Электронный микроскоп-микроанализатор

Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлен аявки М -присоединени Государственный коми 23) Приоритет -43) Опубликовано 15.08,77. вета Министров ССС ам изобретений и открытий(088.8) летень М по дел описания 02.01.7ной диафрагмы, а друг в виде цилиндра и эл от корпуса и соединен точником питания, сто.5 тодержателем помещен ного от корпуса элек окончанием изолирова сительно стенок верхнег наконечника объектив объектодержателя расп мой, помещенной над н люсного наконечника ц нен с корисом. ои электрод выполнен ектрическц изолирован с высоковольтным исчик объектов с объеквнутри изолировантрода ц экранировац нного электрода отноо башмака полюсного ной линзы, а конец оложен над диафрагижним башмаком поэлектрически соедиИзобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано для проведения химического микроанализа тонких объектов.Известен электронный микроскоп просвечивающего типа, предусматривающий возможность рентгеновского микроанализа исследуемого объекта 11.Ближайшим техническим решением к предлагаемому изобретению является микроскоп, содержащий осветительную электронно-оптическую систему, столик с объектодержателем, спектрометрическую систему и объективную электромагнитную линзу, заключенные в металлический корпус 12, Недостатками такого микроскопа являются низкая чувствительность, низкое спектральное разрешение рентгеновского микроанализа легких элементов, высокий фон тормозного излучения, невозможность проведения микроанализа с помощью Оже-электронов.Для повышения чувствительности, спектрального разрешения и уменьшения фона тормозного излучения рентгеновского микроанализа, а также обеспечения микроанализа с помощью Оже-электронов в предлагаемом электронном микроскопе-микроанализаторе в камере объектов перед объективной линзой расположена электростатическая линза, один электрод которой выполнен в виде заземлен 15 На чертеже показана констрчсция предлагаемого устройства, гле 1 - электроннозонловая система, 2 - камера объектов, 3 - замедляющая электростатическая линза-конденсор, 4 - верхний заземленный электрол 20 липзы-конденсора, б - нижний изолированный высоковольтный электрод линзы-конденсора, б - столик объектов, 7 - исследуемый объект, 8 - поток вторичных излучений (характеристические рентгеновские лучи, 25 Оже-электроны), 9 - спектрометрцческаясистема, 10 - вакулный провод (канал), 11 - полюсный наконечник объективной электромагнитной линзы 12, 13 - заземленная выравнивающая диафрагма, 14 - высо- ЗО ковольтный герметизцрозанный ввод, 15 -высоковольтный источник напряжения, 1 б - изолятор,Устройство работает следующим ооразом. Созданный осветительной системой 1 тонкий электронный луч (на чертеже он совпадает с осевой линией) проходит внутри камеры объектов двухэлектродную замедляющую электоостатическую линзу-конденсор 3, на замедляющий электрод 5 которой подается тормозящий отрицательный относительно корпуса прибора потенциал, Величина этого потенциала такова, что электроны освещающего пучка бомбардируют объект с нужной для исследования энергией, причем энергия, соответствующая нижнему пределу ускоряющего напряжения электронной пушки микроскопа, всегда ее превышает. При бомбардировке объекта электронами с энергией менее 20 - 25 КэВ осуществляется оптимальный по чувствительности и спектральному разрешению режим возбуждения и регистрации характеристического излучения у легких элементов, а также режим Оже-электронной спектрометрии, Медленные электроны ооеспечпвают необходимое для химического анализа вторичное излучение из объекта, проходят сквозь нсго и ускоряются до первоначальной скорости выравнивающей заземленной диафрагмой 13. В формирующее и увеличивающее поле, создаваемое полюсным наконечником 11 объективной линзы 12, и во все последующие линзы электронный поток входит с первоначальной скоростью, соответствующей номинальному ускоряющему напряжению, ничем не нарушая нормальной работы всей электпонной оптики электронного микроскопа просвечивающего типа. Узкая цилиндрическая часть замедляющего электрода 5 оканчивается вровень с торцом объектодержателя и закреплена аксиально-симметрично в верхнем башмаке полюсного наконечника 11. Эта неподвижная изолированная часть электрода 5 экранирует от стенок канала наконечника 11 патрончик (объектодерж атель), который в процессе перемещения объекта 7 при исследовании может быть установлен неосесимметрично и исключает искажения формы электростатического поля у оси микроскопа, Для увеличения интенсивности вторичных излучений 8 в направлении зазора между баш- Б маками полюсного наконечника 11, т. е. вакуумного канала, ведущего в спектрометрическую систему 9, объект 7 устанавливают наклонно.0 Формула изобретенияЭлектронный микроскоп-микроанализатор,содержащий осветительную электронно-оптическую систему, столик с объектодержателем, 15 спектрометрическую систему и объективнуюэлектромагнитную линзу, заключенные в металлический корпус, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности, спектрального разрешения и уменьшения фо на тормозного излучения рентгеновского мнкроанализа, а также ооеспечения микроаналпза с помощью Оже-электронов, в камере объектов перед объективной линзой расположена электростатическая линза, один элект 2 б род которой выполнен в виде заземленнойдиафрагмы, а другой электрод выполнен в виде цилиндра и электрически изолирован от корпуса и соединен с высоковольтным источником питания, столик объектов с объектоЗ 0 держателем помещен внутри изолированногоот корпуса электрода и экранирован окончанием изолированного электрода относительно стенок верхнего башмака полюсного наконечника объективной линзы, а конец объектодержателя расположен над диафрагмой, помещенной над нижним башмаком полюсного,наконечника, и электрически соединен с корпусом,40 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Хокс П, Электронная оптика и электронная микроскопия, Мир, М., 1974, с. 246.2. ТЬе апа 1 уНса 1 е 1 ес 1 гоп ппсгозсоре 45 ЕММА, проспект фирмы АЕ 1 ЯсепЯсАррага 1 цз 1.Ы, Великобритания, 1973.56898 э 7 Шубн Редакт Тираж 995 Совета Минист открытий наб., д, 4/5Заказ 681/17 ПодписноеР ИПИ Т оставитель А. Сувор Техред М. Семенов Изд.676 осударственного комитета по делам изобретений и Москва, Ж.35, Раушская