Способ изготовления и контроля много-витковой интегральной магнитной головки

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ИТИЛЬСТВУ и 838723(22) Заявлено 070979 (21) 2814962/18-10 с присоедииеиием заявки йф 0 11 В 5/42 Государственный комитет СССР но йеявм изобретений н открытий,2(088,8) Дата опубликования описания 15,06,81 О.В.Знаменский, В. Д,Половинкин и В.Д,Ходжаев(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И КОНТРОЛЯ МНОГОВИТКОВОЙ ИНТЕГРАЛЬНОЙ МАГНИТНОЙ ГОЛОВКИИзобретение относится к приборостроению, в частности к технике магнитной записи.Известен способ изготовления многовитковой интегральной магнитной головки, включающий последовательное нанесение на диэлектрическую магнитную пластину проводящих и изолирующих слоев и Формирование головки методом фототравления 1,1 ООднако из-за технологических трудностей число витков обмотки в такой головке невелико и это приводит к поювьыенны 4 токам записи и тяжелому тепловому режиму, 5Известен также способ изготовления и контроля многовитковых интегральных магнитных головок, включающий масочное напыление на подложку первого плоского полусердечника, витков обмотки и, вто рого профильного полусердечника, разделенных изолирующими слоями, шпифование до вскрытия рабочего зазора и контроль магнитных головок 121.Однако в процессе изготовления го ловки отсутствует контроль смещения витков обмотки, так как контроль качества магнитных головок проводится после вскрытия рабочего зазора, и это приводит к тому, что операции вскрытия рабочего зазора подвергаются как годные, так и бракованные магнитные головки.Цель изобретения - повышение качества и экономичности процесса изготовления многовитковых интегральных магнитных головок путем контроля смещения витков обмотки до вскрытия рабочего зазора,Поставленная цель достигается тем, что в способе изготовления многовитковой интегральной магнитной головки, включающем Формирование на подложке методом масочного напыления первого плоского полусердечника из магнитного материала, витков обмотки из проводящего материала и второго профильного полусердечника, разделенных изолирующими слоями, которые с первым витком обмотки образуют рабочий зазор и шлифование до вскрытия рабочего зазора, одновременно с. напылением первого витка обмотки, на подложке формируют внутреннюю технологическую шиту иэ проводящего материала, .затем при напылении последующих витков обмотки формируют наружную .технологическую шину, расположенную от внутренней на расстоя 838723нии, равном допуску на смещение витковобмотки, и определяют величину этогоСмещения витков обмотки головки визуально или путем измерения сопротивления между внутренней и наружной проводящими шинами,При масочном напылении точностьсовмещения масок составляет 5 мкм,поэтому из-за смещения витков обмоткиразмеры обмотки могут быть больше заданных на 10 мкм, что ухудшаеткачество многовитковых интегральных магнитных головок и даже приводитк браку. Задача определения и отбраковки негодных магнитных головок ипроведения вскрытия рабочего зазоратолько для качественных головок решается путем формированг: на подложке внутренней и наружной шини контроля с их помощью смещениявитков обмотки,На фиг, 1 изображена многовитко Овая интегральная магнитная головка,поперечное сечение на Фиг. 2 - частьмаски для напыления первого виткаобмотки с отверстием для напыленнв. утренней технологической шины, на д 5фиг. 3 - часть маски для напыленияпоследующих витков обмотки с отверс- .тием для напыления наружной шины,на фиг. 4 - часть подложки с напыленными на нее внутренней и наружной шинами, на фиг. 5 - 7 - возможные Формы выполнения внутренней инаружной шины.На подложку 1 напыляют плоскийполусердечник 2 и изолирующий слой 3,затем через маску 4 напыляют первыйвиток обмотки 5, который с изолирующими слоями 3 образует рабочийзазор, и одновременно с напылениемпервого витка обмотки через отверс,тие 6 на подложке Формируют внутреннюю технологическую шину 7, Послеэтого поочередно напыляют изолирующиеи проводящие слои, причем при напылении через маску 8 витков обмотки 9на подложке через отверстие 10 Формируют наружную технологическую шину11, состоящую из нескольких слоевпроводящего материала, а затем напыляют профильный полусердечник 2.Отверстия 6 и 10 в масках 4 и 8изготавливают таким образом,. чтобы при совмещении этих масок расстояниемежду отверстиями соответствовалодопуску.на смещение витков обмотки,Сформированные интегральные магнитные головки контролируют визуально или путем измерения сопротивлениямежду внутренней и наружной шинамии в случае обнаружения смещения наружной шины на расстояние, большечем У , дальнейшие операции изготовления для таких головок не проводят.Применение внутренней и наружнойпроводящих шин, сформированных наподложке в процессе напыления витковобмотки интегральной магнитной головки, позволяет получить значительнуюэкономию за счет того, что отбракованные головки не подвергаются трудоемкой операции шлифования,Формула изобретенияСпособ изготовления и контроля;многовитковой интегральной магнитнойголовки, включающий масочное напыление на подложку первого плоскогополусердечника, витков обмотки и второго профильного полусердечника, разделенных изолирующими слоями, шлифование до вскрытия рабочего зазора иконтроль магнитных головок, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения качества и экономичностипроцесса изготовления головок, наподложке одновременно с напылениемпервого витка обмотки формируют технологическую внутреннюю проводящую шину,затем при напылении последующих витковобмотки формируют наружную технологическую проводящую шину, расположеннуюот внутренней на расстоянии; равномудопуску на смещение витков обмотки,и определяют величину этого смещениявизуально или путем измерения сопротивления между внутренней и наружнымишинами,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Япониии Р 53-690,кл. 102 Е 502, 1978.2. Авторское свидетельство СССРР 662961, кл. 6 11 В 5/27, 06.12.76/74 Тираж 645 По ВНИИПИ ГосУдарственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/аз 446 дписно Филиал ППП "Патент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4