Дозатор гомогенной парогазовой смеси

т, .тек ,:.,коек эйблиОны ии 4, ц 473903 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихреспублик 1) Зависимое от двт. свидетельства -2) Заявлено 11.06.73 (21) 1941562/18 с присоединением заявки-51) 011 11/2 осударственныи комитеСовета Министров СССпо делам изобретенийи Открытий Приорит 53) УДК 681.121.. П, Канорушкин,71) Заявитель ТОР ГОМОГЕННОЙ ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ(54) 2 Изобретение относится к устройствам для дозирования гомогенной паровой или парогазовой смеси, преимущественно к испаритслям и дозаторам (паровой) парогазовой смеси, применяемым ца операциях высокотемпературной обработки в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем,Известен дозатор гомогешгой парогазовой смеси, содержащий резервуар с реагентом, нагреватель, размещенный во внутренней трубке, систему регулирования температуры, камеру испарения с патрубками.В предложенном дозаторе камера испарения образована двумя эксцентрично расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного поперечного сечения капиллярцый зазор вдоль трубок, Такая конструкция дозатора позволяет автоматизировать процесс дозирования парогазовой смеси и исключить влияние температуры подаваемого газа на расход реагента и состав парогазовой смеси.На чертеоке изображен предложенный дозатор,Дозатор гомогенный парогазовой смеси состоит из резервуара 1 с реагентом, нагревателя 2, системы регулирования 3, камеры испарения 4 с входным и выходным патрубками 5 и 6, Камера испарения 4 образована между двумя жестко закрепленными трубкаИ. Прохоров и А. А. Осип ми разного диаметра, причем вцутреннятрубка 7 свободно лежит цд внутренней поверхности наружной трубки 8 в нижней ее части, а в верхней части оордзустся камера ис 5 парения 4, Благодаря тому, что трубки 7 и 8смещены относительно друг друга на определенную величину эксцентриситета, вдоль внутреццец поверхности наружной трубки 8 и ндружной поверхности внутренней трубки 7го области цх соприкосновения образуется горизонтально расположенный щелевоц капиллярцый зазор а. Щслевой капиллярный зазорв поперечном сечении имеет переменный зазор - переменное расстояние между указан15 ными поверхностямц трубок 7 и 8 при удалении от линии их соприкосновения. Щелевойкапцллярный зазор соединен с верхним коццом цилиндрического капилляра 9, перпендцкулярно расположенного по отношению к щс20 левому капиллярному зазору а и изготовленного в цпжцей части наружной трубки 8. Другой конец капилляра 9 помещен в резервуарс реагеитом,Дозатор работает следующим образом.25 В резервуар заливается реагецт, которыйподнимается по вертикальному капилляру 9за счет спл поверхностного натяжения (гкдпиллярных сил), попадает в горизонтальныйщелевой капиллярцый зазор а ц заполняетЗо его вдоль всей поверхности длины на высоту,оцреде.яемую соотоше-ем диаметроирубок 7 и 8, Реагент цаходится в щечевоч капиллярцом зазоре а виде тонкого слоя доста точно большой площади и небольшого объема, распределенного по всей длине горизон. тальцых трубок 7 и 8 и нагревателя 2.Прц подаче электрической мощности ца нагреватель 2 достигается определенный температурный режим, что способствует быстрому разогреву и испарению реагецта; в то же время происходит автоматическая подача дополнительной порции реагента в щелевой капиллярный зазор из резервуара по каналу капилляра. Такой процесс подпитки идет непрерывно за счет си.ч поверхностного цатяже- НИЯ.Для получения парогазовои смеси в камеру испарения 4 подается газ через патрубок 5. Газ, проходя между нагретыми внутренней и наружной трубками 7 и 8, прогреваетсл до температуры, несколько превышающей температуру паров реагента. Поэтому смешение паров реагента с газом и образова 41 ис сОси прОисходит Б с:Овиях, близких к изотермическим, что способствует точности дозирования расхода парогазовой смеси. Выравнивание температур паров реагента и газа предотвращает также образование конденсата в камере испарения 4 ц патрубках 5 и 6. Прсдмст изобрете и ил0Дозатор гомогенной парогазовой смеси, содержащий резервуар с реагентом, нагреватель, размещенный во внутренней трубке, систему регулирования температуры, камеру 15 испарения с патрубками, от,гичающийся тем,что, с целью автоматизации процесса дозировация парогазовой смеси и исключения влияния температуры подаваемого газа ца расход реагецта и состав парогазовоЙ смеси, камера 20 испарения образована двумя эксцентричнорасположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного поперечного сечения капиллярцый зазор вдоль трубок.473903 Составитель В. Д, НикитинТск 1 кд М. Семенов Корректор Т. Добровольская Редактор Н. Коган МОТ, Загорский филиал Заказ 5495 Изд. М 1508 Тираж 782 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5