Способ измерения шероховатостиповерхности

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советски кСоциалмсткческмкРеспублмк(22) Заявлено 04.04.7 9 (2 2746258/25-28с присоединением заявки Рй(53)М. Кл, О 01 В 7/34 Гоеударстеенный комитет Опубликовано 28,02.81,Бюллетень )те 8 по делам изобретений н отнрытнйДата опубликования описания 15,03,81(72) Автор изобретения Н. В. Татаринова Московский ордена Трудового Красного Знамени щженерно-. физический институт(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИИзобретение относится к контрольноизмерительной технике и может бытьиспользовано для измерения шероховатости поверхности при помощи электрических методов, например, для индикации рельефа изделий или формирующих пленок, для индикации рельефа поверхностей высоковольтных вакуумных установок типа инжекторов, ускорителей и т.п. в процессе их работы. Известен способ измерения параметров шероховатости, основанный на адсорбционном методе и позволяющий опоеделить полную плошадь шероховатостей поверхности, где используется явление адсорбции , аЦ молекул газа или ионов водорода, точно реагирующих на микрорельеф поверхности 11.Недостатком известного метода является применимость его к ограниченному30 числу металлов и явление анизотропии адсорбционных свойств по поверхности исследуемого лсеталла. Наиболее близким по технической сущ ности к предлагаемому является способ измерения шероховатости поверхности электропроводных изделий, заключающий - ся в том, что контролируемое изделие помешают и вакуумную камеру с измери- тельным электродом, который подключают к положительному полюсу источника пи - тания, а контролируемую поверхность - к отрицательному полюсу, измерительный электрод устанавливают над контролируемои поверхностью и по параметрам электрической цепи судят о шероховатости поверхности 2.Недостаток этого способа заключается в том, что с помощью него можно определить лишь номинальную плошадь и геометрические рельефы отдельных микро- неровностей.Цель изобретения - расширение функциональных возможностей.Шиь достигается тем, что перемещают измерительный электрод в вертикаль - ной плоскости относительно контроли8088 15 30 руемои поверхнос и, поддерживают постоянным автоэлектронный ток, измеряют зависимость напряженности поля от расстояния между измерительным электродом и контролируемой поверхностью, по которой судят о шероховатости контролируемои поверхности.На чертеже изображена зависимость напряженноеи Е поля от расстояниямежду контролируемои поверхностью и измерительным электродом.Сущность способа, заключается в следующем.Контролируемую поверхность поме - шают в вакуумную камеру и подключают к отрицательному полюсу источника питания, а измерительный электрод к положительному полюсу. При фиксированном положении контролируемой поверхности перемещают в вертикальной плоскости измерительный электрод и при разных значениях вакуумного промежутка 11 между измерительным электродом и контролируемой поверхностью измеряют напряженность Е внешнего поля, приЬчкотором обеспечйвается постоянство автоэлектронного тока 3 . По зависимости Е =1 Ь) при Дсудят о характереЬн соньюконтролируемой поверхности.На чертеже представлена зависимость напряженности Е поля от расстояния между контролируемой поверх - ностью и измерительным электродом при постоянном токе Л автоэлектронной эмиссии, где кривая Т соответствует наличию на контролируемой поверхности напыленного металла, который можно рассматривать как часто расположенные микровыступы. Кривая и соответствует наличию на контролируемой поверхности редко расположенных микровыступов.Таким образом, описанный способ позволяет .оценить состояние контроли 34 4руемой поверхности: наличие напыленного метадла или редко расположенныхвыступов, что особенно важно для прогнозирования вакуумной изоляции, а также для оценки качества поверхности послеразличных обработок. Фор мула изобретения Способ измерения шероховатости поверхности электроприводных изделий, заключающийся, в том, что контролируемую поверхность помещают в вакуумНую камеру с измерительным электродом, который подключают к положительному полюсу источника питания; а контролируемую поверхность - к отрицательному полюсу, измерительный электрод устанавливают над контролируемой поверхностью и по параметрам электрической цепи судят о шероховатости поверхности, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей, перемещают измерительный электрод в вертикальной плоскости относительно контролируемой поверхности, поддерживают постоянный автоэлектронный ток, измеряют зависимость напряженности поля от расстояния между измерительным электродом и контролируемой поверхностью, по которой судят о шероховатости контролируемой поверхности. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Грег С., Синг А. Адсорбция, удель -ная поверхность, пористость. М "Мир",197 О.2. Авторское свидетельство СССРМ 587319, кл. С.01 В 7/34, 1975808834 Ел х 10 у В/и 2 Ь,мн тавитель А. Елагинред М.Голик ка едактор Е, Лушнико Корректор Н. Баб аказ 391/4 653 Понного комитета СССРний и открытий35, Раушская наб., д. 4/5 Тираж ЗИИПИ Государстве по делам изобрете 13035 Москва, Ж дписн цял 1 "Патент", г, Ужгород, ул. Прое ная, 4