Установка для химической обработки изделий

и 11 478796 Союз Сенатских Социалистицескик Республикисоединен м заявкисударственнын комитет 23) Приоритет Совета Министров С публиковано 30,07.75. Бюллетень28(088,8) по делам изобретений и открытий, на которую свободно и 9, в которых зафикоткрытой верхней чаИзобретение относится к установкам парожидкостной химической обработки изделий и может быть использовано для химической обработки кремниевых и ситалловых пластин при производстве полупроводниковых микросхем.Известна установка для химической обработки изделий, содержащая реакционную камеру с колонной, несущей устройство для крепления кассет с изделиями. Однако известная установка не обеспечивает высокого качества обработки.Цель изобретения - улучшение качества обработки.Достигается это тем, что колонна выполнена пустотелой и перфорированной, а устройство для крепления кассет - в виде обоймы, смонтированной на втулке с радиальными отверстиями, свободно установленной на колонне.Кроме того, обойма с кассетами для изделий снабжена сифонной трубкой.На фиг. 1 изображена предлагаемая установка, общий вид; на фиг. 2 - разрез по А - А на фиг. 1.Установка химической обработки изделий содержит станину 1, с расположенными на ней испарителем 2 и реакционной камерой 3, имеющей конденсатор 4.Реакционная камера 3 состоит из корпуса 5, имеющего пустотелую колонну 6, перфорированную отверстиями 7надета втулка 8 с пазамсированы обоймы 10 сстью.5 Внутрь обойм 10 помещены кассеты 11 с обрабатываемыми изделиями 12. Обоймы снабжены сифонными трубками 13, максимальный уровень подъема жидкости в которых соответствует максимальному уровню заполнения 10 обойм 10 реактивом. Втулка 8 имеет радиальные отверстия 14. В верхней части реакционной камеры помещен холодильник 15. Корпус 5 внутри снабжен сборником 16 конденсата, соединенным с пустотелой перфорированной 15 колонной посредством отверстия 17. Реакционная камера герметизируется крышкой 18 с осью 19 и уплотнением 20 с помощью фланца 21, винта 22 и штурвала 23.Подача хладагента в холодильник 15 осу ществляется через штуцер 24. Пары реактивачерез трубопровод 25 поступают из испарителя в реакционную камеру. Конденсат из реакционной камеры 3 попадает в конденсатор 4 по трубопроводу 26, где охлаждается, а затем 25 по трубопроводу 2 поступает из конденсаторав испаритель. Изделия закладываются в кассеты, а кассеты укладываются в обоймы. После этого крышка поворачивается относительно оси 19 в сторону и через люк 28 реакцион ной камеры обоймы с кассетами и обрабаты 4787963ваемыми изделиями вставляются в пазы 9 втулки 8. Из испарителя 2 через трубопровод 25 в реакционную камеру 3 поступают под давлением пары реактива, которые конденсируются с помощью холодильника 15 и собираются в сборники 16 конденсата, а затем через отверстие 17 поступают в полую часть перфорированной колонны 6 и через отверстия 7 - в обойму 10, находящуюся в горизонтальном положении, По мере накопления конденсата в обойме 10 втулка 8 с закрепленными обоймами, а также с кассетами 11 и изделиями 12 поворачивается в направлении, указанном стрелкой.Так как обойма 10 снабжена изогнутой сифонной трубкой 13, максимальный уровень подъема жидкости в которой соответствует максимальному уровню заполнения обоймы 10 реактивом, то по достижении этого уровня реактив через изогнутую сифонную трубку 13 выливается из обоймы 10 и по трубопроводу 26 поступает в конденсатор 4, а затем по трубопроводу 2 - в испаритель 2. После слива реактива из обоймы 10 втулка 8 вместе с закрепленными обоймами и кассетами с обрабатываемыми изделиями поворачивается в следующее положение и операция повторяется. Таким образом, происходит периодическое вращение втулки вместе с обоймами и кассетами с обрабатываемыми изделиями под действием конденсированной жидкости и периодическая обработка изделий 12 в объеме конденсированного реактива и парах, При этом пар по ступает в реакционную камеру 3 под высокимдавлением и таким образом происходит парожидкостная химическая обработка изделий 12 от загрязнений, имеющих высокую температуру плавления, низкокипящими растворителя ми. После обработки изделий камера 3 разгерметизируется, обоймы 10 с изделиями 12 вынимаются через люк 28 реакционной камеры 3 и операция повторяется,15 Предмет изобретения1. Установка для химической обработки изделий, содержащая реакционную камеру с колонной, несущей устройство для крепления20 кассет с изделиями, отличающаяся тем,что, с целью улучшения качества обработки,колонна выполнена пустотелой и перфорированной, а устройство для крепления кассет -в виде обоймы, смонтированной на втулке с25 радиальными отверстиями, свободно установленной на колонне.2, Установка по п. 1, отл и ч а ю ща я сятем, что обойма с кассетами для изделий снабжена сифонной трубкой,