Интерферометр для контроля формы плоских шлифованных поверхностей изделий

) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПЛОСКИ ИЛИФОВАННЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ИЗДЕЛИЙ Изобретение относится к контроль. но-измерительной технике, предназ 7начено для контроля формы плоских шлифованных поверхностей, и может быть использовано преимущественно в3 производстве занятом изготовлением оптических деталей.Известно устройство для контроля формы плоских шлифованных поверхностей, содержащее коллиматор и зрительную трубу 1 .Недостатком известного устройства является невозможность получения количественных данных о форме контролируемой поверхности,Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является интерферометр для контроля формы плоских шлифованных поверхностей изделий, содержащий осветительную систему, выполненную в виде установленных один за другим источника когерентного излучения и формирователя плоского волнового фронта, платформу, установленную свозможностью поворота вокруг оси,перпендикулярной оптической оси ос"ветительной системы, и предназначенную для размещения на ней изделия с возможностью ориентации егоконтролируемой поверхностью параллельно оси поворота платформы,плоское зеркало и регистратор интерференционной картины2.Недостатком известного интерфе"рометра является низкая точностьконтроляобусловленная невозмож"ностью плавного изменения угла паде"ния лучей на контролируемую поверх"ность, что не позволяет реализоватьмаксимальную чувствительность измерений в каждом конкретном случае, атакже эа счет изменения контрастаполучаемой интерференционной картины при изменении чувствительностиизмерений,Цель изобретения - повышение точности контроля.мым максимально возможнуе, для данной высоты минронеровностей Ьд, поверхности 9, чувствительность измерений. Для обеспечения максимально возможного контраста регистрируемой 5 интерференционной картины отражатель 5 поворачивают в такое положение, при котором интенсивность выходящего из него пучка лучей принимает значение, равное интенсивности зеркальной составляющей (изменение ин-, тенсивности происходит эа счет изменения коэффициентов отражения зеркал отражателя 5, обусловленного изменением углов падения на них пуч ка лучей при повороте отражателя 5).Предлагаемое устройство позволяет также оценить и среднюю высоту микронеровностей 1 Ср контролируемой 20 поверхности 9. Для этого пучок лучей, поступающий в отражатель 5, перекрывают непрозрачным экраном (экран показан пунктиром), а платФорму 7 поворачивают в положение,при 25 котором интенсивность. зеркальной составляющей близка к нуле, Затем измеряют угол 1 о падения пучка лучей на контролируемую поверхность 9, а величину средней высоты иикронеров ностей Ьср определяют по ФормулеСнабжение известного интерферо" метра светоделителем 3 и двухзеркаль. ным обратным отражателем 5 позволяет повысить точность контроля плоских шлифованных поверхностей изделий 40 за счет обеспечения максимально возможной, для данной высоты микроне- ровностей, чувствительности контроля и максимально высокого контраста регистрируемой интерференционной картины. Формула изобретенияИнтерферометр для контроля формыплоских шлифованных поверхностей изделий, содержащий осветительнуюсистему, выполненную в виде установ"ленных один за другим источника когерентного йэлучения и Формирователяплоского волнового фронта, ппатформу, установленнуюс возможностьюповорота вокруг оси, перпендикулярной оптической оси осветительнойсистемы, и предназначенную для размещения йа ней изделия с возможностью ориентации его контролируемойповерхностью параллельно оси поворо"та платформы, плоское зеркало ирегистратор интерференционной картины, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения точности контроля, он снабжен светоделителем,установленным за осветительной сис"темой так, что он делит выходящее изнее излучение на два пространствен"но-разнесенных пучка, и двухзеркальным обратным отражателем, размещенным в ходе лучей одного из пучковс возможностью поворота вокруг оси,параллельной его ребру и перпендику-,лярной оси этого пучка, плоское зеркало установлено на платформе параллельно оси ее поворота в ходе лучейдругого пучка с возможностью ориен"тации зеркала перпендикулярно контролируемой поверхности изделия, адвухзеркальный отражатель ориентирован так, что оба пучка поступают врегистратор интерференционной картины объединенными.Источники. информации,принятые во внимание при экспертизе1. Кривовяэ Л,М., Пуряев Д.ТЗнаменская М.А. Практика оптическойизмерительной лаборатории. М "Машиностроение", 1976, с. 78-80.2. Лрр 1, Ор 1. Чо 1. 17, И 5,1978, р. 740-743 прототип).