Предметный столик электронного микроскопа
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
/г / ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИК ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА(57) Изобретение относится к технике электронной микроскопии. Цель изобретения -упрощение. конструкции и увеличение точности индикации положения каретки, Предметный столик содержит основание 1 сустановленными на нем обмоткой 3 и коллектором 4 потенциометрического преобразователя линейных перемещений, В крышку 5 установлена каретка 6 с пластинами 7, образующими движок 8 потенциометрического преобразователя линейных перемещений. Винт 9 и каретка 6 образуют винтовую пару. На каретке 6 закреплен металло- стеклянный столик 16 с металлической прямоугольной установочной плоскостью 17 и выводами 18. Предметный столик установлен с помощью жестких выводов 2 и 19 на жесткой печатной плате 20. При повороте головки винта 9 осуществляется линейное перемещение каретки 6 и вместе с ней и столика 16, при этом одновременно с потенциаметрического преобразователя считывается информация о величине линейного перемещения столика. При проведении измерений злектрофиэических характеристик исследуемый объект закрепляют под установочной плоскостью 17 посредством соединения выводов объекта с выводами 18 столика. Точность позиционирования образца по отношению к пучку электронов повышается за счет жесткого соединения каретки и столика, 2 ил,77Изобретение относится к технике электронной микроскопии и может использоваться для индикации положений скользящего столика в электронном микроскопе при проведении измерений электрофизических характеристик полупроводников, полупроводниковых приборов различного назначения и диэлектриков при воздействии электронных пучков,Цель изобретения - упрощение конструкции и увеличение точности индикации положения каретки за счет выполнения каретки заодно с движком потенциометрического преобразователя линейного перемещения, что позволяет исключить из конструкции механизм перемещения движка, который является дополнительным источником погрешности.На фиг.1 представлен предметный столик, продольный разрез; на фиг,2 - то же, поперечный разрез.Предметный столик содержит основание 1 с двумя парами жестких выводов 2, к которым присоединены концы обмотки 3 и выводы коллектора 4 потенциометрического преобразователя линейных перемещений столика.В металлическую крышку 5 установлена каретка 6 с двумя парами контактных пластинок 7, жестко соединенных между собой и образующих движок 8 потенциометрического преобразователя линейных перемещений. Удлиненной формы боковые и верхняя стенки крышки 5 являются прямо- линейными направляющими для каретки 6. В сквозное отверстие на боковой стенке крышки 5 продет винт 9 с кольцевой резиновой прокладкой 10, смазанной высоковакуумным маслом и установленной в канавке на головке 11 винта. Винт 9 завинчен в сквозное резьбовое отверстие на торце каретки 6 и установлен стержнем 12 в отверстие на другой боковой стенке крышки 5, В отверстие на верхней стенке крышки 5 вдоль второй канавки на головке 11 винта установлен штифт 13,В выполненные на торце каретки 6 два , сквозных отверстия продеты и соединены жестко с движком посредством аралдитной смолы два отрезка проволоки 14, четыре конца которых выведены через щель 15, выполненную на верхней стенке крышки 5, и изогнуты, На четырех концах проволоки установлен и соединен с ними посредством припоя металлостеклянный столик 16 с меФталлической прямоугольной установочной плоскостью 17, монолитной со столиком, и выводами 18, расположенными вдоль длинных сторон прямоугольной установочной плоскости 17 параллельно прямолинейным 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 направляющим каретки 6. Столик 16 подсоединен к одному из выводов 18 отрезком проволоки посредством припоя, Боковые стенки удлиненной формы крышки 5 снабжены двумя жесткими выводами 19, монолитными с крышкой. Основание 1 установлено в крышку 5, и они соединены между собой посредством аралдитной смолы так, что контактные пластинки 7 контактируют с витками обмотки 3 и коллектором 4. Преобразователь со столиком 16 установлен выводами 2 и 19 в отверстия на жесткой печатной плате 20, и выводы соединены с токовводами на плате посредством припоя.Столик работает следующим образом.При повороте головки 11 винта винт 9, заключенный между боковыми стенками крышки 5, штифтом 13 завинчивается в сквозном резьбовом отверстии на торце каретки 6 и перемещает столик 16 и движок 8 с двумя парами контактных пластинок 7. Прямолинейное перемещение контактов 7 по виткам обмотки 3 и по коллектору 4, а также столика 16 строго пропорционально изменению сопротивления преобразователя,При проведении измерений электрофизических характеристик исследуемый объект закрепляют над установочной плоскостью 17 посредством соединения выводов объекта с выводами 18 столика припоем, а противоположные концы выводов 18 подключают к задающей и измерительной радиоэлектронной аппаратуре, задают на прямоугольной двухкоординатной системе экрана монитора координаты посредством просмотра в оптический микроскоп исследуемого объекта, размещенного на установочной плоскости 17, и пятна от пучка электронов, падающего на объект перпендикулярно к установочной плоскости 17.Заземляют столик 16 и крышку 5 для отвода статического заряда при случайном попадании электронного пучка на столик 16, установочную плоскость 17 или крышку 5 и возникновении на них электрических токов и электрических полей, которые отклоняют электронный пучок, воздействующий на исследуемый объект, и являются источниками наводок, приводя к искажению результатов измерений.Предлагаемая конструкция столика позволяет повысить точность позиционирования образца по отношению к пучку электронов и автоматически зафиксировать координаты с помощью преобразователя линейных перемещений,Формула изобретения Предметный столик электронного микроскопа, содержащий основание, установ1636895 О 17 15 16 Составитель Д. Рау Техред М.Моргент едактор И. Горная орректор Т, Мал аказ 819 Тираж 320 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 ленную в нем на направляющих каретку, соединенную с держателем образца и движком потенциометрического преобразования линейныХ перемещений каретки, выполненным в виде прямолинейного каркаса с обмоткой, коллектора и контактных элементов, закрепленных на движке, и механизм перемещения каретки, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкции и увеличения точности индикации положения каретки, соединение каретки с движком выполнено жестким, а держатель 5 образца снабжен прямоугольной металлической установочной пластиной и двумя рядами электрических выводов, размещенных вдоль ее длинных сторон на изоляторах.
СмотретьЗаявка
4350218, 28.12.1987
ЕРЕВАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7636
АВАКЯН КАРЛЕН ВАГАНОВИЧ, АРУТЮНЯН ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, ГАСПАРЯН ФЕРДИНАНД ВАЗГЕНОВИЧ, МАРУКЯН ВАРТАН ШАГЕНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/20
Метки: микроскопа, предметный, столик, электронного
Опубликовано: 23.03.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1636895-predmetnyjj-stolik-ehlektronnogo-mikroskopa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Предметный столик электронного микроскопа</a>
Предыдущий патент: Рентгеновская трубка
Следующий патент: Газоразрядная лампа
Случайный патент: Соединение поршня со штоком