Патенты с меткой «травлениямеди»

Номер патента: 831864

Опубликовано: 23.05.1981

Авторы: Гурова, Луговской, Обыграйкин

МПК: C23F 1/02

Метки: размерного, травлениямеди

...калий 28-30Сер нокислая медь 60-65а на второй стадии в 10-157.-ном раст 5 воре тиосульфата натрия.Изготавливаются специальные штриховые эталоны с шириной штрихов 5,10 и 20 мкм. С помощью этих эталонов методом контактной фотолитографии воспроиз.10 водят иэображение штрихов фотореэистом ФПи осуществляют травление в известном и предлагаемом растворах, результаты которого приведены в табл.1,Из таблицы видно, что точность вос произведения изображения при применении способа изготовления с предлагаемым раствором выше, чем при ис - пользовании известного, на 6-20%.Кро - ме того, известный раствор для здоровья исполнителей безусловно более вреден, так как содержит йод и аммиак.Раствор, содержащий йод и йдистый калий, имеет...