Тонкопленочный резистор

Сфез Советских Соцмалмстичесних Раслублнк(22) Заявлено 020379 (21) 2733570/18-21с присоединением заявим Йо(23) ПриоритетОпубликовано 28,02,81. Бюллетень ЙЯ 8Дата опубликования описания 07. 03. 81 51)м, К . Н 01 С 7/06 Государственный комитет СССР яо делам изобретений н открытий(54) ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ РЕЗИСТОР Изобретение относится к области электронной техники, а именно, к тонкопленочным резисторам для интегральных микросхем, особенно терМостойких.Известны тонкопленочные резисто- ры, содержащие диэлектрическую подложку с расположенным на ее поверхности пленочным резистивным элементом в виде полосы, концы которого контактируют с пленочными выводами Т 1) .Однако такие резисторы быстро выходят из строя вследствие разрушения материалов резистивного элемента и выводов в зоне контакта, вызываемого процессами электромиграции и электродиффузии, скорость которых увеличивается в ростом плотности тока, протекающего через резистор а также при повышении рабочей температуры резистора, надежность и термостабильность таких резисторов невелика.Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является тонкопленочный резистор, содержащий диэлектрическую подложку с расположенным на ее поверхности пленочным резистивным элементом, имеющим расширение на одном из концов, контактирующих с соответствующими им поширине пленочными выводами Этот резистор рассчитан на работу на постоянном токе, поэтому расширение имеет только один (положительный) конецрезистора, причем это расширение может быть прямоугольной, треугольнойформы или в виде кругового сектора.Любой вид расширения снижает плот.ность тока в зоне контакта 2).Недостатком резистора являетсято, что упомянутые выше формы необеспечивают равномерного распределения плотности тока вдоль кромкивывода, которая граничит с расширением и является наиболее критичной частью резистора, В результате уменьшения интенсивности процессов электромиграции и электродиффуэии надежность20 и термостабильность известного резистора не достаточно высоки. увеличивая площадь расширения, можно добиться дальнейшего уменьшения скоростиразрушения материалов резистивногоэлемента и выводов в зоне контакта,однако это противоречит требованияммикроминиатюризации.Цель изобретения - повышение надежности и термостабильности резис 30 тора,809411 Формула изобретения фиа,1 Эта цель достигается тем, что в тонкопленочном резисторе, содержащем диэлектрическую подложку с размещенными на ее поверхности пленочным резистивным элементом с расширенными концами и пленочными выводами, кромка вывода, граничащая с расширенным концом выполнена в виде дуги эллипса большая ось которого перпендикулярна оси резистивного элемента. Кроме того, расширенный конец резистивного элемента в зоне контакта с выводом имеет утолщение.На фиг. 1 изображен пленочный резистор, общий вид; на фиг. 2 - вид сверху; на фиг. 3 - разрез А-А.Тонкопленочный резистор содержит диэлектрическую подложку 1, нанесенный на ее поверхность пленочный .резистивный элемент 2, пленочные выводы 3 с расширенными концами 4 резистивного элемента, кромка вывода, 20 граничащая с расширенным концом, имеет форму дуги эллипса 5, утолщение б резистивного элемента в зоне контакта 7.Если резистор рассчитан на рабо ту на постоянном токе, он имеет один расширенный (положительный) конец резистивного элемента, при работе на переменном токе расширенные оба конца резистивного элемента, контактирующие с соответствующими им по ширине пленочными выводами, Благодаря укаэанной конфигурации кромки вывода, полученной моделированием, достигается максимальная равномерность распределения плотности тока по кромке, за счет чего абсолютное значение плотности тока и на кромке, и в зоне контакта минимально при заданной площади расширения, Это позволяет беэ увеличения площади, занимаемой 40резистором на поверхности подложки, свести до минимума скорость процессов электромиграции и электродиффуэии,повышая надежность и термостабильность тонкопленочного резистора. Таккак толщина резистивного элементазначительно меньше толщины вывода,то утолщение расширенного конца резистивного элемента в зоне контактас выводом, замедляя разрушение материала элемента, служит той же цели.Использование предлагаемого пленочного резистора показывает, чтонадежность и стабильность его могутбыть повышены в 1,5-2 раза при одновременном увеличении рабочей температуры до предела термостойкости резистивного материала,1, Тонкопленочный резистор 1 содержащий диэлектрическую подложку с размещенными на ее поверхности пленочным резистивным элементом с расширенными концами и пленочными выводами, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности и термостабильности резистора, кромка вывода, граничащая с расширенным концом, выполнена в виде дуги эллипса, большая ось которого перпендикулярна оси резистивного элемента. 2. Тонкопленочный резистор по п.1,отличающийся тем, чторасширенный конец резистивного элемента в зоне контакта с выводом имеет утолщение.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Холлэнд Л. Пленочная микроэлектроника. М., "Мир", 19 б 8.2, Патент США Р 3629782, кл. 338308, 1971 (прототип),.КастелГ ви оленко едакто щф фщ щч акаэ 4 ев енного комитета етений и открыт -35, Раушскаи н Проек Соста К.Лембак Техред Ж ВНИИПИ Государст по делам иэ 9 б 113035, Москва, иал ППП "Патентг, г. Уагород,КорректоЙодписноСССРйб д, 4/5ай 4 Наэарова