Устройство для изготовления интерференционных фильтров

ОПИСАНИ ИЗОБРЕТЕН И сове Севетсиик ециавистичес Реоиублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ полнительное к авт. свид-ву 2) Заявлено 04,05.73 (21) 1913433/18 присоединением заявкиГосударственныи комите Совета Министров СССР(23) ПриоритетОпубликовано 30.04,76. Бюллетень16Дата опубликования описания 21,06,76 елам изобретен и открытий Авторыизобретения аврище 1) Заявител 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ФИЛЬТРОВдиска 5 шестерниеподвижным шесте чего подложки 1ое вращение вокруга 17. танавливают передконтрольный узк При вращении 25 катываются по н 22, в результате шают планетарн ряемого веществ После этого у 0 емником 159 и 4 обням 21 и 2 совероси испафотопр- иполосны Изобретение относится к области изготовления многослойных оптических покрытий.Известны устройства для изготовления интерференционных фильтров, содержащие вакуумную камеру и установленные в ней подложкодержатель, выполненный в виде диска, несущего на себе несколько концентрических рядов оптических подложек, совершающих планетарное вращение, источник испаряемых веществ и фотометр со сменными фильтрами и с приемным устройством.Однако известные устройства не позволяют контролировать с большой точностью толщину наносимых слоев каждого ряда подложек.Для контроля толщины наносимых слоев каждого ряда подложек и повышения точности контроля перед подложками установлены экранирующие лепестки, кинем атически связанные с приводным механизмом, а приемное устройство фотометра установлено в направляющих с возможностью перемещения и фиксирования в точках, расположенных против каждого ряда подложек.На чертеже представлена конструкция устройства для изготовления интерференционных фильтров.Устройство содержиложкодержатель 3, ш5 с концентрическимистерню 6, экранирую т подложки 1 и 2, подестерню-оправу 4, диск рядами отверстий, шещий лепесток 7, испаряеВ. Дюбайло и В. А. Генди мое вещество 8 с низким показателем преломления, испаритель 9, вращающийся ввод 10,приемное устройство 11 фотометра, кассету12, контрольные узкополосные фильтры 13 и14, фотоприемник 15, ввод 16 вращения в вакуум, испаряемое вещество 17 с высоким показателем преломления, шестерни 18 и 19,лампы 20 накаливания, неподвижные шестерни 21 и 22 и фиксатор 23,10 Работает устройство следующим образом,После зарядки подложек 1 и 2 в подложкодержатели 3 и шестерни 4, а испаряемых веществ в испаритель 9 вакуумная камера, вкоторой находится устройство, откачивается15 вакуумными насосами до давления 10 -ммрт. ст. Приемное устройство фотометра устанавливается в положение, при котором контролируется толщина пленок, наносимых наподложки 1, а экранирующие лепестки 7 от.20 водятся внутрь, открывая эти подложки. Далеевключается двигатель, приводящий через ввод16 и систему шестерен 6, 18 во вращениедиск 5.фильтр 14 на длину волны Хь включают лампы накаливания и ведут измерение коэффициента пропускания подложек 1 в процессе испарения вещества 17 с высоким показателем преломления (например Хп 5). По мере роста толщины пленки коэффициент пропускания уменьшается и достигает минимального значения при оптической толщине пленки па = = Х/4. В этот момент подложки 1 перекрывают экранирующими лепестками 7 и выключают испаритель вещества 17. Далее приемное устройство фотометра устанавливают в положение, при котором ведется контроль толщины пленок, наносимых на подложки 2. Включается испаритель 9, и на подложки 2 наносят дополнительный слой вещества до тех пор, пока оптическая толщина пленки не станет равной Х/4,Аналогично осуществляют напыление на подложки 1 и 2 пленки вещества 8 с низким показателем преломления, предварительно установив его с помощью вращающегося ввода 10 на оси вращения диска 5.Формула изобретения 5 Устройство для изготовления интерференцпонных фильтров, содержащее вакуумную камеру и установленные в ней подложкодержатель, выполненный в виде диска, несущего на себе несколько концентрических рядов оп тических подложек, совершающих планетарное вращение, источник испаряемых веществ и фотометр со сменными контрольными фильтрами и с приемным устройством, о тл и ч аю щ е е с я тем, что, с целью контроля толщи ны наносимых слоев каждого ряда подложеки повышения точности контроля, перед подложками установлены экранирующие лепестки. кинематически связанные с приводным механизмом, а приемное устройство фотомет ра установлено в направляющих с возможностью перемещения и фиксирования в точках, расположенных против каждого ряда подложек.512447 го -Составитель В. БелоусовТ, Рыбалова Техред А. Камышникова Корректор О. Тюрина Реда ПодписноеСССР пография, пр. Сапунова Заказ 1357/8 Изд. М 1365 ЦНИИПИ Государственного по делам изоб 113035, Москва, Ж.