размещена под тиглем соосно последнему. Кроме того, электромагниты отклоняющей системы и фокусирующей линзы размещены вне вакуумной камеры, а полюсные наконечники отклоняющей системы соединены с электромагнитом посредством магнитопровода.Благодаря использованию фокусирующей линзы и такому конструктивному расположению элементов в предлагаемом устройстве из вакуумной камеры удаляются такие элементы, которые при эксплуатации устройства под воздействием высокой температуры, брызг от тигля и отраженных электронов загрязняют камеру своими испарениями, ухудшают вакуум,. а следовательно,и качество покрытия.На фиг,1 представлено испарительное устройство, общий вид; .на фиг.2 то же, вид слева; а на фиг,3 - то же,вид сверху.Электроннолучевое испарительное устройство представляет собой вакуумную камеру (на чертеже не показана) и включает смонтированные на фланце 1, закрывающем вход в вакуумную .камеру, тигель 2, расположенную,соосно с тиглем 2 и размещенную под ним вне вакуумной камеры фокусирующую линзу 3 отклоняющее устройство 4, смонтированное таким образом, что два магнитопровода 5 введены в вакуумную камеручерез два отверстия во фланце 1 и по периметру вакуум-плотно приварены к нему, а катушка 6 отклоняющего устройства 4, надетая на980560 Составитель В. АлександровРедактор П. Горькова Техред С.Мигунова Коррек Пилипенк Заказ 5510 ВНИИПИ Государств по делам изобре 113035, Москва, Жираж 683нного комитетений и открыт35, Раушская писное б., д. 4/ лиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проект сердечник магнитопровода 5, находится вне вакуумной камеры. К внутренним концам магнитопровода 5 прикреплены полюсные наконечники 7, к которым прикреплена электронная пушка 8.Работает предлагаемое устройство следующим образом.Электронный пучок, выходящий из пушки 8, попадает между полюсными10 наконечниками 7 отклоняющего устройст. ва 4, отклоняется там поперечным магнитным полем, возбуждаемым катуш- кой 6 и передаваемым к полюсным наконечникам 7 магнитопроводом 5,. и направляется на тигель 2, размещенный на фланце 1 испарительного устройства. У тигля 2 электронный пучок фокусируется магнитным полем,создаваемым фокусирующей линзой 3 над поверхностью испаряемого вещества, плавит и испаряет вещество, находящееся в тигле 2 для испаренияКачество покрытий, наносимых при использовании данного устройства, повышается не менее чем на 107. при увеличении скорости нанесения покрытий.