Объективная линза электронного микроскопа

)5 Н 01 1 37/1 СВИДЕТЕЛЬСТВУ АВТОРС 1+ 20Н.М. Мосеева88,8)М 2130526,публик. 1976,детельство ССС1 1 37/26, 1971.Я ЛИНЗА.ЭЛЕКТ Н ек- ватносится к техни стройств для фор ий объектов, тся повышение р объективной лин скопа путем сн рейфа. Объектив агнитопровода с ыми наконечник ке эл миро Цел азреш зыэл ижен ная ли нижн ами,нОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(21) 4631303/21 (22) 04,01,89 (46) 30,05.91. Бюл. (72) В.В. Мосеев и (53) 621.385,833(0 (56) Патент ФРГ кл, Н 01 3 37/20, оАвторское сви 1 Ф 395926, кл, Н 0 (54) ОБЪЕКТИВНА ГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение о гронно-зондовых у ния изображен изобретения являе ющей способности гронного микро вибрации и термод юа имеет корпус м и верхним полюсн Изобретение относится к технике электронноо-зондовых устройств для формирования и наблюдения изображения объектов; вчастности к конструкции объективной линзы электронного микроскопа,Целью изобретения является повышение разрешающей способности за счет снижения влияния вибрации и уменьшениевлияния термодрейфа,На фиг. 1 показана линза, продольныйразрез; на фиг, 2 - разрез А - А на фиг. 1,Объективная линза содержит магнитопровод 1 с нижним 2 и верхним 3 полюсными наконечниками, основание 4 каретки 5столика объектов с объектодержателем 6,два расположенных во взаимно перпендикулярных плоскостях Г-образных рычага 7,первые упоры вертикальных плеч которых,нование каретки столика объектов с обьектодержателем, два расположенных во взаимно перпендикулярных плоскостях Г-образных рычага, взаимодействующих с микровинтами, и катушку возбуждения. Основание каретки жестко закреплено на нижнем полюсном наконечнике и отделено зазорами от других частей линзы, Первые упоры вертикальных плеч рычагов шарнирно связаны с кареткой столика обьектов, а вторые упоры - с основанием, Между микровинтами и горизонтальными плечами рычагов введены дополнительные опоры качения, Расстояния от оси линзы до центров шарниров упоров вертикальных плеч рычагов одинаковы, а основание, каретка, объектодержатель и рычаги выполнены из материалов с одинаковыми коэффициента- И ми температурного расширения. 1 з,п. ф-лы, 2 ил. связаны при помощи шарниров 8 с кареткой 5, а вторые упоры при помощи шарниров (П 8- с основанием 4 кареки 5, которое хест- (Д ко соединено с нижним полюсным наконеч-ником 2, Рычаги 7 приводятся в движение Я микровинтами 9, В корпусе магнитопровода у 1 установлены катушки 10 возбуждения, Горизонтальные плечи Г-образных рычагов 7 через опоры 11 качения опираются на микровинты 9, Торец и нижняя плоскость основания 4 каретки 5 отделены зазорами 12 и 13 от внутренней стенки корпуса магнитопровода 1 и катушки 10 возбуждения. Каретка 5 установлена на опоры 14 скольжения, Пружина 15 прижимает рычаги 7 через опору 11 качения к микровинтам 9. Пружина 16 (фиг. 2) прижимает каретку 5 столика к рычагам 7. Расстояния Кк и 80 от оси магнито 1653025провода 1 до центров шарниров 8 по каретке 5 и по основанию 4 соответственно одинаковы, Основание 4 каретка 5 столика объектов, объектодержатель 6 и Г-образные рычаги 7 выполнены иэ материалов с одинаковым коэффициентом температурного расширения, например иэ бериллиевой бронзы, титана и других немагнитных металлов или сплавов,Объективная линза функционирует следующим образом,При вращении одного из микровинтов 9 он упирается через опору 11 качения в свободный конец горизонтального плеча рычага 7, перемещаемого в вертикальном направлении, поворачивая весь рычаг 7 вокруг шарнира 8, установленного на основании 4 столика объектов, При этом вертикальное плечо рычага 7 через второй шарнир 8 смещает каретку 5 столика объектов в горизонтальном нгправлени. Пружина 15 обеспечивает постоянное безлюфтовое прижатие рычага 7 через опору 11 качения к микровинту 9. Пружина 16 прижимает каретку5 к рычагам 7 и обеспечивает безлюфтовый ход каретки 5 вслед эа ходом рычагов 7,Размещение шарниров 8 на осг-овании 4 столика объектов и введение опор 11 качения между рычагом 7 и микровинтом 9 обеспечивает практически полную м ханическую развязку каретки 5 в горизонтальном направлении от смещения микровинтов 9 из-эа деформаций и термического расширения корпуса магнитопровода 1 благодаря свободному перекатыванию рычагов 7 на опорах 11 качения по торцам микровинтов 9,При вибрациях происходит изгиб внешних стенок магнитопровода объективной линзы и смещение относительно центральной недеформируемой части линзы, на которой размещен нижний полюсны й наконечник. Перенос точек опор рычагов 7 с внешнего магнитопровода в точку В (фиг, 2) на специально введенное основание 4, связанное непосредственно только с полюсным наконечником 2, а также введение перекатывающейся в горизонтальном направлении шаровой опоры между рычагом 7 и микровинтом 9 практически полностью устраняет передачу движения от магнитопровода к объектодержателю, Ос нование 4 не должно касаться других частей линзы и специально отделено от них зазорами, При равенстве расстояний В=В(фиг.1) от оси линзы до центров шарниров 8 пер вого и второго упоров вертикальных плеч рычагов и выполнении основания каретки,объектодержателя и рычагов из материалов с.одинаковым коэффициентом температурного расширения дополнительно обеспечивается компенсация термодрейфа,Это обусловлено тем, что температурные изменения размеров каретки и основания происходят в одном направлении, а центры их остаются неподвижными друг относительнодруга,При этом основание должно быть жестко связано по периметру с нижним полюс- . ным наконечником 2, так как в противном случае из-за их различного теплового расширения возникает неконтролируемый термодрейф. формул а изобретения 1. Объективная линза электронно, о микроскопа, содержащая корпус магнитопровода с нижним и верхним полюсными наконечниками, основание каретки столика объектов с объектодержателем, два расположенных во взаимно перпендикулярных связаны с кареткой, взаимодействующие с горизонтальными плечами рычагов микро- винты и катушку возбуждения, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности за счет снижения влияния вибрации, между микровинтами и горизонтальными плечами рычагов введены опоры качения, при атом вторые упоры вертикальных плеч рычагов шарнирно связаны с основанием каретки, которое жестко соединено с нижним полюсным наконечником и отделено зазорами от корпуса магнитопровода и катушки возбуждения,2. Линза по и. 1, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью уменьшения влияния термодрейфа, расстояния от оси линзы до центров шарниров первого и второго упоров вертикальных плеч рычагов одинаковы, а основание, каретка столика объектов, объектодержатель и рычаги выполнены иэ материалов с одинаковым коэффициентом температурного расширения,50 ЗО плоскостях Г-образных рычага, первые упоры вертикальных плеч которых шарнирно1653025 Фиг,2 Составитель В,ГаврюшинТехред М.Моргентал Корректор О.Кравцова Редактор А.Лежнина Заказ 1775 Тираж 325 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101