Способ изготовления оптической дифракционной решетки

(11) 485 6 О 7 ОП ЬСАНИЕ ЙЗОБРЕТЕН ИЯ Социалисти 1 тесиа Республик(22) Заявлен Кл,2 о 5/1 2) Заявлецо 2 осударстаенный кометеСовета Министров СССРпо делам изобретенийи отнрьтий 33) ФРГ43) Опубликоьано 25.09. 75 Бюлл 3) УДК 535 (08 ень Ъ 3 45) Дата опубтисования описания 25,11.75 1 н остр ап 2) Авторы изобретения Ох с:ЕС ХСт 7 цсэ 1 Хай 1, Х(71) Заявител Г. 111 маль Д. Рудольф 74) С 1 ОСОВ 113 ОТС 1 Ь 11,11 Я 01111 ь 1 ЕС 1(ОЙ ИФРАКЦИОННОЙ17 Е 111-.,"ГКИ системы полос, находя пэрядк сежду е.ца В ЗасИ ки. 1 ср рецциэ ЭСН ЭВсобой В о ции целых чисел, при истем устанавливают ",ннэго профиля решет ю систему ицтерфечают на отдельных ноше зы с 7 Д ЬЬ 1 м эсти От зад ме того, кажду цых полос нолт плоских фотооригицалах, чател зкспонируот фотопласП 1= 20Изэсбротоцие Отэс.итси 7 .71 те г-лОх 1-нической ц 1 ээ лицЛезин эс 1 1 лОмсс.т 17 ытьИСПОПса Э 1 ан 77,115 11:7 ГОТ:7 ВЛЭЦ 1757 7 О 1.О Ы ХД 1 С 17 РЯКЦИ ЭЦ 17 Х 70 77 ЕТ ОК С ИОЭЭЦ .с Э .7 Э 1; 1:Р СЛфИЛ 51.Известен способ 1 згэтэз 11 ця; пти;с:.скойдифракционцэй р.Истаи с реИз 1.17 ьл прэфиЛЕЛ 1, иС.Н,)1 Зс 117 ЫИ цс - С.1,г,О 11Э 7 ОП.,71 т. -нь с цоследуюцшм вымыванием цезксиэНнрОВаННЫХ уЧаСТКОВ 117 отОСЛОс, В КОтОрОМфотопластипу переменают пэ определенному закону относительно системы световЛхполос, процкасцих на нее чере;з нелноригинала,Недостаток этого способа состоит Внизкои точисти Вэспроизвезе 1 я фэрлшпрофиля из-за конечной ширшы шали эргинала и погрешностей пе 7 оле 7 ец 51,Цель изобретения - вос 7 энсведениефиля рельефа с садацсЙ точгостью.Цель достигается за с ет того, чтэфотэпласт 1 пу экспоги 17 у 1 ОТ сеис.й сОсу 7 с-"ших Одча за д 1)уОй систел 1 11 тесре 1 Ии 1 -ИЫХ ПОЛОС, ПОСЛЕДОВсТЕЫЫЕ 1 ВСГО 7 7 К 7 Лрых, соответственно а 1 мэцка, Высшх 2 промежуточныхроз которые зтину.На фиг. 1 дана схема устройства пляполучешя интерферецционных полос измецяелой пространственной частоты; на фиг.2 изображена серия систел интерференццэнньх полос; ца фиг. 3 представленадифракциоцпая решетка с треугольнымпрофилем.Устройство (фиг, 1 ) содержит лазеный источник света 1, линзу 2, диафрагму 3, шизу 4, а также два зеркала: полупрэзрачное 5 и отражаюнее Ь, Пучки7 и 8 света отражаются на фотопластину9 с фотослоем, ца который экспонируютсяинторферениоцсые полось 1,1: я изгэтозлешщ Опттческой дифракциэш 7 ой решетки с рельефным профилем, 485607например, треугольной формы (фиг, 3)экспонируют фотопластину 9 последовательно серией интерференционных полоспространственные частоты которых соответственно гармоникам высших порядков(фиг, 2 б, в и г) основной системы полосфиГ. 2 а находятся между собой в отношении целых чисел. Частота полос зависитот угла между пучками света 7 и 8, ко торый устанавливают поворотом зеркал 5 . 10или 6. Начальные фазы каждой системыт.е. положение полос относительно фотоплестины 9, устанавливают в зависимости от за-,данного профиля ре 1 цетки. Фотопластину 9экспонируют так, чтобы суммарный свето-"вой поток облучения соответствовал оптической плотности ,почернения в пределах, линейного участка характеристической кр".-.вой фотослоя. Затем в процессе проВ:енияна фотопластине удаляют неэкспонирэвацные 20участки фотослоя, получая заданпый профиль (фиг, 3),С помощью устройства (фиг. 1 ) можетбыть получена серия интерференциоциыхполос (фиг, 2), каждая-на отдельных промежуточцых плоских фотоори иналах., ерозкоторые затем экспонируот фэтонластину9, причем форма профиля зависит эт аза 1 х.-.ного расположения каждэго фотооригиц,Иаотносительно фотопластины Э, 30 Точность воспроизведеция формы профиля определяется числом систем интсрференционньх полос (фиг. 2) в серии; чем их боль це, тем 5 ыше точность,Предмет из обретени я1, Способ изготовления Оптическойдифракционцой решетки с рельефным профилем Основанный Иа эксОзици фэтоп 5 астины с посх 1 одуюшим ВымыВаиием неэксноци-ф ровэн 1 ых участков фэтослоя, О т л и ч а юи и й с я тем, что, с целью воспроизведения Офиия реп 1-,ефе с задешой точностью, фоОьстину экспоиирук т серией сионуО- ш 1 х эдн са д р ъО 1 сис тел ицте к 1 ерепи Онш 1 х ноюс носие 1 О 155 теИные .рострацст ВЕ 1 НЫО ИСТОЬ КСЛ ОРЫХ, СЭЭ 1 ВЕСТ 15 О 1 Н 1 Э 1 йрмОцикам ль 1 с.Нх эО 51 к О 15 Основной сис темы ООс цахэд 5 О 51 мо 1 кду собэй В этное=- Н 1 ои нсых чисел, нр 1.Вм ииИ 1 ьдНз систем уста 1 ВВ и 5 еОт В за 5:си 1,эсти От заданного рэ:;,1 Ня реи;Оп .2. Способ но ., О т; ие ю -11 оу,учаОт иа ."5 тОН 1,ньх ОО,1 утОИых лоских фотоориги 1 Вднх, :.:р 3 ко э)з е зек зкс 1 ОниОуО о О 1:;1:с 1 ину,1 эгв Ъ. фЯ Тираж Заказ 1 ояшснае 1111 1 атея Мосина, Г, Бережковская най. 211 1 Государственного комитета Со по леван изобретений н о Москва, ЪРауиккая на е(а Министров СССРкр(л гнйи 4(5