Патенты с меткой «165629»

Номер патента: 165629

Опубликовано: 01.01.1964

МПК: C23C 14/14

Метки: 165629

...подложки располагают в кассете вертикально по внутренней поверхности вращающегося вокруг испарителя цилиндра. Количество пленок завиит от размеров вакуумного колпака, под коорым происходит напыление, и размеров подожек.На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.Испарение производится с вольфрамовой проволоки 1, изогнутой в виде двойной змейки, концы которой крепятся в контактных зажимах 2, подвешенных на стойках токовых вводов. Кассета 3 выполнена в виде торроида, на внутренней поверхности которого выфрезерованы гнезда для подложек. Подложки экранируются масками 4, соответствующими требуемой форме пленок. Для подогрева подложек в корпусе кассеты помещена молибденовая спираль 5, ток к которой подводится через контактную...