Устройство для двустороннего совмещения шаблонов и экспонирования подложки

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспубликМ Кп 30 03 В 27/02 В 41 М 3/08 Государственный. комитет СССР ио делам изобретений и открытий(23) Приоритет Опубликовано 15,09. 82.бюллетень Мф 34 Дата опубликования описания 15. 09. 82) Заявите УСТРОЙСТВО ШАВЛОНОВ ДВУСТОРОННЕГОСПОНИРОВАНИЯ ВМЕЩЕНИЯДЛОЖКИ зобретенияи повышение прощение конобства аа явболь ния толиИзобретение относится к производству изделий элекроиной техники иможе быть использовано для точного.многократного переноса изображения с,щотошаблонов на подпожки при процессах ФотолитограФии.Известно устройство для двустороннего совмещения и экспонирования подложки, содержащее основание, верхний шаблонодержатель, крестовый столик с держателем подложки,.имеющимвозможность вертикальных перемещений,нижний шаблонодержатель с возможнос"тью вертикальных перемещений, распо"ложенный на другом крестовом столике,микроскоп, верхнюю и нижнюю осветительные систеьы (1,Недостатком этого устройствляется. сложность конструкции июшое количество органов управлеиз-за наличия двух крестовых сков.Наиболее близким к предлагаемомуявляется устройство для совмещения иэкспонирования, содержащее основание,основной крестовый стол с центральнымокном, на котором установлен держатель одного иэ шаблонов, На,основном крестовом столе крепится дополнительный крестовый стол вместе с держателем другого шаблона. На основании закреплен поворотйый держатель подложки .с механизмом коррекции непараллельности поверхностей подложки и шаблона. Имеются также вакуумная система, микроскоп, верхний и нижний осветитель 2.В данном устройстве используются два крестовых стола, что приводит к значительной сложности конструкции, большому количеству органов управления. Цель и ,уструкции уд Рботы.Поставленная цель достигается тем,что устройство снабжено установленными на основании и расположенным вцентральном окне крестового столаполым столиком Фиксации одного изшаблонов, при этом держатель подложки установлен с воэможностью возвратно-поступательного перемещенияв плоскости, перпендикулярной к плоскости перемещения крестового стола.На приведенном чертеже изображеноустройство для двустороннегс совмещения шаблонов и экспонирования подложки, разрез,Устройство содержит основание 1, на котором расположены поворотный крестовый стол 2, подвижный 3 и неподвижный 4 осветители , столик фиксации 5, закрепленный на подвижном осветителе 3, микроскоп б, ме ханиэм коррекции 7, расположенный на основании 1, держатели 8 и 9, размещенные на крестовом столе 2 и имеющие воэможность независимого вертикаьного перемещений, шаблоны 10 и 10 11, подложку 12 и держатель 13 шаблона 10Устройство работает следующим образом.Фотошаблон 10 крепится вакУУмом 5 на держателе 13, установленном на механизме коррекции 7. Шаблон 11 устанавливается на .столик фиксации 5. Держатель 8 поднимается до контакта с шаблоном 11, Происходит включение вакуума на держателе 8, затем выключение вакуума на столике 5. Таким образом, шаблон 11 оказывается закрепленным на держателе 8. Далее держатель 8 йЬднимается до контакта25 шаблонов 10 и,11 и происходит их плоскопараллельное выравнивание и сов.- мещение шаблона 11 крестовым столом 2. Затем шаблон 11 опускается н;Р столик 5, происходит перефиксация вакуумом шаблона 11, с держателя 8 на столик 5, и .держатель 8 опускается ниже, поэтому шаблон 11 сохраняет свою ориентацию относительно шаблона 10. На держатель 9 устанавливается подложка 12, он поднимается до 35 контакта с.шаблоном 10, после чего подложка 12 ориентируется перемещением крестового стола 2. Далее держатель 8 подхватывает шадлон 11, е перефиксацией его вакуумом и приводйт 40 в контакт шаблон 11 с подложкой 12. Затем из рабочей зоны выводится микроскоп б, вводится подвижной осве.титель 3, и подложка экспонируется одноврейенно с двух сторон. Оба держателя опускаются, шаблон 11 фиксируется на столике 5, по-прежнему сохраняя ориентацию, а экспонированная подложка снимается с держателя 9.Такое выполнение устройства упрощает конструкцию за счет того, что отсутствует необходимость в дополнительном крестовом .столе и повьпаается удобство работы эа счет того, что операция совмещения шаблона и подложки производится одними и теми же органами управления.Формула изобретенияУстройство для двустороннегб совмещения шаблонов и экспонированияподложки, содержащее расположенныйс возможностью перемещения на основании крестовый стол с центральнымокном, держатели шаблонов, один иэкоторых связан с механизмом коррекции непараллельности рабочих поверхностей шаблонов, а другой установлен подвижно относительно крестовогостола, держатель подложки, два осветителя, установленный над механизмом коррекции непараллельности ра-.бочих поверхностей шаблонов микроскопи вакуумную систему, о т л и ч а ю -щ е ес я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения удобства работы, оно снабжено установленным на основании и расположенным вцентральном окне крестового столаполым столиком фиксации одного иэшаблонов, при этом держатель подложки установлен с возможностью возвратно-ноступательного перемещения в плоскорти, перпендикулярной плоскости перемещения крестового стола.Источники информации,принятые во внимание при экспертизеавторское свидетельство СССРВ 414142, кл, В 41 М 3/0, 1974.2. Патент ФРГ Р 225 б 739,кл. Н. 01 6 9/05, опублик. 1975Заказ 7013/63 Подписн ВНИИПИ о СССР д.4/5 О ППП "Патент" г.ужгород, ул.Проектная л Тираж 488 Государственног делам изобретени Москва, Ж, Ра комитета и открытиская наб.