Электродуговой испаритель металлов

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик сК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 12.12.80 (21) 3238016/18-21 151) М, Кп,з С 23 С 13/08 с присоединением заявки М Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытийДата опубликования описания 230882 И.Б.Анохин, С.В.Зимин, А.Д,Касихини В.Г.Соколов(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОИ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ Изобретение относится к вакуумноФ, технике и может быть использовано для получения различныхэлектропроводящих покрытий и тонких пленок. 5Известен электродуговой испаритель, предназначенный для нанесения покрытий, в котором поджиг дугового разряда осуществляется путем импульсного испарения проводящей пленки с поверхности изолятора, разделяющего поджигающий электрод и катод.1 .Недостатком указанного испарителя является низкий срок службы испарителя вследствие разрушения изолятора.15Наиболее близким к предлагаемому является электродуговой испаритель, содержащий катод, анод.в виде спира" ли, охватывающей катод, поджигающий электрод с изолятором, размещенным между поджигающим электродом и катодом 2 .Недостаток известного испарителя заключается в том, что катодные пятна дуги возникающие на границе25(изолятор-катод, не уводятся от нее, а перемещаются вдоль укаэанной границы под действием магнитного поля тока, протекающего по спиралям анода, приводя к разрушению изолятора, . ЗО чем сокращается срок службы .испари-теля.Цель изобретения - увеличение срока службы испарителя за счет уменьшения степени разрушения изолятора путем увода катодных пятен дуги от границы раздела изолятор-катод.Указанная цель достигается тем, что в электродуговом испарителе металлов, содержащем катод, анод в виде спирали, охватывающей катод, поджигающий электрод с изолятором, размещенным между поджигающим электродом и катодом, спираль анода выполнена конической, больший диаметр которой расположен в плоскости размещения поджигающего электрода.На чертеже схематично показан электродуговой испаритель.Испаритель состоит из распыляемого катода 1, анода, выполненного в виде спирали 2, охватывающей катод, поджигающего электрода 3 с ,изолятором 4, размещенным между поджигающим электродом 3 и катодом 1. Спираль анода 2 выполнена конической, причем больший диаметр конуса расположен в плоскости размещения поджигающего электрола 3.93004 Формула изобретения НИИПИ Заказ 6221/45 Тираж 1053 Подписное Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4 Испаритель работает следующим образом.После откачки технологического объема, в котором установлен испаритель, между анодом 2 и катодом 1 прикладывается напряжение 5 380 В, а между поджигающим электродом 3 и катодом 1 импульс тока напряжением 1000 В. Под действием этого импульса происходит испарение проводящей пленки, предварительно 10 нанесенной на поверхность керамического изслятора 4, и возникает вспомогателъная плазма, обеспечивающая поджиг дугового разряда между распыляемым., катодом 1 и анодом 2. 15При горении разряда под действием тока, протекающего по виткам спирального конического анода 2 создается магнитное поле, силовые линии которого образуют острый угол с бо козой поверхностью катода. Под действием этого поля катоднне пятна движутся по боковой поверхности катода в сторону острого угла, образованного силовыми линиями магнитного поля и поверхностью катода, т.е, в сторону от изолятора. При горении дугового разряда в микропятнах происходит распыление материала катода, который осаждатя на поерхноти конденсации и образует покрытие. Таким образом, предложенный электродуговой испаритель имеет достаточно высокий срок службы вследст" вие увеличения долговечности изолятора узла поджига разряда за счет увода катодных пятен от места их зарождения при поджиге. чЭлектродуговой испаритель металлов,содержащий катод, анод в виде спирали,охватывающей катод, поджигающийэлектрод с изолятором, размещенныммежду поджигающим электродом и катодом, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью увеличения срока службы испарителя путем уменьшения разрушения изолятора, спираль анода выполнена конической, больший диаметркоторой расположен в плоскости размещения поджигающего электрода.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Джилмаур мл., Локвуд. Импульсные генераторы металлическойплазмы. Труды института инженеровэлектроники и радиотехники, т.60,вып.8, с.65-80, 1972.2. Авторское. свидетельство СССРР 528386, кл. Г 04 В 37/02, 1975