Корпус прибора

ОПИСАНИЕИ ЗОБРЕТЕ К,ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сфкзз СоветскихСоциаттистическ ихРесттубттим и 836708(22) Заявлено 27 03"76(21) 2593976/18-2с присоединением заявки Рй 2792651/21 151) М.Н 01(23) При ит но аннам изобретений н вткрытнй(72) Авторы изобретения Молча М 71) Заявитель(5 РНУС ПРИБОРА азг аемо на разр на полу ется иВчерез лучае кристалл ывест го над Цел1 о ить повырметинтроля г ние достоверн ии,остигаетс ус прибо иие нные Однако эт спечить надеждействии влаг изонованио и крышку ектродом, снабже ванным эл лтя Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано при производстве интегральных микросхем больших интегральных схем повышенной надежности с металлическими и диэлек 5 трическими герметичными корпусами,Известно полулроводниковое устройство с совмещенным разрядником, который имеет свой самостоятельный герме,тичный корпус, наполненный газовой смесью при определенном давлении, что обеспечивает низкое напряжение зажигания, которое ниже напряжения разрушения р-о перехода Я.Своими выводами разрядник подключен к зашишаемому р-о переходу и шун тирует ток от приложенного напряжения если оно выше определенного уровня, Это устройство гарантирует надежность приборов от воздействия импульсных нагру- зокф устройства не могут обеость приборов при возили агрессивных газов,которые могут воздействовать на полупроводниковый элемент в случае р ерметизации корпуса прибора.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является конструк ция корпуса прибора, содержащего основание и крышку с изолированным электродомНедостатком использования такой конструкции является то, что в этом ысокое напряжение, подядник, одновременно пода роводниковый кристалл, рабатывания 1.азрядника потечет ток, который прибор из строя или сн жность.ю изобретения я я это за счет того, чтосодержащий герметично,70 (прототип). 3нйтепьным электродом, закрепленным на крышке корпуса через изолятор и образующим совместно с изолированным электродом разрядник.На чертеже изображен корпус прибор аеОн состоит из металлического основания 1, металлической крышки 2, Внутри корпуса расположены два электрода 3 разрядника, которые проходят через диэлектрические изоляторы в крышке. Крышка 2 выполнена так, что обеспечивает герметизацию корпуса.Устройство работает следующим образом. К разряднику, образованному электро дами 3, находящемуся вместе с полу проводниковым кристаллом в общей полости, ограниченной корпусом, подают испытатепьное напряжение и фиксируют напряжение начала ионизации с помощью известной аппаратуры. Это значение напряжения сравнивается с первоначальным которое получается в процессе изготовпения и заносится в паспорт изделия. Огличие измеренного значения от паспортного более, чем на нормированную величину, за известный промежуток времени указывает на наличие течей и их величину. Можно показать, что если герметизации полупроводникового устройства с объемом 10"п в процессе производства производится в вакуумной камере с давпением 10 мм т. ст. и в нем находится раз - рядный промежуток, образованный системой эпектродов игла- плоскость с расстояния 0,5 мм, то время, в течение которого напряжение снизится до минимадййего значения, при различных натекаапЫнияй"Йосдз налуска в камеру атмосферы изменяется,в соответствии с таблицей,Из таблицы видим, что процесс контроля герметичности такого устройства может быть очень кратковременным, т.е. производительность контроля герметичности на стадии, изготовпения высокая, и что, самое главное, контроль является объе ктивным, так как разрядник находится в объеме вместе с активным эпементом и осуществляется контроль внутренней атмос феры. Кроме пого в процессе эксплуатации таких устройств всегда можно , проводить герметичность прямо. в аппаратуре. формула изобретенияКорпус прибора, содержащий герметично соединенные основание и крышку сОизолированным эпектродом, о т л и ч аи щ и й с я тем, что, с цепью повышения достоверности контроля герметизации, он снабжен дополнительным электродом, закрепленным на крышке корпусачерез изолятор и образующим совместнос изопированным электродом разрядник.Источники информациипринятые во внимание при экспертизеОЛ 1,Т. Ого еп "Рго 1 есМ 6 оп еяэепИаЕ аа;п еРету%1 рдъаР, Ч 31,М 3, 1976, рр. 30/31,836708 Гаврилова ешко оставительех ед Е. едактор Е. Гончар Т р Гаврил Корректор М. Шаро аказ 3124/40 Тираж писно ВНИИПИ Государ по делам изо 1.13035, Москва , 4/5784 Подственного комитета СССРбретений и открытий , Ж, Раушская наб., д илиал ППП "Патент, г. Ужгород ктнан,