Способ размерного травлениямеди

(51) М. Кл. С 23 Р 1/02 с присоелинением заявки Рй Государственный комитет СССР(23) П риоритет по делам иаооретений и открытий) Авторыизобретени Д. Обыг 71) Заявнтел 4) СПОСОБ РАЗМЕРНОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ Йод0 Калий йодис. - тый 3 Вода 1 створ звестных Недостаткамявляются примеровья.веществность воспроиз я з оение вредныхнедостаточед.ения элемотовлении о т нтов и обо то ражения при изг ных оптических тест-таблиц, ко дисков, так как лять контроль и лементов, новых и модулиневозможно ооцесса перехмедь из-за н и чесмойтся спои, вклю существода епрозрачНаибол, сущностисоб размечающий об еди в иодистую ости раствора е я - повышение то Цель изобре ности размеров Указанная ц что на первой в растворе,соддержлла д при нтов тадии:ем гало изобра Яется тем ь достиадни в разова т травлениемкстый калий следующ вес,ч.: щем Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к получению путем травления отверстий или рельефов заданных размеров на медьсодержащих материалах, нанесенных на изолирующие подложки, и может найти примененне при изготовлении шкал и сеток, модулирующих дис ков, кодовых дисков в электронной и оптико-механической промышленности Известны способы травления медио покрытия, нанесенного на подложкз изолирующего материала 1 и 21. е близким по техяи изобретению являе ного травления мед аботку поверхности водном растворе, с нид щелочного мета я галогенида меди, соотношении компон и в растворе аммиака для удаленияобразовавшегося галогенида меди 10203 3 183186 Т а б л и ц а 1 Раствор Ширина элемента, мкм эталона на копии 5 10 20 5 10 20 Пр едлагаемыйИзв ес тный 10,8-11,8 20,7-21,7 6 - 7 Таблица 2 Компоненты , г/л стальное до То же 3и сернокислую медь при следующем соотношешш компонентов, г/л:Бромистый калий 28-30Сер нокислая медь 60-65а на второй стадии в 10-157.-ном раст 5 воре тиосульфата натрия.Изготавливаются специальные штриховые эталоны с шириной штрихов 5,10 и 20 мкм. С помощью этих эталонов методом контактной фотолитографии воспроиз.10 водят иэображение штрихов фотореэистом ФПи осуществляют травление в известном и предлагаемом растворах, результаты которого приведены в табл.1,Из таблицы видно, что точность вос произведения изображения при применении способа изготовления с предлагаемым раствором выше, чем при ис - пользовании известного, на 6-20%.Кро - ме того, известный раствор для здоровья исполнителей безусловно более вреден, так как содержит йод и аммиак.Раствор, содержащий йод и йдистый калий, имеет коричневато-бурый цвет.При травлении конец полного перехода 4в меди в йодистую медь визуально невозможно определить контроль по времеви пе даст стабильных результатов все это и приводит к уменьшению точности при травлении.В процессе поиска оптимального количества бромистого калия и.серно - кислой меди, входящих в травящий раствор, быпи приготовлены растворы, состав которых приведен в табл .2,В табл. 3 приведены результаты испытаний растворов.Из табл. 3 видно, что растворы 1 и 2 являются оптимальными по составу, так как обеспечивают наиболее точное воспроизведение изображения и не разрушают во время травления фоторезистивный слой. Однако раствор 1 требует сравнительно большого времени травления.11 рименение предлагаемого способа обеспечивает повышение точности изготовления шкал и сеток по сравнению с известным на 6-203. 5,3-5,5 10,2-10,4 20,2-20,4 г-3 омистый калийрнокислая Формула изобретенияСпособ размерного травления мед например, при изготовлении шкал и сеток, включающий обработку повер ности в две стадии: в водном раст воре, содержащем галогенид щелочи го металла, и в растворе для удал образовавшегося галогенида меди, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что целью повышения точности размеров первой стадии берут раствор, соде жащий бромистый калий и сернокисл медь при следующем соотношении ко нентов, г/л: а на второй - 10-1сульфата натрия. створ ти Источники информациие во внимание при эвторское свидетельс9, кл. С 23 Г /02,ренков А, Б. Печатньменты радиоэлектронор Н. Швьщкая кола едак тор Тираж 1048 Подписенного комитета СССР ений и открытий35, Раушская наб д, 4/5т ктная, 4 Патент",ул, Пр го лиал Заказ 3319/35 ВНИИПИ Государс по делам изоб 1.13035, Москва, спер тизево СССР1972.е пленочой аппарс. 127.во СССР1974.