Устройство для обработки кристаллов

4 ОПИСАНЙЕ ИЗ ОБРЕТЕИЙЯ Союз Советских Социалистических Республик(2 Э) Приоритет -Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения Институт кристаллографии им. А.В.Шубникова АН СССР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ КРИСТАЛЛОВ Изобретение касается обработки кристаллов, а именно устройств для обработки кристаллов корунда.Известно устройство для обработки кристаллов, включающее корпус и кювету с травящим реагентом (1).Недостаток этого устройства заключается в том, что кристалл растворяется анизотропно, а это сни- жает точность обработки,. Наиболее близким техническимрешением к изобретению иэ известных.является устройство для обработкикристаллов, включающее корпус изакрепленные на нем держатель кри".сталла, кювету, геометрическаяформа которой соответствует геоме-.трической форме иэделия, и системуподачи травящего реагента в зонуобработки (2). Недостаток указанного устройства заключается в различной интенсивности травления отдельных участков кристалла, обусловленнойразличной скоростью удаления травящего реагента из зоны обработки,что снижает качество и производительность обработки,Целью изобретения является по-вышение качества и производитель-ности обработки кристаллов.Поставленная цель достигаетсятем, что устройство для обработкикристаллов, включающее корпус изакрепленные на нем держатель кристалла, кювету, геометрическаяформа которой соответствует геометрической форме иэделия, и систему подачи травящего реагента взону обработки, снабжено системойрегулируемых каналов для отводатравящего реагента из зоны обработки, причем кювета выполненав виде полого цилиндрического многогранника, а держатель кристаллаориентирован относительно кюветытак, что ребра кристалла расположены против граней кюветы. Для обработки внутренних поверхностей полых изделий устройство может бытьснабжено геометрически подобнымкювете стержнем, установленнымсоосно кювете так, что ребра стержня расположены против ребер кюветы.Такое выполнение устройстваобеспечивает равномерность обработ- ЗО ки раэличнык участков кристалла иФормула изобретения ЗО 40 тем самым повышает качество и производительность изготовления иэделий.из корунда.На фиг,1 изображено устройстводля обработки кристаллов, продольное сечение; на фиг.2 - то же,поперечное сечение.Устройство для обработки кри"сталлов содержит корпус 1 и закре-,пленную на нем кювету 2 в виде полого цилиндрического многогранника,Соосно кювете 2 на корпусе 1установлен стержень, геометрическая форма которого подобна геометрической форме кюветы 2.Кюветы 2,и стержень 3, выполйенные иэ графита, одинаково ориенированы друг относительно другаДержатель 4 кристалла установленна кювете 2,Держатель 4 и корпус 1 выполнены из молибдена.В кювете 2 выполнена система каналов 5, равномернорасположенных по высоте кюветы,.-:Вокруг кюветы 2 смонтированыподвижные экраны б, в которых выполнены сквозные отверстия 7,Подвижные экраны б с отверстиями 7 и каналы 5,кюветы 2 образуютсистему регулируемых канапов для отвода травящего реагента из зоныобработки,Работает устройство следующимобразом,Кристалл 8 устанавливЪвт вдержателе 4, который ориентируют относительно кюветы 2 так, чтобыребра кристалла 8 бьли расположеныпротив граней кюветы 2 (фиг.2) .Устройство помещйот в реакцион-ную камеру, снабженную системойподачи травящего реагента (не показано) .В результате термохимическоготравления пройсходит растворениедефектного поверхностного"слоя;кристалла.Перемещая подвижные экраны ботносительно кюветы 2, управляют интенсивностьютравления путем полного или частичного перекрывания отверстий 7 и каналов 5.Изменение скорости отвода травящего реагента иэ эоны обработки и ориентация кристалла 8 относительно кюветы 2 обеспечивают равномерность обработки различных участков кристалла 8,1. Устройстводля обработки кристаллов преимущественно корунда, включающее корпус и закрепленные на щеке держатель кристалла, кювету, геометрическая формакоторой соответствует геометрической. форме изделия, и систему подачи травящего реагента в зону обработки, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышечия качества и производительности обработки, оно снабжено системой регулируемых каналов для отвода травящего реагента из эоны обработки, причем кювета выполнена в виде полого цилиндрического многогранника, а держатель кристалла ориентирован относительно кюветы так, что ребра кристалла расположены против граней кюветы.2. Устройство для обработки крйсталлов по п.1 о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повы- шения качества обработки внутренних поверхностей полых изделий из кристаллов, оно снабжено геометрйчески подобным кювете стержнем, установленным соосно кювете так, что ребра стержня расположены против ребер кюветы Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР У 358287, кл, С 03 С 25/06, 1971; 2. Авторское свидетельство СССР. Р 286163, кл. С 03 С 23/00, 1969.725887 7 ь В.Холопигай СоставитеТехред С.М Тираж 63 ственного обретенийЖ, Р в 571/12 ЦНИИПИ Госуда по делам и 113035, Москв