Устройство для контроля микросхем

Союз СоветскикСоциалистическихРеспублик ОП ИСАКИИ ИЗОБРЕТЕН ИЯ ОЙ:КОМУ :ИДе:Ю(23) Приоритет ло делам изабретеиий и открытий(72) Авторы изобретения В,А,Сокол, О,С,Катернога, и 71) Заявител нский радиот УСТРОЙСТ КОНТР РОСХЕИ Не ется его в производственном цикле, для нтегральныхдных интеми пассивтдельных пла контроля ги онтроля схем и дл гральных кретнь мпоне хем тами. длага и В ными и. акаибол е близким к прской сущности вляется у по технич троиство для контроля и подготовкивеличины сопротивления тонкопленочны еоскопи резисторов, содержащее ческий микроскоп, пред етныи столик, й парой зондо ный прибор, ьный прибор авляет собой н в зондовую гол и контрольноКонтрольн этого устрой цифровой вол дикатора кот изм измерителва предс троиства пический омощи и пр визу отивт я виэуальтокопроводя- контактные о считыв рого ео"нии. Ст пол ьз ов ются величины со п и скопическии микро визуального контр зондовых измеючен автома- динамических ов установки для микростереоскопических иваннй Г 23,схемы Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышленности и предназначено для зондового контроля электрических параметров .результатов и конденсаторов микросхем.Известно устройство для эондовых и измерений неразрезанной подложке динамических параметров интегральных схем, содержащая оптическую систему,тО предметный столик, механизм крепления зондовых и маркировочных головок, механизм щаговых перемещений и манипулятор. Оптическая система уставляет собой стереосккроскоп, используемый длного контроля установкищих эондовых головок наплощадки микросхем. Длярений к устройству подклтический прибор контролпараметров интегральной тком этого устройства явоэможность испольэовать86658 Недостатком известного устройстваявляется то, что затруднено наблюдениемикросхемы через микроскоп и одновременный визуальщай контроль величинысопротивления контролируемого резисто-ра этой микросхемы по индикатору контрольно-измерительного прибора, таккак индикатор и окуляры микроскопане находятся в поле зрения одновременно, что не обеспечивает необходимых 10эксплуатационных удобств.Цель изобретения - повьппение производительности,Эта цель достигается тем, что устройство для контроля микросхем, содержащее зондовую головку, стереоскопический микроскоп, предметный столики контрольно".измерительный прибор синдикатором, снабжено проекционными поворотным зеркалами и линзовой системой, причем проекционное зеркалоразмещено под углом в поле зрениямикроскопа, а поворотное зеркало -на оптической оси проекционного зеркала, линзовой системы и индикатораконтрольно-измерительного прибора,На фиг. 1 изображена схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 - изображение в поле зрения микроскопа,Устройство для контроля микросхем 30содержитпоследовательно установленные и оптически связанные стереоскопический микроскоп 1, проекционноезеркало 2, поворотное зеркало 3, линзовую систему 4, а также контрольноизмерительный прибор с индикатором355, помещенным в поле зрения линзовойсистемы 4, и предметный столик 6 сзондовой головкой 7, на котором крепится контролируемая микросхема 8,40Микроскоп 1 состоит из штатива сголовкой, скачкообразного переключателя увеличения, бинокулярнойстереоскопической насадки и осветителя. Зондовая головка 7 состоит иэдвух токопроводящих зондов, выполненных в виде игольчатых щупов.Проекционное зеркало 2 находится под объективом микроскопа 1, занимает часть поля зрения микроскопаи расположено под углом к плоскости Ыобъектива.Поворотное зеркало 3 установленона оптической оси проекционного зеркала 2, а линзовая система 4 распо"ложена на одной оптической оси с поворотным зеркалом 3 и индикатором 5,Вследствие переотражений от поворотного 3 и проекционного 2 зеркал 3 4изображение индикатора 5 попадает вполе зрения микроскопа 1. Одновременно в поле зрения микроскопа 1 находится предметный столик 6 с зондовой головкой 7, на котором расположена микросхема 8, Причем контрольно-измерительный прибор электрически соединен с зондовой головкой 7.Устройство работает следующим образом.Контролируемую микросхему 8 кладутна предметный столик 6. Устанавливают увеличение объектива микроскопа1 и фокусируют его на микросхему,Затем при помощи регулирования положения отражающей говерхности проекционного 2 и поворотного 3 зеркали линзовой системы 4 вводят в полезрения микроскопа 1 изображение ин-,дикатора 5 контрольно-измерительногоприбора 5, Для этого линзовой системой 4 проекцируют резкое изображениеиндикатора 5 контрольно-измерительного прибора на плоскость поворотного зеркала 3. Затем выполняют вводспроекцированного на плоскость поворотного зеркала 3 изображения вплоскость проекционного зеркала 2,для чего измеряют угол поворота плоскости поворотного зеркала 3, Проекционным зеркалом 2 определяют площадь зоны наблюдения индикатора 5,для чего изменяют угол поворота зЕркала 2, После ввода изображения индикатора 5 в поле зрения микроскопайачинают контролировать электрическиепараметры элементов микросхемы с помощью зондовой головки 7. При этомв поле зрения микроскопа одновременно находятся изображения зондов наконтактных площадках микросхемы ииндикатора 5 контрольно-измерительного прибора с информацией о электрическом параметре контролируемого элемента микросхемы,Расположение проекционного зеркалапод объективом микроскопа не мешаеткачественно проводить микростереоскопическое исследование и контроль микросхемы, а возможность одновременного наблюдения в поле зрения микроскопа контролируемой микросхемы сустановленными зондами и изображения,индикатора повышает удобство обслуживания и производительность работыоператора.Формула изобретенияУстройство для контроля микросхемсодержащее зондовую головку, стереог,7 Составитель Л,ПрокопенкоТехред И,Асталош ароши орректо едактор О.Черничен Подпис Тираж 787сударственного комитета СССРам изобретений и открытийосква, Ж, Раущская наб д,Заказ 8084/7 ИИПИ по 3035лиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 5 86658 скопический микроскоп, предметный столик и контрольно-измерительный прибор с индикатором, о т л и ч а ю щ е - е с я тем, что, с целью повышения проиЗводительности, оно снабжено проекционным и поворотным зеркалами и линзовой системой, причем проекционное зеркало размещено под углом в поле зрения микроскопа, а поворотное зеркало - на оптической оси проекцион 3 6ного зеркала, линзовой системы и индикатора контрольно-измерительного прибора. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1, Авторское свидетельство СССР Р 274232, кл. Н 011 2166, 1969,2. "Электроника", 1967, В 23; с. 86 (прототип.